• 제목/요약/키워드: Bi-O

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MOCVD $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기 금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선 (Deposition mechanism of $Bi_4Ti_3O_{12}$ films on Si by MOCVD and property improvement by pulse injection method)

  • 이석규;김준형;최두현;황민욱;엄명윤;김윤해;김진용;김형준
    • 한국진공학회지
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    • 제9권4호
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    • pp.373-378
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    • 2000
  • 실리콘 기판 위에서 $TiO_2$$Bi_2O_3$의 박막 성장은 반응속도론 측면에서 커다란 차이를 보였지만, $Bi_4Ti_3O_{12}$(BIT) 박막의 성장은 주로 $TiO_2$ 성장 거동에 의해 지배를 받았다. 그 결과 BIT 박막은 bismuth가 부족한 조성을 가지게 되었다. 박막 내에 부족한 bismuth의 양을 보충해줌으로써 이러한 문제점을 해결하고자 펄스 주입 유기 금속 화학 기상 증착(MOCVD) 방법을 사용하였다. 이러한 펄스 주입법에 의해 bismuth의 양은 증가하였고 또한, 박막의 깊이 방향으로의 조성이 균일해졌고 $Bi_4Ti_3O_{12}$과 Si사이의 계면이 향상되었다. 게다가, $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 결정성은 크게 향상되었고 누설 전류 밀도는 연속 주입법에 비해 1/2에서 1/3정도 낮아졌다. 시계 방향의 C-V 이력 곡선이 관찰되었고 이로 인해 펄스 주입법에 의해 증착된 $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막은 강유전성에 의해 스위칭이 됨을 알 수 있었다.

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$Bi_2(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_2O_7\;and\;(Bi_{1.5}Zn_{0.5})(Zn_{0.5}Nb_{1.5})O_7$ pyrochlore의 제조 및 저온 소결 특성 고찰 (Investigation of low temperature sintering property and fabrication in $Bi_2(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_2O_7\;and\;(Bi_{1.5}Zn_{0.5})(Zn_{0.5}Nb_{1.5})O_7$ pyrochlore)

  • 김관수;윤상옥;김신;김윤한;권오영;박종국;심상흥
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.245-245
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    • 2007
  • 본 연구는 $Bi_2O_3$, ZnO 및 $Nb_2O_5$로 이루어진 두 가지의 $Bi_2(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_2O_7$$(Bi_{1.5}Zn_{0.5})(Zn_{0.5}Nb_{1.5})O_7$ pyrochlore를 제조한 후, ZBS 및 BZBS 유리를 각각 첨가하여 저온 소결 및 마이크로파 유전 특성을 고찰하였다. 두 가지의 pyrochlore에 대하여 하소 온도에 따른 상 합성 유무를 고찰한 결과 $900^{\circ}C$에서 단일 상을 갖는 pyrochlore를 제조할 수 있었다. 두 가지의 pyrochlore에 ZnO-rich ZBS 유리와 $Bi_2O_3$-rich BZBS 유리를 3, 5 wt%로 첨가한 후 $800{\sim}950^{\circ}C$에서 소결한 결과 ZBS 및 BZBS 유리를 5wt%를 첨가하였을 때 $900^{\circ}C$에서 소결이 가능하였다. 또한 마이크로파 유전 특성을 고찰한 결과, $(Bi_{1.5}Zn_{0.5})(Zn_{0.5}Nb_{1.5})O_7$의 pyrochlore는 고주파에서 유전 특성 측정이 되지 않았다. $Bi_2(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_2O_7$의 pyrochlore의 경우 5 wt% ZBS 및 BZBS 유리를 첨가하여 $900^{\circ}C$에서 소결한 시편의 마이크로파 유전 특성은 ${\varepsilon}_r$= 62.8~68.3, $Q{\times}f$ value= 3,500~2,700 GHz을 나타내었다.

