A study of the fabrication of AlGaAs/GaAs HBT with an air-bridge isolation structure induced by isotropic undercut etching (등방성 언더컷 식각에 의한 에어-브리지 소자 격리 구조를 갖는 AaGaAs/GaAs HBT의 제작에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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- v.35D no.5
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- pp.40-47
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- 1998