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Effects of RF pulsing and axial magnetic field onionized magnetron sputtering

  • Joo. Junghoon
    • Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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    • 제2권2호
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    • pp.133-138
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    • 1998
  • To enhance the ionization level of I-PVD and reduce the coil voltage two approaches were tried and as a diagnostic, optical emission spectroscopy and impedance analysis of the plasma was done with a range of Ar pressures and RF power along with XRD analysis of deposited Ag films. RF sputtering power was pulsed with various on/off time scales to recover the ICP quenched by sputtered metals. This in average enhances the ionization of the sputtered atoms with 10 ms/10 ms and 100 ms/100ms pulse on/off time duration and gives higher (200) preferred orientation over (111) in deposited Ag films. Secondly, Small axial B field about 8G remarkably reduced RF coil sputtering and showed scaled relationship between RF power and magnetic field strength for optimal process condition. From OES of Ar0 and Ar+, wave-like dispersion structure appeared and reduced the coil voltage about 20% at very weak field strength of 8G. This should be studied further to have nay relation with low mode helicon wave launching.

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Study of CO2+(CO2)n Cluster in a Paul Ion Trap

  • Karimi, L.;Sadat Kiai, S.M.;babazaheh, A.R.;Elahi, M.;Shafaei, S.R.
    • Mass Spectrometry Letters
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    • 제10권1호
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    • pp.27-31
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    • 2019
  • In this article, the properties of ${CO_2}^+(CO_2)_n$ clusters in a Paul ion trap have been investigated using mass-selective instability mode which conducted by chosen precursor ions, mainly $Ar^+$ and ${CO_2}^+$ produced by a mixture of Ar and $CO_2$. Exposure of ${CO_2}^+$ ions to $CO_2$ molecules, lead to the formation of ${CO_2}^+(CO_2)_n$ clusters. Here, Ar gas react as a buffer gas and lead to form ${CO_2}^+(CO_2)_n$ cluster by collisional effect.

Adaptive MPEG Traffic Prediction

  • Jung, Souhwan;Yoo, Jisang
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • 제16권3E호
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    • pp.7-13
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    • 1997
  • This paper addresses traffic prediction issues on MPEG. A new adaptive traffic prediction scheme is proposed using MPEG picture characteristic that picture traffic depends on the coding mode of that picture, that is, I, P, and B mode. Our prediction scheme, which is based n picture decomposition (PD) and the cross-correlation of the different types of pictures, has better performance in predicting bursty MPEG traffic than that of the first-order autoregressive (AR) prediction scheme. Our simulation results show that the performance is further improved about 15% by utilizing the cross-correlations between pictures.

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선반가공시 채터 모드 및 안정영역 분석 (Chatter Mode and Stability Boundary Analysis in Turning)

  • 오상록;진도훈;윤문철;류인일;하만경
    • 한국공작기계학회논문집
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    • 제14권5호
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    • pp.7-12
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    • 2005
  • This paper presents several time series methods to analyze the chatter mechanics by using the power spectrum of these algorithms considering the cutting dynamics. In this study, several time series models such as AR(burg, forwardbackward, geometric lattice, instrument variable, least square, Yule Walker), ARX(1s, iv4), ARMAX, ARMA, Box Jenkins, Output Error were modeled and compared with one another. Finally, it was proven that time series modelings are also a desirable and reliable algorithm than the other conventional methods(FFT) for the calculation of the chatter mode in turning operation. Also, the spectrum of times series methods is a little bit more powerful than the FFT fer the detection of a high noisy and weak chatter mode. The radial cutting force Fy has been used for spectrum and chatter stability lobe analysis in this study.

Nd$^{+3}$ 첨가 단일모드 광섬유 레이저 제작 및 발진특성

  • 이상배
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 1990년도 제5회 파동 및 레이저 학술발표회 5th Conference on Waves and lasers 논문집 - 한국광학회
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    • pp.260-263
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    • 1990
  • We report the operation of an Nd+3 doped silica single mode fiber laser pumped by a 514.5nm Ar laser. A CW output power in excess of 0.27mW at 1.096um has been obtained with a sloped efficiency of 0.23% and a 15nm badnwidth.

