A Study on the Shallow $p^+-n$ Junction Formation and the Design of Diffusion Simulator for Predicting the Annealing Results
($p^+-n$ 박막접합 형성방법과 열처리 모의 실험을 위한 시뮬레이터 개발에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2005.07a
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- pp.115-117
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- 2005