Anodization techniques are widely used in the area of surface treatment of aluminum alloys because of its simplicity, low-cost and good corrosion resistance. In this study, we investigated the relationship between the properties (porosity and thickness) of anodic aluminum oxide (AAO) and its corrosion behavior. Aluminum 5052 alloy was anodized in 0.3 M oxalic acid at $0^{\circ}C$. The anodizing of aluminum 5052 was performed at 20 V, 40 V and 60 V for various durations. The corrosion behavior was studied in 3.5 wt % NaCl using potentiodynamic polarization method. Results showed that the pore diameter and thickness increased as voltage and anodization time increased. The relatively thick oxide film revealed a lower corrosion current density and a higher corrosion potential value.
AAO(Anodic Aluminum Oxide)는 전형적인 자기정렬 되는 물질로 이루어진 나노 다공성 구조이며 많은 나노 기술적으로 응용이 되고 있다. 양극산화 알루미나 기술은 간단한 공정으로 경제적이며 규칙적인 배열의 나노 크기의 육각형의 셀 형태의 hole구조를 형성할 수 있는 장점을 가지고 있다. 이런 나노 다공성 구조는 나노 단위의 물질을 형성하는 Template로 유용하게 쓰인다. 균일한 대면적 AAO의 형성을 위한 공정 step의 개선, 공정변수의 영향에 대하여 연구 중이며 공정변수의 조절에 따라 hole의 직경, 길이, 균일성을 제어 가능하며 제작된 AAO의 특성은 FE-SEM, AFM을 이용하여 분석한다.
The authors fabricated the nanostructural patterns on the surface of SiN antireflection layer of polycrystalline Si solar cell and the surface of crystalline Si wafer using anodic aluminum oxide (AAO) masks in an inductively coupled plasma(ICP) etching process. The AAO nanopattern mask has the hole size of about 70~80nm and an ave rage lattice constant of 100nm. The transferred nano-patterns were observed by the scanning electron microscope (SEM) and the enhancement of solar cell efficiency will be presented.
한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
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pp.697-700
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2002
Porous anodic aluminum oxide(AAO) templates prepared by anodizing method were used for growing multiwalled carbon nanotubes(CNTs). AAO templates with the homogeneous pore diameter and length were obtained by two step anodizing technique. Using AAO templates, vertically well-ordered two-dimensional carbon nanotube arrays were fabricated. We investigated the field emission property of CNTs grown using different catalyst metals in vacuum chamber (<$10^{-7}$ Torr) on AAO Template. To explain the different emission property, the surface reaction between catalysts and alumina pores which inserted carbon species of $C_2H_2$ using High resolution transmission electron microscopy (HRTEM) was studied.
A new method for measurement of the pore size in a nanohoneycomb structure using atomic force microscopy (AFM) was proposed. Porous type anodic aluminum oxide (AAO) was fabricated as a nanohoneycomb structure to measure the pore size. For measuring pore sizes from AFM images, a criterion was set in porous type AAO. The pore sizes from AFM images were compared with those from SEM images, and the results showed good agreement. The relationship between the pore size and widening time was found to be linear in the range of this study. It was understood as the synchronized effects of the impurity gradient in outer oxide of AAO, mechanical packing and mass transfer increase.
본 논문에서는 해수에 잠겨있는 물체표면의 물리적 성질과 생물오손현상 간의 상관관계를 관찰하기 위하여 생물오손에 미치는 소수성(hydrophobic) 표면의 효과에 대해 실험해석을 수행하였다. 시편으로서, 일반알루미늄, 소수성표면을 가진 알루미늄, 친수성(hydrophilic)표면을 가진 알루미늄 등 세 종류를 사용하였으며, 단, 소수성시편의 경우, AAO(Anodic Aluminum Oxide)기법으로 제작한 것과 HDFS(heptadecafluoro-1,1,2,2,-tetrahydrodecyltricholorosilane)코팅처리하여 제작한 것, 두 종류를 사용하였다. 세 종류, 네 개의 시편에서 확인된 생물오손정도는 중장기적인 면에서는 시편 간에 큰 차이가 없지만, 오손초기에는 괄목할 만한 차이가 관찰되었다. 생물 부착물의 두께가 소수성표면의 미세돌기 높이에 다다를 때 까지는 소수성표면의 오손지연효과가 현저하게 나타나나, 일단 이를 초과하면 소수성표면의 오손방지효과는 소멸됨을 확인하였다.
