Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1996.02a
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- Pages.62-62
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- 1996
산소 이온 빔에 의해 제조된 $SnO_{2-x}$ 박막 센서의 가연성 가스$(CH_4, C_3H_8, H_2)$ 의 감응성 특성 연구
- Song, Seok-Gyun (Korea Institute of Science and Technology) ;
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Choe, Won-Guk
(Korea Institute of Science and Technology) ;
- Seok, Jin-U (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Jeong, Hyeong-Jin (Korea Institute of Science and Technology) ;
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Go, Seok-Geun
(Korea Institute of Science and Technology) ;
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Baek, Hong-Gu
(Yonsei University) ;
- Choe, Dong-Su (Research and Development Center, Korea Gas Corporation) ;
- Jeon, Jin-Seok (Research and Development Center, Korea Gas Corporation)
- 송석균 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
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최원국
(한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
- 석진우 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
- 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
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고석근
(한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
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백홍구
(연세대학교 금속공학과) ;
- 최동수 (한국가스공사 연구개발원) ;
- 전진석 (한국가스공사 연구개발원)
- Published : 1996.02.01
Abstract
Keywords