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Sb/Bi비에 따른 5원계 바리스터의 소결거동 및 전기적 특성(I) : ZnO-Bi2O3-Sb2O3-Mn3O4-Cr2O3 (Sintering and Electrical Properties According to Sb/Bi Ratio(I) : ZnO-Bi2O3-Sb2O3-Mn3O4-Cr2O3 Varistor)

  • 홍연우;이영진;김세기;김진호
    • 한국재료학회지
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    • 제22권12호
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    • pp.675-681
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    • 2012
  • We aimed to examine the co-doping effects of 1/6 mol% $Mn_3O_4$ and 1/4 mol% $Cr_2O_3$ (Mn:Cr = 1:1) on the reaction, microstructure, and electrical properties, such as the bulk defects and grain boundary properties, of ZnO-$Bi_2O_3-Sb_2O_3$ (ZBS; Sb/Bi = 0.5, 1.0, and 2.0) varistors. The sintering and electrical properties of Mn,Cr-doped ZBS, ZBS(MnCr) varistors were controlled using the Sb/Bi ratio. Pyrochlore ($Zn_2Bi_3Sb_3O_{14}$), ${\alpha}$-spinel ($Zn_7Sb_2O_{12}$), and ${\delta}-Bi_2O_3$ (also ${\beta}-Bi_2O_3$ at Sb/Bi ${\leq}$ 1.0) were detected for all of the systems. Mn and Cr are involved in the development of each phase. Pyrochlore was decomposed and promoted densification at lower temperature on heating in Sb/Bi = 1.0 system by Mn rather than Cr doping. A more homogeneous microstructure was obtained in all systems affected by ${\alpha}$-spinel. In ZBS(MnCr), the varistor characteristics were improved dramatically (non-linear coefficient, ${\alpha}$ = 40~78), and seemed to form ${V_o}^{\cdot}$(0.33 eV) as a dominant defect. From impedance and modulus spectroscopy, the grain boundaries can be seen to have divided into two types, i.e. one is tentatively assigned to ZnO/$Bi_2O_3$ (Mn,Cr)/ZnO (0.64~1.1 eV) and the other is assigned to the ZnO/ZnO (1.0~1.3 eV) homojunction.

$ZrO_2(Y_2O_3)$ 계 세라믹스의 소결성과 전기전도도에 대한 $M_2O_3$의 영향 (I):$ZrO_2-Y_2O_3-Bi_2O_3$계 세라믹스 (Effect of $M_2O_3$ on the Sinterbility and Electrical Conductivity of $ZrO_2(Y_2O_3)$ System (I): Ceramics of the:$ZrO_2-Y_2O_3-Bi_2O_3$ System)

  • 오영제;정형진;이희수
    • 한국세라믹학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.87-93
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    • 1986
  • Yttria-bismuth-stabilized zirconia was investigated with respect to the amount of $Bi_2O_3$ addition in the ran-ge of 0.5~5mol% to the base composition of $(ZrO_2)_{0.92}(Y_2O_3)_{0.08}.Bismuth was introduced into the ma-terial with $Bi_2O_3-SiO_2$ glasses in order to reduce the evaporation of components. The sinterbility evaporation of components phase formation and microstructure were evaluated depending on the amount of $Bi_2O_3-SiO_2$ glass addition. Two probe A. C conductivity measurement was subjected to all the specimens and the result was discussed on the possible substitution of $Bi^{3+}$ for $Zr^{4+}$ and interistial $Si^{4+}$ in the fluorite structure of zirconia crystal there-upon the possible change in the capability of oxygen transference within the material. It was found that the addition of $Bi_2O_3$ could improve the sinterbility of material very much while not so much.oxygen sensing material suitable for relative low temperature firing.

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Ni를 첨가한 ZnO-Bi2O3-Sb2O3계의 소결과 전기적 특성 (Sintering and Electrical Properties of Ni-doped ZnO-Bi2O3-Sb2O3)

  • 홍연우;신효순;여동훈;김종희;김진호
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권11호
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    • pp.941-948
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    • 2009
  • The present study aims at the examination of the effects of 1 mol% NiO addition on the reaction, microstructure development, resultant electrical properties, and especially the bulk trap and interface state levels of $ZnO-Bi_2O_3-Sb_2O_3$ (Sb/Bi=0.5, 1.0, and 2.0) systems (ZBS). The samples were prepared by conventional ceramic process, and characterized by density, XRD, SEM, I-V, impedance and modulus spectroscopy (IS & MS) measurement. The sintering and electrical properties of Ni-doped ZBS (ZBSN) systems were controlled by Sb/Bi ratio. Pyrochlore ($Zn_2Bi_3Sb_3O_{14}$) was decomposed more than $100^{\circ}C$ lowered in ZBS (Sb/Bi=1.0) by Ni doping. The reproduction of pyrochlore was suppressed by the addition of Ni in ZBS. Between two polymorphs of $Zn_7Sb_2O_{12}$ spinel ($\alpha$ and $\beta$), microstructure of ZBSN (Sb/Bi=0.5) composed of a-spinel was more homogeneous than $Sb/Bi{\geq}1.0$ composed of $\beta$-spinel phase. In ZBSN, the varistor characteristics were not improved drastically (non-linear coefficient $\alpha\;=\;6{\sim}11$) and independent on microstructure according to Sb/Bi ratio. Doping of Ni to ZBS seemed to form ${V_0}^{\cdot}$ (0.33 eV) as dominant bulk defect. From IS & MS, especially the grain boundaries of Sb/Bi=0.5 systems were divided into two types, i.e. sensitive to oxygen and thus electrically active one and electrically inactive intergranular one with temperature.

