Deep trench etching of silicon was investigated as a function of RF source power, DC bias voltage, $C_4F_8$ gas flow rate, and $O_2$ gas addition. On increasing the RF source power from 300 W to 700 W, the etch rate was increased from $3.52{\mu}m/min$ to $7.07{\mu}m/min$. The addition of $O_2$ gas improved the etch rate and the selectivity. The highest etch rate is achieved at the $O_2$ gas addition of 12 %, The selectivity to PR was 65.75 with $O_2$ gas addition of 24 %. At DC bias voltage of -40 V and $C_4F_8$ gas flow rate of 30 seem, We were able to achieve etch rate as high as $5.25{\mu}m/min$ with good etch profile.
Flux인 $K_2MoO_4$와 섬유원료물질인 $K_2CO_3,\;TiO_2$를 혼합하고 1150$^{\circ}C$에서 용융시킨 다음 950$^{\circ}C$까지 서냉하여(서냉속도=5$^{\circ}C$/h) 층상구조를 갖는 사티탄산칼륨($K_2Ti_4O_9$)과 육티탄산칼륨($K_2Ti_6O_{13}$) 섬유를 합성하였다. Flux(F)와 출발원료물질(R)의 혼합비에 따른 최적 섬유성장 조건을 조사하기 위하여 F:R을 변화시키면서 반응시킨 결과 섬유의 결정상 및 성장속도가 F:R의 비에 크게 의존함을 알 수 있었으며 본 실험조건에서는 사티탄산칼륨과 육티탄산칼륨 모두 F:R=7:3 일 때 섬유의 성장이 가장 양호하였다. F:R = 7:3이고, 출발조성이 $K_2O{\cdot}4TiO_2$인 경우 생성물은 $K_2Ti_4O_9$과 약간의 $K_2Ti_6O_{13}$의 혼합상이 얻어졌으며 평균 섬유 길이는 ${\thickapprox}$ 4 mm 정도의 비교적 장섬유를 얻을 수 있었다. $K_2O{\cdot}6TiO_2$ 조성인 경우도 $K_2Ti_4O_9$의 혼합상이 형성되었고 섬유의 평균길이는 ${\thickapprox}$ 2 mm 정도임을 관찰할 수 있었다.
1-Ethyl-1,4-dihydro-7-methyl-1,8-naphthyridin-4-one-3-carboxylic acid [Nalicixic Acid]의 분자 및 결정구조를 X-선 회절법으로 연구하였다. 이 결정의 분자는 C12H12N2O3, 단사정계이고 공간군은 P21/c이다. 단위포상수 a=8.910(2)Å, b=13.145(3)Å, c=9.370(3)Å 이며, β=100.06(2)°, V=1080.6Å, T=293K, Z=4이다. 구조해석에 사용한 X-선은 CuKα선(λ=1.5418Å)을 사용하였다. 분자구조는 직접법으로 풀었으며 최소자승법으로 정밀화하였다. 최종 신뢰도 R값은 [F0>4σ(F0)]인 1555개의 독립회절반점에 대해 R=0.055이었다. 이 분자는 한 개의 내부수소결합 O(17)-H(17)…O(14)를 가지고 있다 [2.525(2)Å, 144.3(10)°].
Thermal behavior and $O_{2}$ plasma effects on residue and penetrated impurities formed by reactive ion etching (RIE) in CHF$_{3}$/C$_{2}$F$_{6}$ have been investigated using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and secondary ion mass spectrometry (SIMS) techniques. Decomposition of polymer residue film begins between 200-300.deg. C, and above 400.deg. C carbon compound as graphite mainly forms by in-situ resistive heating. It reveals that thermal decomposition of residue can be completed by rapid thermal anneal above 800.deg. C under nitrogen atmosphere and out-diffusion of penetrated impurities is observed. The residue layer has been removed with $O_{2}$ plasma exposure of etched silicon and its chemical bonding states have been changed into F-O, C-O etc.. And $O_{2}$ plasma exposure results in the decrease of penetrated impurities.
