$SF_{6+}Ar$ 혼합기체의 전자수송특성 개선에 관한 연구
(A Study on the Improvement of the Electron Transport Properties in $SF_{6+}Ar$ Mixtures Gas)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제11권1호
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- pp.67-73
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- 1998