In this study, it was tried to deposit diamond films from a mixture of CH4 and H2 by the microwave plasma chemical vapor deposition(MWCVD). The MWCVD process was designed and set up from the 2.45GHz microwave generator. And the diamond film was successfully deposited on silicon wafers from the mixture of methane and hydrogen. The microstructures of the deposited diamond films were studied by using the following deposition variables : (a) methane concentration(0.6-10%), (b) reaction pressure(10-100torr), and (c) the substrate temperature(450-76$0^{\circ}C$).
본 논문에서는 마이크로파를 이용한 무선전력전송시스템을 구현하기 위해 2.45[GHz] 마이크로파를 수신하여 직류전력으로 변환하는 렉테나를 설계, 구현하고, RF-DC변환효율을 높이기 위한 임피던스 매칭 및 튜닝 방법을 제시하였다. 구현된 렉테나는 넓은 Open Stub를 사용하여, 쉽게 튜닝이 가능하며, 정류회로의 RF-DC변환효율은 5[dBm]입사전력에 대하여, 최대 59[%]를 얻을 수 있었다. 제작된 패치안테나와 정류회로를 이용하여 소전력무선전송시스템을 구현한 결과, 송수신거리가 1[m]떨어진 거리에서 2.2[V], 1.5[mW]의 직류전력송신이 이루어졌으므로, 소전력 디지털시스템의 운용에 적용가능한 값을 얻을 수 있었다.
Microwave dielectric properties of 0.15(B $a_{x}$S $r_{0.05}$)O-0.15(S $m_{2}$(1-y)N $d_{2y}$) $O_{3}$-0.7Ti $o_{2}$(x=o.9~0.1[mol.], y=6[m/o]) ceramics were investigated with BaO compositional ratio. Sintered density and resistivity of specimens were independent on the BaO compositional ratio. In the specimen with x=0.975[mol.], dielectric constant, quality factor and temperature coefficient of resonant frequency had good values of 76.52, 3001(at 3[GHz]) and +0.71[ppm/.ceg. C], respectively. By comparing with the stoichiometric compositions of 78.14, 2938(at 3[GHz])+14.19[ppm/.ceg. C], dielectric constant and quality factor showed similar properties, but the temperature coefficient of resonant frequency was highly improved. (author). refs., figs., tabs.s.s.
A microwave PIN diode 4-bit phase shifter is designed in X-band. A loaded-line type is used for the 22.5$^{\circ}$ and 45$^{\circ}$ bits, and a switched-line type for the 90$^{\circ}$and 180$^{\circ}$bits. The measured results show that the phase error and average insertion loss are less than $\pm$5.4$^{\circ}$and 7.2dB, respectively, over a 9.75~10.25GHz frequency band.
사용주파수 2.45 GHz에서 렉테나 소자용으로 사용하기 위한 공동 안테나의 기본특성을 포멘트 법을 사용하여 해석하고 있다. 제안된 공동 안테나는 표면에 직사각형의 폭이 좁은 슬롯과 내부에 슬롯면과 수직방향의 급전 및 무급전 포스트를 가지며, RF-DC 변환회로를 공동의 하단부에 장착할 수 있는 구조적 특징을 가진다. 수치계산 결과, 안테나 급전단에서 약 50 dB의 최대 반사손실을 얻고 있다.
본 논문은 2 GHz대와 12 GHz대에서 동작하는 Phase Shifter를 제안한다. 이것을 위해 비유전율이 2.6인 마이크로 스트립 선로가 사용되었다. 2 GHz대에서 전송선로 위에 비유전율 9인 유전체를 덮어서 주파수 특성이 좋고 선형적인 phase 변화를 가지는 것을 보았다. 12 GHz대에서도 S21의 위상 변화가 유전체 소자의 위치를 변화시킴으로써 약 30。의 우수한 값을 얻을 수 있었다.
The $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-xwt%TiO_2\;(x=5\sim20)$ microwave dielectric ceramics were prepared by solid-state reaction method and sintered at $1450^{\circ}C$. According to the X-ray diffraction data, the $Mg_4Ta_2O_9-xwt%TiO_2$ ceramics had main phase of $Mg_4Ta_2O_9$ and $MgTi_2O_5$ peaks were added by increasing of $TiO_2$ addition. Microwave dielectric properties of the $Mg_4Ta_2O_9-xwt%TiO_2$ ceramics were influenced by $MgTi_2O_5$ phase and properties of $TiO_2$. There was a little decrement of the quality factor from 116,800GHz of pure $Mg_4Ta_2O_9$ to 100,100GHz of 15wt% $TiO_2$ added one. But there was excellent improvement in temperature coefficient of the resonant frequency (TCRF) by addition of 15wt% $TiO_2$. The dielectric constant quality factor and TCRF of the $Mg_4Ta_2O_9-xwt%TiO_2$ ceramics sintered at $1450^{\circ}C$ were $13.08\sim16.41,\;45,000\sim165,410GHz,\;-24.82\sim+3.88ppm/^{\circ}C$, respectively, depending on the value of x. Simulated dielectric resonator (DR) with $Mg_4Ta_2O_9-15wt%TiO_2$ ceramics had the operating frequency of 11.97GHz and $S_{2,1}$ of -35.034dB.
This report describes thick traveling-wave electrode formation and microwave transmission characteristics of the fabricated electrodes. Effective refractive indices of the microwave in the 5 micron CPW type traveling-wave electrodes is around 2.45 according to the results of time domain S parameter measurements. The bandwidth of the electrodes is about 10 GHz and could be extended to 15 GHz through optimization of the process. The developed process technique that enables plating of micropatterns upto 20 micron can be applied to broadband optical intensity modulators.
한국결정성장학회 1998년도 PROCEEDINGS OF THE 14TH KACG TECHNICAL MEETING AND THE 5TH KOREA-JAPAN EMGS (ELECTRONIC MATERIALS GROWTH SYMPOSIUM)
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pp.75-76
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1998
Fly ash 70wt% contained green bodies were sintered by using a 2.45 Ghz microwave oven and their properties were investigated. Samples were sintered at 1,150$^{\circ}C$ and kept at that temperature up 50 minutes by 10 minutes intervals. Numerical analysis on the microwave heated system was carried out in order to figure out the heat transfer phenomena in the cavity.
재래식 열원과 마이크로파 열원에 의해 열처리된 봉착용 무정형재료의 결정화 거동을 비교 검토하였다. X-선 회절분석과 SEM 분석의 결과로부터 마이크로파 열원에 의해 열처리된 시편은 짧은 열처리 시간과 낮은 열처리 온도에도 불구하고 재래식 열원에 의해 열처리된 시편에 비하여 $PbTiO_3$ 결정이 잘 성장하였고 높은 결정화도를 보여주었다. 마이크로파가 $PbTiO_3$ 결정의 핵 생성 단계에서는 핵 생성을 억제하지만,$PbTiO_3$결정의 핵 생성이 활발하여 임계 크기 이상으로 $PbTiO_3$결정이 성장하면 시편내의 이온들에게 향상된 확산 효과를 제공하여 $PbTiO_3$ 결정의 성장을 돕는다고 사료된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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