C $r_{3}$$C_{2}$-20wt% NiCr 이 크래드된 분말을 이용하여 HVOF 용사층의 특성(미세조직, 결정상, 경도 그리고 erosion rate)에 미치는 연료/산소 비(=3.2,3.0,2.8,2.6)의 영향을 조사했다. 실험범위 내에서 F/O=3.0의 경우가 C $r_{3}$$C_{2}$-20wt%(NiCr)크래드 분말의 최적용사조건 이었다. XRD분석결과 F/O비에 관계없이 카바이드분해는 일어 났다. C $r_{3}$$C_{2}$에서C $r_{7}$$C_{3}$로의 상변화는 F/O비가 감소함에 따라 증가했다. 열처리 온도가 높아짐에 따라 C $r_{7}$$C_{3}$분율은 증가 하였으며, 100$0^{\circ}C$에서 50시간 열처리후 용사층의 주된상은 C $r_{7}$$C_{3}$이였다. 용사상태에서 경도값은 F/O=3.0조건으로 용사된 코팅층이 $H_{v300}$-1040으로 가장 높았으며, 공기중에서 $600^{\circ}C$, 50시간 열처리한 후, 경도값은 1340으로 증가하였다. 그리고 80$0^{\circ}C$열처리 후 경도값은 약간 감소하였다. 그러나 100$0^{\circ}C$ 열처리 후에도 1060정도로 용사상태의 경우 보다는 높은 경도값을 유지하였다. 이와같이 경도값이 증가하는 이유는 열처리에 따라 용사층이 치밀하게 되고 또한 C $r_{2}$$O_{3}$의 산화물이 C $r_{3}$$C_{2}$/C $r_{7}$$C_{3}$ 내에 생성되어 탄화물/산화물 복합체를 이루기 때문으로 생각된다. 용사상태에서 drosion rate는 F/O비에 따라 2.6-3.05x$10^{-4}$mg/g까지 변화하였다. 또한 $600^{\circ}C$열처리 후에는 2.15-2.3 x $10^{-4}$mg/g이였으며, 80$0^{\circ}C$에서 열처리한 후에는 2.3-2.4x$10^{-4}$mg/g으로 $600^{\circ}C$열처리후 보다 약간 높은 결과를 보였다.결과를 보였다.
한국 시장에 유통중인 제품유형이 동일하게 표기되고 제조경과 일자가 유사한 소시지류 [천연장에 충전된 위너소시지(N), 콜라젠 케이싱(collagen casing)에 충전된 비엔나 소시지(C), 셀롤로오즈 케이싱에 충전된 후랑크 소시지(F)] 와 캔류 [스팸류(S), 런천미트류(L), 장조림류(J)] 제품을 각각 구입하여 분석하였으며, 그 결과는 다음과 같다. 당도는 천연장을 이용한 소시지는 4.9∼5.0 범위가, 비엔나 소시지는 6.6과 8.0 수준이, 후랑크후르트 소시지는 5.2와 6.5 수준이었다. 염도는 천연장을 이용한 소시지 제품은 모두 2.0 이하로 나타난 반면, 비엔나와 후랑크후르트 타입의 소시지는 2.0 이상을 차지하는 비율이 조사 제품의 각각 66.6%, 80.0%로 나타나 천연장 이용 소시지보다 염도가 다소 높은 것으로 조사되었다. pH는 대부분 6.0 이상인 것으로 조사되었다. 수분함량은 N, C, F에서 각각 57.9∼59.8%, 53.9∼61.4%, 55.3∼62.9%의 범위를 보였고, 조지방함량은 N, C, F에서 각각 14.5∼20.6%, 13.2∼21.7%, 15.3∼24.8%의 범위를 보였다. 육색에서는 천연장을 이용한 소시지의 L*값이 49.8 ∼56.7 범위로 다른 제품군보다 다소 낮게 나타났다. 소시지 제품의 기호도는 조지방 함량과 L*값이 높은 제품들이 상대적으로 높은 것으로 조사되었다. 캔 제품에 있어서 당도는 장조림이 6.0∼10.2%로 스팸(6.6)이나 런천미트(5.2∼6.7)보다 높았다. 염도는 스팸류가 2.58∼3.27%로 런천미트(2.09∼2.50%)나 장조림(2.19∼2.79%)보다 높게 나타났다. pH는 스팸과 런천미트가 장조림보다 다소 높았다. 수분 및 조지방 함량은 스팸류가 52.0∼59.2%와 19.6∼28.0%, 런천미트는 55.7∼60.8%, 17.3∼22.1%로 각각 나타났다. 장조림은 수분함량은 69.4∼74.9%, 조지방 함량은 1.5∼8.8%로 나타났다. 육색은 L*값과 a*값에서 스팸류와 런천미트 제품간에 유의적인 차이가 없었으나(p>0.05), b*값은 런천미트가 다소 높은 경향이었다. 관능검사 결과 제품들간에 큰 차이는 보이지는 않았으나 염도가 낮은 제품에서 전체적인 기호도가 좋았다.
