Bi-CMOS공정중 SSR 채널 형성을 위한 $Sb_2O_3$ 빔튜닝 방법 연구
(A Study of $Sb_2O_3$ Beam Tuning for SSR Channel on Bi-CMOS Process)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.1
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- pp.369-372
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- 2004