MOCVD $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속 원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선

  • 이석규;김준형;황민욱;엄명윤;김윤해;김진용;김형준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.103-103
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    • 2000
  • 강한 결정 방향 의존성과 낮은 항정계를 갖는 Bi4Ti3O12 강유전체 박막은 NDRO형 비휘발성 강유전체 메모리 분야에서 매우 유망한 재료이다. 이를 위해서는 실리콘 기판과의 계면조절과 실리콘 기판성에서 고품질의 강유전성 박막을 성장시키는 기술이 필수적이다. MOCVD에 의한 Bi4Ti3O12 의 증착에서는 Bi 성분의 강한 휘발 특성과 낮은 반응성으로 인하여 조성과 두께 등의 조절이 매우 어렵다. 따라서 화학기상증착의 기구를 이해하고 제어하는 기술이 양질의 박막을 얻는데 필수적이다. 본 연구에서는 유기금속 원료 TPB, TIP 과 산소를 이용하여 실리콘 기판위에 Bi4Ti3O12 강유전체 박막을 증착할 때, 증착 변수의 변화에 따른 박막의 증착 거동과 구조적, 전기적 특성을 연계하여 분석하였다. 특히 기판부착력이 낮고 휘발성이 강한 Bi의 특성으로 인한 문제를 개선하기 위하여 TIP원료를 주기적으로 공급, 중단을 반복하는 펄스주입법을 고안하여 그 효과를 살펴보았다. 실리콘 기판위에서 TiO2의 증착속도는 실험온도 영역에서 온도에 따라 변화하지 않는 전형적인 물질 전달에 의해 지배되는 양상을 나타내었다. 반면 Bi2O3 경우에는 50$0^{\circ}C$ 이상에서 급격하게 증착속도가 감소하는 특이한 경향을 나타내었으며 이는 Bi2O3의 높은 휘발성 때문일 것이다. Bi4Ti3O12 박막은 온도증가에 따라 증착속도가 증가한 후 $600^{\circ}C$ 이상에서 포화되는 경향을 보였다. 이로부터 실리콘 기판위에서의 Bi4Ti3O12 박막의 증착 모델을 제시하였다. Bi2O3에 비해 상대적으로 표면 부착력이 월등히 큰 TiO2가 우선적으로 실리콘 펴면에 형성된 후 TPB 유기금속 원료가 이 TiO2와 반응하는 과정으로 Bi4Ti3O12 박막이 증착된다. $600^{\circ}C$이상에서는 증착 변수들을 바꾸어도 물성이 변하지 않는 자기조절기능이 있음을 알 수 있었는데 이는 고온에서의 Bi2O3의 강한 휘발성 때문일 것이다. 실리콘 기판에서 층상 페로브스카이트 상은 58$0^{\circ}C$ 이상에서 형성되며, 매우 좁은 온도 변화에도 결정구조, 박막현상 및 성분이 크게 바뀌는 온도에 민감한 증착거동이 관찰되었다. 증착 모델에서 예견되는 Bi의 불리함을 개선하기 위해 펄스주입법을 실시한 경우 Bi의 성분량이 증가되었고 결정성이 향상되었다. 이로부터 펄스주입법이 박막내에 부족하기 쉬운 Bi를 보충하여 박막의 특성을 개선함을 확인하였다. Bi4Ti3O12 박막의 증착온도에 따른 누설전류 특성 측정 결과 증착온도가 감소할수록 누설전류가 감소함을 알 수 있었고 펄스주입법이 연속주입법보다 더 낮은 누설전류를 보임을 알았다. 펄스주입법의 경우 -2.5V 인가 시의 누설전류는 7.4$\times$10-8A/cm2에서 1.3$\times$10+7A/cm2의 매우 우수한 값을 가졌다. 연속 주입법에 의해 증착된 박막은 C-V 측정 결과 강유전성 이력이 나타나지 않았으나, $600^{\circ}C$ 이상에서 펄스주입법에 의해 증착된 박박은 강유전성 이력을 나타내었다.