Indium(III) trihalides (halogen=Cl, Br)와 bis(pentafluorophenyl)cadmiumd을 acetonitrile에서 반응시켜 acetonitrile이 배위된 tris(pentafluorophenyl)indium을 합성하였으며 원소분석, 핵자기 공명과 질량분석 스펙트럼을 이용하여 특성을 조사하였다. 그 결과 acetonitrile과 배위한 tris(pentafluorophenyl)indium는 pentafluorophenylindium화합물과 acetonitrile이 1:1로 배위된다는 것을 알 수 있었다. 또한 In$(C_6F_5)_3{\cdot} CH_3CN$과 DMAP(dimethylaminopyridine)를 dichloro methane 용매에서 리간드를 치환반응시켜 In$In(C_6F_5)_3{\cdot}DMAP$를 합성하였다. 리간드들의 치환은 acetonitrile보다 주개 성질이 강한 DMAP가 acetonitrile의 자리에 배위하는 것으로 생각된다.
본 연구는 배양초기 pH 조건이 F. succino- genes의 섬유소 부착과 섬유소 소화에 미치는 영향을 보고자 실시하였다. 선정된 specific primer를 이용하여 F. succinogenes의 genomic DNA로부터 445bp의 16S rDNA 절편을 증폭하여 205bp의 internal control을 제작하였고, cPCR 결과로부터 박테리아 수를 계산할 수 있는 표준곡선의 회귀식($r^2$>0.99)을 얻을 수 있었다. In vitro 배양초기 pH에 따른 F. succ- inogenes의 cellulose 부착을 cPCR로 모니터링한 결과, 발효과정 전 기간동안 초기 pH가 6.8과 6.2일 때 cellulose 건물 g당 부착 균주의 수가 pH 5.6일 때 보다 높았으나, pH 6.8과 6.2 사이에서는 큰 차이는 없었다(p>0.05). Cellulose 분해는 배양시간이 진행됨에 따라 증가 되었으며, 분해 정도는 pH가 증가함에 따라 더 높았다. 배양초기 pH가 6.8, 6.2 그리고 5.8일 때 48시간동안 감소한 pH는 각각 0.24, 0.58 그리고 0.16 이었다. 가스 생산량은 발효 시간이 경과함에 따라 pH가 높을수록 더 많았다. 결론적으로 발효 초기 pH는 F. succinogenes에 의한 cellulose 소화, 가스 생산, pH 변화 및 cellulose 부착에 큰 영향을 주었으며, 특히, 낮은 pH(5.8)에서는 섬유소 소화 및 박테리아 부착을 현저한 감소 시켰다.
This study was done with mouse embryo to assess effects of freezing media containing sucrose, freezing metods(1-F, 0.3$^{\circ}C$/min;2-F, 3-5$^{\circ}C$/min;3-F, 15$^{\circ}C$min;4-F, LN2 vapour) and cell freezers on the embryo survival determined using the FDA test. The results are summarized as follows. 1. The FDA score obtained with 1, 2, 3 and 4-F was 3.8, 3.6, 3.2 and 3.2, respectively. There was a significant difference(P<0.05) between 1-F, 3-F and 2-F, 4-F. 2. The score at the morular stage(3.8) higher(P<0.005) than the blastocyst stage of embryos(3.2). 3. No difference (P>0.05) was found between the score obtained with a automatic embryo freezer(4.0) and a liquid nitrogen container(3.7).
A stereoselective synthesis of $1\beta-aminocarbapenems$ (11a-c) starting from-4-acetoxy-2-axetidinone derivative 4 is described. 4-Acetoxy-2-azetidinone derivative (4) was reacted with lithium enolate of benzophenone limine of glycine phenyl ester (5f) to give alkylated product (R)-6f in good yield with high diastereoselectivity. The alkylated procudt (R)-6f was transformed to thioesters (7a-c) by transesterification with thiols, Thioesters (7a-c) were converted to their oxalimides (8a-c), followed by the phosphite-mediated reductive cyclization to give carbapenems (9a-c). Removal of all protecting groups of carbapenems (9a-c) afforded $1\beta-aminocarbapenems$ (11a-c).
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[게시일 2004년 10월 1일]
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