• 산업기술연구
• /
• 제17권
• /
• pp.233-239
• /
• 1997

The effects of preheating the gas stream on deposition characteristics of ultrafine $SiO_2$ particles were investigated theoretically. The model equations such as mass and energy balance equations and aerosol dynamic equations were solved to predict the particle growth and deposition. The gas temperatures, $SiCl_4$ concentrations, $SiO_2$ particle volumes, $SiO_2$ particle sizes and deposition efficiencies of $SiO_2$ particles were calculated for various preheating temperatures. As the preheater setting temperature increases, the $SiO_2$ particle size distribution becomes more uniform, because the effect of $SiCl_4$ diffusion decreases.

• 한국입자에어로졸학회지
• /
• 제6권3호
• /
• pp.139-145
• /
• 2010

In this study, we investigated the particle formation during the deposition of borophosphosilicate glass (BPSG) and phosphosilicate glass (PSG) films in thermal chemical vapor deposition reactor using in-situ particle monitor (ISPM) and particle beam mass spectrometer (PBMS) which installed in the reactor exhaust line. The particle current and number count are monitored at set-up, stabilize, deposition, purge and pumping process step in real-time. The particle number distribution at stabilize step was measured using PBMS and compared with SEM image data. The PBMS and SEM analysis data shows the 110 nm and 80 nm of mode diameter for BPSG and PSG process, respectively.

• 한국결정학회:학술대회논문집
• /
• 한국결정학회 2007년도 추계학술연구발표회 및 정기총회
• /
• pp.25-25
• /
• 2007

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.29-54
• /
• 2005

Consolidation of ceramic particles at room temperature. Reduction of crystallite size and formation of nano-crystalline. Applicable to Integrate functionalceramic materials with metals and Si structure and to fabricate MEMS devises

• 한국세라믹학회:학술대회논문집
• /
• 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
• /
• pp.156.1-156
• /
• 2000

• 대한핵의학회지
• /
• 제28권2호
• /
• pp.192-199
• /
• 1994

미만성 세기관지염은 기도와 폐실질부의 이행부(transitional zone)의 세기관지에 만성적이고 비특이적인 염증을 일으키는 질환으로 비교적 근래에 알려진 질환이다. 임상적으로 미만성 세기관지염은 만성 폐색성 폐질환과 유사하나, 이의 임상적 경과와 치료방법이 전혀 다르기 때문에 두 질환의 감별은 매우 중요하다. 저자들은 미만성 세기관지염에서 연무흡입 폐환기스캔소견과 이의 진단적유용성을 전향적으로 알아보고자 하였다. 총 4예의 미만성 세기관지염 환자를 대상으로 하였으며 이의 진단은 Homma등의 임상적 진단기준과 폐기능검사, 단순흉부사진, 고해상 CT와 임상추적검사로 확진하였으며 이중 1예는 조직생검을 시행하였다. 스캔상 연무침착의 기관지-폐분포는 비정상적 과도침착이 분포하는 부위별로 중심부(central), 중간부(intermediary), 이행부(transitional)의 기도와 말단 폐실질부(peripheral air-space)로 나누었다. 그 결과, 특징적으로 이행부와 중간부 기도에 비정상적 연무침착을 보였고 말단부 폐실질의 환기결손소견을 보였다. 이런 침착 경향은 만성 폐색성 폐질환에서 보이는 중심부기도의 연무침착양상과는 명백한 대조를 이루었다. 결론적으로 연무흡입 폐환기스캔은 미만성 세기관지염의 진단에 있어서 간편하고, 비침습적이며, 유용한 방법으로 사료된다.

