• Title/Summary/Keyword: 4극자

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플라즈마 공정 모니터링용 사중극자 질량 분석기의 필라멘트 파손분석

  • Ha, Seong-Yong;Kim, Dong-Hun;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.93.2-93.2
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    • 2015
  • 플라즈마를 포함한 반응성 가스 공정 분석용 사중극자 질량분석기의 필라멘트의 파손양상을 조사하였다. 또한 유전체 증착층이 이온원 성능에 미치는 영향을 분석하기 위하여 이온원의 일반적인 가동 전압 조건에서 Poisson방정식을 이용하여 전위를 수치 해석으로 구하였다. 사용중 파손된 필라멘트의 파단면을 주사전자현미경으로 관찰결과, 수직으로 절단되는 양상과 직경이 점차 작아지면서 erosion되는 두가지 양상을 보였다. 또한 파단면은 표면균열과 패시팅(faceting) 현상을 보였다. 필라멘트 사용시 가장 큰 문제는 패시팅(faceting)이다. 대부분의 결정에서는 다른 결정면보다 에너지 준위가 낮은 결정면이 존재한다. W 원자는 고온에서 확산 또는 증발하여 표면에서 다시 응축할 때 표면 에너지를 최소화하기 위한 독특한 평형 형상이 만들어 지는데 이것이 패시팅의 구동력이다. 이때 국부적으로 단면적이 감소하는 곳이 생기는데, 이 지점이 집중적으로 가열되고 증발이 가속화하여 파손된다. 파단면을 EDS 분석결과, 산화물을 포함한 F, Fe 및 C이 검출되었다. 이 F과 C는 공정중 사용된 CF4의 분해에 의한 것으로 생각되며, 파손된 필라멘트를 Ar 유도결합 플라즈마로 처리한 결과 이 F, Fe 및 C의 양이 감소하였다.

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Resolving High-Order Harmonics into Components (고차조화파의 구성 요소별 분해)

  • 김정훈;신현준;이동근;남창희
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.08a
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    • pp.242-243
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    • 2000
  • 매우 짧고 결맞는 극자외선 광원의 개발에 대한 기대로 강력한 레이저 장과 상호작용하는 원자에서 일어나는 비선형 다광자 현상에 대한 연구가 최근에 활발하게 전개되고 있다. 이 상호작용 과정에서 발생하는 빛은 매우 넓은 파장 영역에 걸쳐있으며, 입사 레이저의 홀수 배에 해당하는 매우 높은 차수의 조화파들을 포함하고 있다고 알려져 있다$^{(1,2)}$ . 최근의 이론 및 실험에 의하면, 강력하고 짧은 레이저 펄스를 사용하면 고차조화파의 파장에 청색변이를 일으킬 수 있다$^{(3.4.5)}$ . 실제 관측된 청색변이는 이웃하는 홀수 조화파의 간격보다 더 크다$^{(5)}$ . 따라서, 원리적으로는 매우 넓은 가변 폭을 갖고 연속적으로 파장을 조정할 수 있는 파장가변 극자외선 광원의 개발이 가능하다. (중략)

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Five Mirror System Derived From the Numerical Solutions of all Zero 3rd Order Aberrations and Zero 5th Order Spherical Aberration for DUV Optical Lithography (모든 3차 수차와 5차 구면수차를 제거하여 얻은 극자외선 리소그라피용 5-반사광학계)

  • 이동희
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.4 no.4
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    • pp.373-380
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    • 1993
  • A five mirror system with a reduction magnification(M=+1/5) is designed for DUV optical lithography. Initially, numerical solutions of all zero 3rd order aberrations and zero 5th order spherical aberration are obtained for the spherical mirror system. Next, by the optimization method, the aspherization is carried out to the two spherical mirrors to obtain a system that has as less residual aberrations, higher NA and improved MTF as possible. We have finally obtained the system of which NA is 0.45 and the resolution is about 500 cycles/mm at the 50% MTF value criterion and the depth of focus of $1.0{\mu}m$ for the nearly incoherent illumination$({\sigma}=1.0)$ and the wavelength of 0.248 m(KrF excimer laser line).

