RF Sputtering 으로 제작한 SrTiO$_3$ 박막 특성에 미치는 Ti 중간층의 영향
(A Study on the Effects of Ti interlayer on the Properties of RF Sputtering SrTiO$_3$ Thin Films)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1997년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.8-11
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- 1997