• 한국정밀공학회지
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• 제26권2호
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• pp.109-117
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• 2009

This paper presents a linear air bearing stage with compensated motion errors by active control of preloads generated by magnetic actuators with combination of permanent and electromagnets. A 1-axis linear stage motorized with a linear motor with 240mm of travel range is built for verifying this design concept and tested its performances. The three motions of the table are controlled with four magnetic actuators driven by current amplifiers and a DSP based digital controller. Three motion errors were measured combined method with laser interferometer and two-probe method with $0.085{\mu}m$ of repeatability for straightness error. The measured motion errors were modeled as functions of the stage position, and compensation were carried out with feedforward control because the characteristics of the motion control with magnetic actuators are linear and independent for each degree-of-freedoms. As the results, the errors were reduced from $1.09{\mu}m$ to $0.11{\mu}m$ for the vertical motion, from 9.42 sec to 0.18 sec for the pitch motion and from 2.42 sec to 0.18 sec for roll motion.

• 항공우주기술
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• 제13권1호
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• pp.44-54
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• 2014

본 논문에서는 3구 추력기 2모듈 형태의 추력기시스템 기준으로 발사체 상단 자세제어용 추력기시스템 명령생성방식 2가지를 제시한다. 하나는 혼합오차함수를 이용하는 방식이고, 다른 하나는 명령혼합함수를 이용하는 방식이다. 시뮬레이션을 통해 두 방식을 비교 분석한 결과, 제어축 간의 상호 간섭, 각축 제어기의 독립적인 설계와 분석 용이성, 비행성능 예측 가능성 등의 관점에서 명령혼합 알고리듬이 상대적으로 유리함을 보인다.

• 대한치과교정학회지
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• 제17권2호
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• pp.321-333
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• 1987

The purpose of this study was to observe the changes of the lower 3rd molars following the extraction of the lower 2nd molars by Lateral Cephalograms and Orthopantomograms. The subjects consisted of twenty malocclusion, 7 males 13 females, were 19 year 5 month old at the removal of the lower 2nd molars, 19 year 1 month old at the end of the orthodontic supervision after the removal of the lower 2nd molars (mean age) The obtained results were as follows, 1 It is recommended to extract the lower 2nd molars when the lower 3rd molars are Nolla's Stage 4 or 5 2 With the pre-extraction variables obtained by factor analysis, it was possible to predict the long axis of the lower 3rd molars after 2nd molar extraction. 3 There were no impacted 3rd molars.

• 한국광학회지
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• 제4권1호
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• pp.15-21
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• 1993

본 연구에서는 설계제작된 KrF 엑시머 레이저 스텝퍼는 광원인 KrF엑시머 레이저, 조명광학계, 축소트영광학계, 정밀구동 웨이퍼 스테이지, 정렬시스템 및 이들을 제어하기 위한 제어계로 구성되어 있다. 본 실험에서 사용한 KrFdprtlaj 레이저는 밴드폭 3pm, 반복주파수 200Hz, 평균축력 3W이고, 5:1 투영렌즈는 N.A. 0.42, 전체 필드영역 $\varphi$21.2mm, 왜곡수차 최대 60nm 이하이다. 또한 정밀구동 웨이퍼 스테이지의 재현성과 해상도는 각각 $\pm$0.08$\mu\textrm{m}$/200mm(3 sigma), 100mm 반경에서 0.05 $\mu\textrm{m}$이다. 자동 초점 시스템은 $\pm$50$\mu\textrm{m}$범위에서 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈으며, 자동수평시스템은 120 arcsec 범위에서 larcsec의 해상도를 나타냈다. OFF-AXIS 정렬방식에서는 0.2$\mu\textrm{m}$의 해상도를 가지며, 두빔의 간섭을 이용한 새로운 TTL 정렬은 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈다. 스텝퍼 패턴 실험결과 SAL603레지스트를 사용하였을 때 웨이퍼의 노광후 열처리 $105^{\circ}C$, 60초에서 0.3$\mu\textrm{m}$ Lines and Spaces(L/S)까지 해상되었으며, 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S에서 1$\mu\textrm{m}$의 초점심도를 얻을 수 있었다. 마스크 패턴과 레지스트 패턴의 선형성은 0.4$\mu\textrm{m}$ L/S가지 유지 되었다. 또한 XP-89131레지스트의 경우 노광후 열처리 $110^{\circ}C$, 60초에서 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S까지 해상됨을 알수 있었다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제45권8호
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• pp.61-66
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• 2008