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ZnO 바리스터의 미세구조제어와 전기적 특성 (Electrical Characteristics and Microstructure Control of Zinc Oxide Viaristors)

  • 김경남;한상목
    • 한국재료학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.65-70
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    • 1991
  • $ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3$$ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3-Cr_2O_3$계에서 미세구조 변화 및 전기적 특성에 미치는 개재물의 영향을 조사하였다. 소결동안에 ZnO입자 성장은 스피넬 입자들에 의해 제어되었으며, 스피넬 입자들의 양의 증가에 의해 입자성장은 감소하였다. $Cr_2O_3(0.5mol\%)$의 첨가는 비직선성지수에는 큰 영향을 미치지 못하였으며 임계전압(breakdown voltage)을 증가시켰다. 계산에 의해 구한 장벽전압은 $ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3$$ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3-Cr_2O_3$ 계에서 각각 3.1V와 2.9V이었다.

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BiTiO3 첨가에 따른 (Na0.5K0.5)NbO3 세라믹스의 구조적, 전기적 특성 (Structural and Electrical Properties of (Na0.5K0.5)NbO3 Ceramics with Addition of BiTiO3)

  • 이태호;김대영;조서현;정광호;이성갑
    • 전기학회논문지
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    • 제60권11호
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    • pp.2093-2096
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    • 2011
  • In this study, lead-free $(Na_{0.5}K_{0.5})NbO_3-BiTiO_3$ ceramics were fabricated by a conventional mixed oxide method. Structural and electrical properties of lead-free $(Na_{0.5}K_{0.5})NbO_3$ ceramics with the variation of $BiTiO_3$ were investigated. The results of X-ray diffraction analysis showed a typical polycrystalline perovskite structure without presence of the second phase in all specimens. Sintered density increased with an increasing of BTO and the specimen added with 0.07 mol% of $BiTiO_3$ showed the maximum value of 97.8%. Average grain size decreased and densification increased with an increasing of $BiTiO_3$ contents. The electromechanical coupling factor of the 0.01 mol% $BiTiO_3$ doped NKN specimens was 0.32. Dielectric constant, dielectric loss and Curie temperature of the 0.07 mol% $BiTiO_3$ doped NKN specimens were 1185, 0.145% and $400^{\circ}C$, respectively.

Differences of Structural and Electronic Properties in $Ba_{1-x}K_xBiO_3$ (x=0, 0.04, and 0.4)

  • 정동운;최은국
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제20권9호
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    • pp.1045-1048
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    • 1999
  • Electronic structures calculated based upon the extended Huckel tight-binding method for Ba1-xKxBiO3 with x = 0, 0.04, and 0.4 are reported. It is noticed that the commensurate ordering of Bi 3+ and Bi 5+ is responsible for the insulating and semiconducting behavior in BaBiO3 and Ba0.96K0.04BiO4. The band gaps of 3.2 eV and 1.4 eV for the former and the latter compounds, respectively, are consistent with the experimental results. Doping in Bi 6s-block band up to x = 0.4 causes the collapse of the ordering of Bi 3+ and Bi 5+, thereby resulting in the superconductivity in the Ba0.6K0.4BiO3 compound. Strikingly, the character of oxygen contributes to the conducting mechanism than that of the bismuth. This is quite different from the cuprate superconductors in which the character of copper dominates that of oxygen.

Si(100)기판에 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막증착 시 $Bi_2O_3$ 후열처리에 따른 유전특성 (Dielectric properties of SBT($SrBi_2Ta_2O_9$) on $Bi_2O_3$/Pt/Ti/$SiO_2$/Si substrate accordiing to various substrate temperature of $Bi_2O_3$ buffer layer)

  • 윤지언;차원효;이철수;손영국
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.200-201
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    • 2007
  • The SBT($SrBi_2Ta_2O_9$) thin films with $Bi_2O_3$ buffer layer were deposited on Pt/Ti/$SiO_2$/Si substrate by R.F. magnetron sputtering method in order to improve the ferroelectric characteristics. In SBT thin films, the deficiency of bismuth during the process due to its volatility results in an obvious non stoichiometry of the films and the presence of secondary phases. $Bi_2O_3$ buffer layer was found to be effective to achieve the low temperature crystallization and improve the ferroelectric properties of SBT thin films. Ferroelectric properties and crystallinities of SBT thin films with various post annealing of $Bi_2O_3$ buffer layer were observed as various annealing temperature, using X-Ray Diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), Keithley 237 and HP 4192A Impedance Analyzer.

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