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RF Magnetron Sputtering으로 증착된 ZnO의 증착 특성과 이를 이용한 Thin Film Transistor특성 (Thin Film Transistor Characteristics with ZnO Channel Grown by RF Magnetron Sputtering)

  • 김영웅;최덕균
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.15-20
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    • 2007
  • 플라스틱 기판에 적용이 가능한 최대 공정온도 $270^{\circ}C$ 이하에서 ZnO-TFT 소자를 제작하였다. ZnO-TFT 소자는 bottom gate 구조로 제작되었으며, ICP-CVD로 형성된 $SiO_2$ 산화물 게이트 공정을 제외하고는 모든 박막증착 공정은 RF-magnetron sputtering process를 이용하였다. ZnO 박막은 Ar과 $O_2$ gas 유량의 비율에 따라 여러 가지 조건에서 RF-magnetron sputtering 시스템을 이용하여 상온에서 증착하였다. Ar과 $O_2$ gas의 비율에 따라 제작된 TFT 소자는 모두 enhancement 모드의 소자특성을 나타내었고, 또한 가시광선영역에 있어 80% 이상의 높은 투과율을 보였다. ZnO 증착시 순수 Ar을 사용하여 제작된 ZnO-TFT의 경우에, $1.2\;cm^2/Vs$의 field effect mobility, 8.5 V의 threshold voltage, 그리고 $5{\times}10^5$의 높은 on/off ratio, 1.86 V/decade의 swing voltage로 가장 우수한 전기적 특성을 보였다.

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Investigation of Ne and He Buffer Gases Cooled Ar+ Ion Clouds in a Paul Ion Trap

  • Kiai, S.M. Sadat;Elahi, M.;Adlparvar, S.;Nemati, N.;Shafaei, S.R.;Karimi, Leila
    • Mass Spectrometry Letters
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    • 제6권4호
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    • pp.112-115
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    • 2015
  • In this article, we examine the influences of Ne and He buffer gases under confined Ar+ ion cloud in a homemade Paul ion trap in various pressures and confinement times. The trap is of small size (r0 = 1 cm) operating in a radio frequency (rf) voltage only mode, and has limited accuracy of 13 V. The electron impact and ionization process take place inside the trap and a Faraday cup has been used for the detection. Although the experimental results show that the Ar+ ion FWHM with Ne buffer gas is wider than the He buffer gas at the same pressure (1×10-1 mbar) and confinement time is about 1000 μs, nevertheless, a faster cooling was found with He buffer gas with 500 μs. ultimetly, the obtanied results performed an average cloud tempertures reduced from 1777 K to 448.3 K for Ne (1000 μs) and from 1787.9 K to 469.4 K for He (500 μs)

윈도우 영역을 갖는 측방향으로 경사진 SCH-SLD의 설계에 관한 연구 (A Study on the Design of Laterally Tilted SCH-SLD with Window Region)

  • 황상구;김정호;김운섭;김동욱;안세경;홍창희
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제5권4호
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    • pp.777-790
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    • 2001
  • 광통신용 광섬유의 최저손실 파장영역인 1.55w에서 고출력으로 안정하게 동작하는 SLD를 설계하기 위하여 이론적인 해석을 수행하였다. 활성영역과 SCH층의 재료는 Int-xGaxAsyPl-y를 이용하였다. 활성영역의 측방향과 횡방향 모드해석으로부터 단일모드 고출력 동작을 위한 광전력분포와 광가둠계수를 구하였으며, 이들 계산으로부터 최대 광가둠계수를 얻기 위한 SCH층의 조성과 두께를 계산하였다. 낮은 반사도를 얻기 위하여 후면 에 윈도우 영역을 두었고 활성영역과 윈도우 영역의 계면이 측방향으로 각도를 가지게 하였으며 가우시안빔 근사와 모드해석으로부터 반사도를 계산하였다. $1.3\mum$ InGaAsP를 SCH층으로 하였을 때 최대의 광가둠계수를 얻기 위한 SCH층의 두께는$0.08\mum$정도이었다. 10-4정도의 반사도를 얻기 위해서는 활성층의 두께를 $0.2\mum$, SCH 층의 두께를 $0.08\mum$ 로 하였을 때 무반사코팅을 하지 않을 경우 윈도우 영역의 길이는 $100\mum$ 정도이고, 반사도 1% 정도의 무반사 코팅을 할 경우 $10\mum$ 정도가 된다. 측면 경사각이 $10~15^{\circ}$이면 반사도는 10-3정도가 된다. 이들 결과로부터 AR코팅을 하지 않고도 윈도우 영역의 길이와 측면 경사각을 적당히 조절한다면 안정적으로 동작하는 SLD의 제작이 가능하다는 것을 알 수 있다.

