변위 증폭 메커니즘을 이용한 scanning probe microscopy용 PZT구동 2축 나노 스캐너 설계 (Design of 2-D nano scanner with displacement amplifier mechanism which is driven by PZT for application to scanning probe microscopy (SPM))
-
- 한국정밀공학회:학술대회논문집
- /
- 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
- /
- pp.835-836
- /
- 2008