플라즈마 증착방식에 의해 DLC코팅된 알루미나 세라믹의 코팅박막 특성에 관한 연구
(CHARACTERISTICS OF DIAMONDLIKE CARBON COATED ALUMINA SEALS AT TEMPERATURES UP TO $400^{\circ}C$ )
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.397-397
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- 2007