$Cl_2/Ar$ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 건식 식각 특성
(Dry etching properties of SBT thin films using $Cl_2/Ar$ inductively coupled plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
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- pp.404-407
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- 2003