아르곤 플라즈마처리에 의한 다결정 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 표면거칠기 개선
(The Improvement of Surface Roughness of Poly-$Si_{1-x}Ge_x$ Thin Film Using Ar Plasma Treatment)
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- 한국세라믹학회지
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- 제34권11호
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- pp.1121-1128
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- 1997