최근 모바일 기기에 3차원 그래픽 디지털 콘텐츠들이 증가함에 따라 휴대용 기기에 적합한 3차원 그래픽 가속기의 연구와 설계는 점점 중요한 이슈가 되고 있다. 본 논문에서는 저전력 3차원 그래픽 파이프라인에 적합한 효율적인 클리핑 구조를 제안한다. 많은 연산 사이클과 연산기를 필요로 하는 클리핑 연산을 두 단계로 나누어서 기하변환 엔진에서는 컬링 정렬(cull and sort) 유닛으로 구현하고, 실질적인 클리핑은 스캔 변환(scan conversion)에서 구현한다. 즉, 스캔 변환 처리기를 구성하고 있는 변처리 (edge walk) 유닛에서 Y축 클리핑을 함께 수행하고 스팬처리 (span processing) 유닛에서 X축과 Z축 클리핑을 함께 수행한다. 제안하는 기하 변환 엔진의 컬링 정렬 유닛은 기존 클리핑 유닛에 비해 면적과 동작 사이클이 크게 줄었고 스캔 변환 처리기의 면적은 거의 증가하지 않아 전반적으로 동작 속도 및 동작 효율을 높였다. 제안하는 클리핑 구조를 적용한 3차원 그래픽 가속기는 Verilog-HDL을 이용하여 설계하고 FPGA를 이용하여 검증하였다.

• Journal of Magnetics
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• 제21권3호
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• pp.348-355
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• 2016

Precision motion stages used in the manufacturing process of flat-panel displays have inevitably low settling performance due to their huge mass and bulky structures. In order to improve the settling performance, several methods of frame vibration compensation have been developed so far. These methods are used to cancel the vibration by imposing a counter force or modifying the resonance mode of the frame of the stage. To compensate the frame vibration, high force actuators are required. In this paper, a mighty voice coil actuator is proposed to generate the counter force against the frame vibration. The proposed voice coil actuator has an axis-symmetric rectangular structure to achieve a large force with simple and low cost fabrication. Also, the voice coil actuator allows radial clearance up to ${\pm}4mm$. Using an optimized design process and a magnetic circuit model, the power consumption is minimized while the required force is obtained. With a power of 322 W, the VCA has been designed to have a maximum force of 574 N with a force constant of 164 N/A. Experimental results verified the force constant of the fabricated voice coil actuator is well matched with the designed value.

• Radiation Oncology Journal
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• 제26권2호
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• pp.77-82
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• 2008

