Electrical properties of Al/SiOCH/p-Si(100) structure with $HMDSO/O_2$ precursors deposited by PECVD
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2007년도 제32회 학술대회 초록집
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- pp.109-109
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- 2007