Measurement and Verification of Thermal Conductivity of Multilayer Thin Dielectric Film via Differential $3\omega$ Method
(차등 $3\omega$ 기법을 이용한 다층 유전체 박막의 열전도도 측정 및 검증)
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- Transactions of the Society of Information Storage Systems
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- v.2 no.1
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- pp.85-90
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- 2006