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The Magnetic Properties of Amorphous F$e_32Ni_36Cr_14P_12B_6$ (비정질 F$e_32Ni_36Cr_14P_12B_6$의 자기적 성질)

  • Kim, Jung-Gi
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.2 no.4
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    • pp.293-297
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    • 1992
  • The magnetic properties of the amorphous Fe/sub 32/Ni/sub 36/Cr/sub 14/P/sub 12/B/sub 6/ has been studied by Mossbauer spectroscopy in the temperature range of 88-400K. The analysis of the spectrum of B8K, the magnetic hyperfine field and quadrupole splitting are found to be 140.5kOe and almost zero, which means that the magnetic hyperfine field is randomly oriented with respect to the principal axes of the electric field gradient, respectively. The values of quadrupole splitting in paramagnetic phase with Tc=280K are independent on the changes of temperature. Debye temperature is found to be about 288k from the analysis of recoilless fraction.

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Mossbauer studies of Iron Compounds (철화합물에 대한 뫼스바우어 연구)

  • 김철성
    • Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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    • 2002.12a
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    • pp.18-19
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    • 2002
  • $^{57}$ Fe화합물에 대한 Mossbauer 분광학 연구로부터 이들 자성물질의 이성핵적이동값, 전기사중극자 분열값 및 초미세자기장의 크기를 결정하였으며 이들값으로부터 Fe의 이온상태, 큐리온도, 각 Site의 점유율, Debye온도, spin wave상수, exchange integral을 계산하였다. $^{57}$ Co감마선을 사용하는 등가속도형 Mossbauer 분광기를 이용하여 4.2 K 부터 900 K 온도영역에서 실험을 하였다. (중략)

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Studies on Curved Diffractive Optical Elements in EUV (극자외선 영역에서 곡면 DOEs에 관한 연구)

  • Choi, Sung-Eul;Lee, Yong-Woo;Kwon, Myung-Hoi;Kim, Yong-Hoo
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.16 no.4
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    • pp.304-312
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    • 2005
  • Field performance of several different types of diffractive optical elements(DOEs) has been carried out. Using Zemax model, we have designed five different types of DOEs, such as transmissive flat-DOE, transmissive curved-DOE, reflective flat-DOE, reflective curved-DOE and parabolic mirror, We have applied two different wavelengths, i.e., 13 m(EUV) and 632.8 nm(visible) to above DOEs. Off_axis dominate aberrations and the diffraction limiting (Rayleigh limit) field angles have been investigated and compared at both wavelengths for each DOE. At diffraction limit, field angle of curved-DOEs was much greater than that of flat-DOEs for both transmission and reflective types. We also showed that dominated off_axis aberration of flat-DOEs was coma, but that of curved-DOEs was mixture of astigmatism and curvature of field. The measured field angle and expected OPD aberrations were well coincided with theoretical ones. Increasing the ratio of field angle with wavelength was more effective in curved-DOEs than flat-DOEs.

Mossbauer Spectra of the $\textrm{Cd}_{x}\textrm{Ni}_{1-x}\textrm{Fe}_{2}\textrm{O}_{4}$ ($\textrm{Cd}_{x}\textrm{Ni}_{1-x}\textrm{Fe}_{2}\textrm{O}_{4}$의 Mossbauer 스펙트럼)

  • Baek, Seung-Do
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.7 no.7
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    • pp.618-622
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    • 1997
  • 상온에서 측정한 Cd$_{x}$Ni$_{1-x}$Fe$_{2}$O$_{4}$의 Mossbauer 스펙트럼은 조성비에 따라 x값이 0.4이하인 시료에서는 준강자성에 의한 여섯개의 공명 흡수선, x값이 0.5인 시료에서는 이완된 형태의 공명흡수선, 그리고 x값이 0.6시료인 상자성에 의한 두개의 공명 흡수선이 나타났다. Cd$_{x}$Ni$_{1-x}$Fe$_{2}$O$_{4}$의 x값이 0.4이하인 시료의 초미세 자기장(H$_{hf}$)과 x값이 0.6 이상인 시료의 사중극자 분열치 (Q.S.)는 Cd농도가 증가함에 따라 감소한다. 시료의자기적 성질에 따른 이성질체 이동치(I.S.)의 차이는 있으나, Ni와 Cd이온의 농도에 따른 뚜렷한 의존성은 나타나지 않았다.다.