목적: 상부와 중앙 부위에서 발생한 식도암에서 복강 림프절 및 위 주변 림프절을 치료 범위에서 제외하고 근치목적의 방사선 치료를 시행한 경우 림프절 재발 양상과 치료성적에 대해 알아보고자 하였다. 대상 및 방법: 1986년 1월부터 2006년 12월까지 전북대학교병원에서 방사선 치료를 시행 받은 식도암 환자 중, T4N1M0이하 병기의 상부와 중앙부위에 생긴 식도암 환자를 대상으로 하였다. 대상 환자에서 복강 림프절 및 위 주변 림프절이 치료범위에 포함되지 않았으며, 방사선 단독 또는 항암화학요법과 병용으로 치료를 하였다. 방사선 치료는 6 MV와 10 MV 선형가속기(Siemens, 독일)를 이용하였으며, 외부방사선조사로 종양부위에 평균 60.5 Gy를 조사하였다. 항암화학치료는 5-Fluorouracil, Cisplatin, Docetaxel이 사용되었다. 108명 환자 중, 방사선 치료 범위에 위식도 접합부 및 복강 림프절과 위 주변 림프절이 치료 범위에 포함되지 않았고, 계획된 선량의 80% 이상이 조사되었으며, 조직학적 진단이 편평상피세포 암으로 확진된 82명을 분석하였으며, 방사선 치료 단독군은 51명, 항암화학 병용 군은 31명 이었다. 남녀 성비는 78명과 4명이었으며, 평균 연령은 63.2세이었다. 발생 부위는 상부와 중앙 부위가 각각 17명과 65명이었다. 병기별 환자는 T1N0-1M0 7명, T2N0-1M0 18명, T3N0-1M 44명 및 T4N0-1M0 13명 이었으며, 평균 추적 관찰 기간은 15개월 이었다. 결과: 방사선 치료 결과는 완전반응 48명, 부분반응 31명 및 무반응 3명이었다. 추적 검사 후 재발 양상은 인접 림프절 전이는 23명, 원발 림프절 전이는 13명, 인접 림프절 및 원발 부위 림프절 전이가 없는 경우는 10명, 추적 검사 중단이나 진단 거부로 인하여 평가가 이루어지지 않은 경우는 36명 이었다. 원발 림프절 전이가 확인 되었던 13명의 임상병기는 T1N0-1M0 3명, T2-4N0-1M0 10명으로 나타났으며, 원발 부위는 상부 1명, 중앙 부위가 12명이었고, 치료 방법은 방사선 치료 단독 9명, 항암화학 병용 4명 이었다. 그리고 치료성적은 완전반응 12명, 부분반응 1명으로 나타났다. 추적 검사 상 림프절 전이 확인 후 인접 림프절 전이 환자의 평균 생존 기간은 14.4개월이었으며, 원발 림프절 전이 환자의 평균 생존 기간은 7개월 이었다. 결론: T4N1 이하 병기의 상부와 중앙 부위에서 발생한 식도암에서 복강 림프절 및 위 주변 림프절을 치료범위에서 제외하고 근치목적의 방사선치료를 한 경우 동 부위에 전이 빈도가 높았고, 인접 림프절 전이와 비교하여 생존율이 감소하였다. 특히 임상 병기가 T2 이상 및 방사선치료 단독의 경우에서 복강 림프절 및 위 주변 림프절에 전이 빈도가 상대적으로 높았다.

• 한국세라믹학회지
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• 제28권4호
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• pp.269-278
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• 1991

Fine AlN powder was synthesized by carbothermal reduction and nitridation of alumimun hydroxide prepared from Al-isopropoxide. AlN ceramics with Y2O3 and CaO were prepared by hot-pressing under the pressure of 30 MPa at 180$0^{\circ}C$ for 1 h in N2 atmosphere. Grain boundary behavior and purification mechanism of AlN lattice were examined by heat treatment of AlN ceramics at 185$0^{\circ}C$ for 1-6 h in N2 atmosphere. AlN ceramics without sintering additives showed poor sinterability. However, Y2O3-doped and CaO-doped AlN ceramics were fully densified nearly to theoretical density. As the heat treatment time increased, c-axis lattice parameter increased. This is attributed to the removal of Al2O3 in AlN lattice. This purification effect of AlN attice depended upon the quantity of secondary oxide phase in the inintial stage of heat treatment and the heat treatment time.

• Journal of electromagnetic engineering and science
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• 제15권4호
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• pp.250-257
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• 2015

This paper presents an experimental measurement system for 3-6 GHz microwave tomography (MT) of the breast. The measurement system is constructed as a minimal test bed to verify key components such as the sensing antennas, radio frequency (RF) transceiver, sensing mechanism, and image reconstruction method for our advanced MT system detecting breast cancer at an early stage. The test bed has eight RF channels operating at 3 to 6 GHz for high spatial resolution and a two-axis scanning mechanism for three-dimensional measurement. The measurement results from the test bed are shown and discussed.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2006년도 춘계학술대회논문집
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• pp.219-223
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• 2006

This paper presents a gantry type 3-axes positioning system, which is useful to test control algorithms for coordinate measuring machines and industrial cranes. The dynamic characteristics of the system have been investigated through a series of finite element analysis and experiments. In order to minimize the residual vibration during movement, this paper implements input shaping algorithms for the system with the information from the dynamic analysis. The results show that the dynamic performance of the system can be significantly improved by the dynamic analysis and implementation of input shaping