산소 이온 빔에 의해 제조된 $SnO_{2-x}$ 박막 센서의 가연성 가스$(CH_4, C_3H_8, H_2)$ 의 감응성 특성 연구
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 1996.02a
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- pp.62-62
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- 1996