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지구의 비쌍극자 자장과 편각

  • Park, Chang-Go
    • 한국지구과학회:학술대회논문집
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    • 2010.04a
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    • pp.53-53
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    • 2010
  • 지표위의 어떤 지점에서의 지구자기의 수평분력 방향과 진북방향 사이의 각을 편각(Declination)이라고 정의한다. 쉽게 말하면 편각은 나침반의 자침이 가러 키는 방향과 진북방향과의 사이 각을 말한다. 대부분의 사람들은 나침반의 자침이 북자기극(North magnetic pole)을 가러킨다고 잘못알고 있다. 지구 다이나모설(Geodynamo theory)에 의하면 주로 철(약 90%)로 구성된 외핵 속에서 계속 생성 유지되고 있는 복잡한 (각각 나선형(helical)의 회전축에 대체로 평행하거나 평행하지 않은) 대류(Convection currents)에 수반하는 전류가 복잡한 지구자기장을 형성한다. 지표상에서 측정한 지구자기장의 자료를 Spherical harmonic analysis 으로 분석하면 한 개의 커다란 쌍극자(Dipole) (Inclined geocentric dipole 또는 주된 자기장(Main field) 이라고 부름), 적도쌍극자(Equatorial dipole), 4극자 (Quadrupoles), 8극자(Octupoles) 등의 여러 개의 크고 작은 쌍극자들의 총합이 지구자기장의 근원인 것처럼 해석되고 있다. 어떤 지점에서의 지구자기장의 방향은 외핵에서 생성된 천체 자기장에서 Main field를 제거한 나머지 자기장과, 상부 맨틀(upper mantle), 지각 및 지표상에 존재하는 인공 물체 또는 암석 및 광석 등의 잔류자기 및 유도자기 그리고 지형 등의 영향으로 결정된다. 어떤 지점에서의 지구자기장의 방향은 태양풍(Solar wind)과 전리층 사이의 상호작용 등의 외부자장(external field)의 영향도 받는다. 비쌍극자 자장(Non-dipole field)은 지표상에서 측정되는 총자기장에서 외핵에서 생성된 주된 자기장(Main field) 즉, 지구의 회전축에서 약 11.5도 기울어진 쌍극자 자장을 제거하고 남는 자기장을 말한다. 따라서 편각은 비쌍극자자장의 영향을 가장 많이 받는다. 비쌍극자 자장은 정지한 상태의 자장(standing field) 과 매년 서쪽으로 약 0.2도 움직이는 Westward drift하는 자장으로 크게 두 가지로 구분된다. 쌍극자 자장의 방향은 매우 느리게 변하지만 그 세기는 현재 비교적으로 빠르게 약해지고 있다. 비교적으로 매우 빠르게 변하는 비쌍극자 자장의 변화를 영년변화(Secular variation) 이라고 한다.

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Studies on Crystallographic and Mossbauer Spectra of the LiFe0.9Mn0.1PO4 (LiFe0.9Mn0.1PO4 물질의 결정구조 및 뫼스바우어 분광 연구)

  • Kwon, Woo-Jun;Lee, In-Kyu;Rhee, Chan-Hyuk;Kim, Sam-Jin;Kim, Chul-Sung
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.22 no.1
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    • pp.15-18
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    • 2012
  • The olivine structured $LiFe_{0.9}Mn_{0.1}PO_4$ material was prepared by solid state method, and was analyzed by x-ray diffractometer (XRD), superconducting quantum interference devices (SQUID) and Mossbauer spectroscopy. The crystal structure of $LiFe_{0.9}Mn_{0.1}PO_4$ was determined to be orthorhombic (space group: Pnma) by Rietveld refinement method. The value of N$\acute{e}$el temperature ($T_N$) for $LiFe_{0.9}Mn_{0.1}PO_4$ was determined 50 K. The temperature dependence of the magnetization curves showed magnetic phase transition from paramagnetic to antiferromagnetic at $T_N$ by SQUID measurement. M$\ddot{o}$ssbauer spectra of $LiFe_{0.9}Mn_{0.1}PO_4$ showed 2 absorption lines at temperatures above $T_N$ and showed asymmetric 8 absorption lines at temperatures below $T_N$. These spectra occurred due to the magnetic dipole and electric quardrupole interaction caused by strong crystalline field at asymmetric $FeO_6$ octahedral sites.