Dimethylethylamine Alane를 이용한 CVD 알루미늄박막 증착의 수소플라즈마 전처리효과 (Hydrogen Plasma Pre-treatment Effect on the Deposition of Aluminum Thin Films from MOCVD Using Dimethylethylamine Alane)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.157-157
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- 1998