This study analyzes the behavior of adhesion and friction according to the pore size of nanohoneycomb structures in atomic force microscope (AFM). Anodic aluminum oxide (AAO) films are fabricated as nanohoneycomb structures. According to the pore diameters of the nanohoneycomb structures, the adhesive forces and the frictional coefficients arc obtained in AFM, and the behaviors are analyzed in the view of the contact area between the sphere particle and nanohoneycomb substrate. The effective Young's moduli of the nanohoneycomb structures are measured from the nanoindentation tests, and the contact areas at zero applied load are calculated by combining the porosity of the nanohoneycomb structures and the contact radius determined from JKR and DMT theory.
양극산화를 통해 생기는 다공성 알루미나 산화막의 기공은 전해질과 적절한 온도 등 제작 조건에서 자기 조립하여 고도로 정렬된 (Highly ordered) 나노기공을 가지는 AAO (AnodicAluminum Oxide)를 제조하는데 주로 쓰이고 있다. 본 연구에서는 다단계 산화방법으로 빛의 파장에 무관하게 빛의 반사를 매우 효과적으로 줄이는 포물선 형태의 Moth-eye 구조를 가지는 템플릿을 제조하였다. SEM 측정을 통해 구조체 다공성 알루미늄 산화막의 표면적 변화를 알 수 있었고, 일정한 크기와 모양의 pore가 규칙적으로 형성된 것을 확인하였다. 그리고 제조된 템플릿 내부에 고분자를 채워 포물선 형태의 나노핀을 갖는 필름을 제조할 수 있었다.
This paper presents fabrication method of nano-structured PMMA substrates as well as evaluations of their optical transmittance. For anti-reflective surface, surface coating method had been conventionally used. However, it requires high cost, complicated process and post-processing times. In this study, we suggested the fabrication method of anti-reflective surface by the hot embossing process. Using the nano patterned master fabricated by anodic aluminum oxidation process. Anodic aluminum oxide(AAO) is widely used as templates or a molds for various applications such as carbon nano tube (CNT), nano rod and nano dots. Anodic aluminum oxidation process provides highly ordered regular nano-structures on the large area, while conventional pattering methods such as E-beam and FIB can fabricate arbitrary nano-structures on small area. We fabricated a porous alumina hole array with various inter-pore distance and pore diameter. In order to replicate nano-structures using alumina nano hole array patterns, we have carried out hot-embossing process with PMMA substrates. Finally the nano-structured PMMA substrates were fabricated and their optical transmittances were measured in order to evaluate the charateristivs of anti-reflection. Anti-reflective structure can be applied to various displays and automobile components.
In this study, the application of biosensor having a large surface area for more effective and AAO (anomic aluminium oxide) template in order to gain concentration and voltage of anodizing process morphology changes to the control of experiments were conducted. The biosensor surface may increase the response characteristics by having a large surface area. So the entrance to a little more efficient wide depth sensing experiment was carried out to obtain a structure body with a branch shape with a large surface area with increasing. Experimental results from the FE-SEM observation was obtained template morphology. As a result, depending on the anodizing time, the depth of the layer of aluminum oxide was found that it was confirmed that the deepening of the pore size changes according to anodizing condition. And measuring the detection performance according to the conditions in the electrolyte and the reaction because of blood using a biosensor measuring sensing property according to the depth of the pore depth is considered that does not have a significant impact.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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