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플라즈마 중합에 의한 타이어 코드의 접착성 향상연구 (Enhanced Adhesion of Tire Cords via Plasma Polymerizations)

  • 김륜관;강현민;손봉영;한민현;윤태호
    • Elastomers and Composites
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    • 제34권2호
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    • pp.128-134
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    • 1999
  • 타이어 코드용 강철선을 RF 플라즈마를 이용한 acetylene 및 butadiene 가스의 플라즈마 중합으로 코팅하였으며, 타이어용 고무와의 접착력을 TCAT 또는 T-test로 측정하였다. 강철선의 접착력은 사용된 gas, plasma power, 코팅시간 및 가스 압력에 따라 측정하였으며, 플라즈마 중합에 앞서 Ar 플라즈마 에칭으로 타이어 코드를 세척하였다. 또한 $80^{\circ}C$의 증류수에서 7일간 노화시켜 접착력 저하를 고찰하였으며, 접착력 시험 후 타이어 코드 표면을 SEM으로 분석하여 파괴거동을 규명하고자 하였다. 가장 우수한 접착력은 acetylene의 경우 20W, 2분, 25mtorr에서, 그리고 butadiene의 경우는 l0W, 4분, 25mtorr에서 얻을 수 있었으며, Ar 에칭에 의한 접착력 변화는 없었다. 노화에 의한 접착력 저하는 없었으며, 도리어 증가하는 현상을 보였다. SEM 분석에서 강철선의 높은 거칠기와 플라즈마 코팅의 얇은 두께로 인하여 파괴거동 규명에는 한계가 있었다.

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증강현실 기반 입체도형 학습도구 시스템 (Augmented Reality based Learning System for Solid Shapes)

  • 문예지;김대환;조동식
    • 스마트미디어저널
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    • 제13권5호
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    • pp.45-51
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    • 2024
  • 최근 교육의 학습 효과에 도움을 제공하기 위해 실감 콘텐츠 환경에서 상호작용을 제공하는 시스템이 널리 활용되고 있다. 특히, 증강현실(Augmented reality) 기술은 실제 학습 환경에 가상의 물체를 합성하여 정보를 직관적으로 이해하는데 도움을 제공할 수 있다. 본 논문에서는 기하와 관련된 입체도형에 대한 수학개념을 3차원의 공간 정보를 이용하여 학습하는 증강현실 도구를 개발하였다. 이를 위해 수학 교육 과정 중 각기둥과 각뿔에 관한 교과서에 증강현실 합성 기술을 적용하여 공간적인 학습 효과를 보다 높일 수 있도록 하였다. 또한, 카메라와 마커 사이의 위치 관계에 의해 정합이 되도록 가상의 도형을 표현하였고, 공간에 대한 지각 효과를 높이기 위해 평면도, 전개도 등 도형 형태의 다양화, wireframe 가시화 모드 선택 기능 등이 가능하도록 하였다. 본 논문에서 제시한 증강현실 기반 학습도구를 통해 수업에 관한 학업성취도 및 흥미도에 관한 효과성을 평가한 결과 통계적으로 유의한 결과를 얻을 수 있었다. 본 논문에서 제안한 방법을 통하여 입체도형 학습 뿐 아니라 다양한 수업에서 교육적 효과를 높일 수 있을 것으로 전망한다.