A Front-side Dry-Etched Thermopile Detector with 3-5 $\mu m$ Infrared Absorber and Its Application to Novel NDIR $CO_2$ Gas Sensors
(3-5 $\mu m$ 적외선 흡수체를 가진 전면 건식 식각된 서모파일과 NDIR $CO_2$ 가스 센서의 응용)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2008.07a
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- pp.1470-1471
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- 2008