• 한국입자에어로졸학회지
• /
• 제6권3호
• /
• pp.131-138
• /
• 2010

Flexible electronics are the electronics on flexible substrates such as a plastic, fabric or paper, so that they can be folded or attached on any curved surfaces. They are currently recognized as one of the most innovating future technologies especially in the area of portable electronics. The conventional vacuum deposition and photolithographic patterning methods are well developed for inorganic microelectronics. However, flexible polymer substrates are generally chemically incompatible with resists, etchants and developers and high temperature processes used in conventional integrated circuit processing. Additionally, conventional processes are time consuming, very expensive and not environmentally friendly. Therefore, there are strong needs for new materials and a novel processing scheme to realize flexible electronics. This paper introduces current research trends for flexible electronics based on (a) nanoparticles, and (b) novel processing schemes: nanomaterial based direct patterning methods to remove any conventional vacuum deposition and photolithography processes. Among the several unique nanomaterial characteristics, dramatic melting temperature depression (Tm, 3nm particle~$150^{\circ}C$) and strong light absorption can be exploited to reduce the processing temperature and to enhance the resolution. This opens a possibility of developing a cost effective, low temperature, high resolution and environmentally friendly approach in the high performance flexible electronics fabrication area.

• 한국해양공학회지
• /
• 제29권1호
• /
• pp.94-99
• /
• 2015

Lead zirconate titanate (PZT) thick films with thicknesses of ㎛ were fabricated on silicon substrates using an aerosol deposition method. A PZT powder solution was prepared using a sol-gel process. The average diameters (d50) obtained were 1.67, 1.98, and 2.40μm when the pyrolysis temperatures were 300℃, 350℃, and 450℃ respectively. The as-deposited film had a uniform microstructure without any cracks or pores. The as-deposited films on silicon were annealed at a temperature of 700℃. The 20-㎛-thick PZT film showed good adherence between the PZT film and substrate, with no tearing observed in the conventional solid phase process. This was probably because the presence of pores produced from organic residue during annealing relieved the residual stresses in the deposited film.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.110-110
• /
• 2009

Aerosol deposition method(ADM)는 상온에서 에어로졸화된 고상의 원료분말을 노즐을 통해 분사시켜 소결과정을 거치지 않고도 상온에서 고밀도 후막을 제조할 수 있는 공정으로서, 다양한 재료의 코팅이 가능하고, 코팅층의 조성 및 화학 양론비의 제어가 용이한 특징을 갖는다. 본 연구에서는 ADM을 이용하여 큰 유전상수, 압전계수, 초전계수, 탄성계수를 갖는 $BaTiO_3$ 분말을 원료로 하여 압전소자, 커패시터, 고전압용 유전체 등에 응용이 가능한 세라믹 층 형성에 관한 연구를 진행하였다. 또한 $BaTiO_3$ 같은 강유전체 세라믹을 이용하여 여러 가지 소자를 제조하는 경우 소자의 미세조직에 따라 물성이 영향을 받는 것으로 확인되어져 있다. 이에 본 연구에서는 세라믹 분말보다 상대적으로 탄성이 큰 polymer 분말을 첨가하여 후막 내부의 결정립의 크기가 20 nm 의 평균 결정립을 갖는 세라믹 후막에 비해 최대 10 배 정도까지 증가하는 것을 확인할 수 있었으며, 이에 따라 후막에서의 유전율 및 유전손실율의 전기적 특성 변화를 확인할 수 있었고, 이러한 물성변화에 대한 원인 고찰을 위하여 후막의 미세구조 및 화학조성 등에 대한 다양한 분석이 이루어 졌으며, 상온에서 성막되는 후막의 세라믹 층의 응용을 위한 최적의 공정조건을 제시하고자 한다.

• 한국입자에어로졸학회지
• /
• 제11권4호
• /
• pp.93-98
• /
• 2015

Particles which generated from plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) during thin film deposition process can affect to the process yield. By using light extinction method, ISPM can measure particles in the large-diameter pipe (${\leq}300mm$). In our research, in-situ particle monitor (ISPM) sensor was installed at the 300 mm diameter exhaust-line to count the particles in each size. In-house flange for mounting the transmitting and receiving parts of ISPM was carefully designed and installed at a certain point of exhaust line where no plasma light affect to the light extinction measurement. Measurement results of trend changes on particle count in each size can confirm that ISPM is suitable for real-time monitoring of vacuum process.