Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2009.11a
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- Pages.271-271
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- 2009
Study on the fabrication variable process for AAO which are uniform
균일한 AAO 제작을 위한 공정변수 연구
- Choo, Won-Il (Kunsan National University) ;
- Jung, Hyun-Young (Kunsan National University) ;
- Kim, Ja-Oll (Kunsan National University) ;
- Jung, Yong-Ho (National Research Institute) ;
-
Lee, Bong-Ju
(National Research Institute)
;
- Lee, Seung-Heun (Kunsan National University) ;
- Kwon, Sung-Ku (Kunsan National University)
- 추원일 (군산대학교) ;
- 정현영 (군산대학교) ;
- 김자올 (군산대학교) ;
- 정용호 (국가핵융합연구소) ;
-
이봉주
(국가핵융합연구소)
;
- 이승헌 (군산대학교) ;
- 권성구 (군산대학교)
- Published : 2009.11.12
Abstract
AAO(Anodic Aluminum Oxide)는 전형적인 자기정렬 되는 물질로 이루어진 나노 다공성 구조이며 많은 나노 기술적으로 응용이 되고 있다. 양극산화 알루미나 기술은 간단한 공정으로 경제적이며 규칙적인 배열의 나노 크기의 육각형의 셀 형태의 hole구조를 형성할 수 있는 장점을 가지고 있다. 이런 나노 다공성 구조는 나노 단위의 물질을 형성하는 Template로 유용하게 쓰인다. 균일한 대면적 AAO의 형성을 위한 공정 step의 개선, 공정변수의 영향에 대하여 연구 중이며 공정변수의 조절에 따라 hole의 직경, 길이, 균일성을 제어 가능하며 제작된 AAO의 특성은 FE-SEM, AFM을 이용하여 분석한다.
Keywords