• Journal of Convergence for Information Technology
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• v.11 no.4
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• pp.26-34
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• 2021

In the era of the Fourth Industrial Revolution, the future battlefield will carry out multi-area operations with hyper-connected, high-speed and mobile systems. In order to prepare for changes in the future, the Korean military intends to develop various weapons systems and form a multi-layer tactical network to support On The Move communication. However, current tactical networks are limited in support of On The Move communications. In other words, the operation of multi-beam antennas is necessary to efficiently construct a multi-layer tactical network in future warfare. Therefore, in this paper, we look at the need for multi-beam antennas through the operational scenario of a multi-layer tactical network. In addition, based on development consideration factors, features of rotary-wing and fixed-wing aircraft, we present the location and operation of airborne relay drone installations of multi-beam antennas.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.406-406
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• 2010

일반적으로, 나노스케일의 MOS 소자에서는 게이트 절연체 두께가 감소함에 따라 tunneling effect의 증가로 인해 PID (plasma induced damage)로 인한 소자 특성 저하 현상을 감소하는 추세로 알려져 있다. 하지만 요즘 많이 사용되고 있는 high-k 게이트 절연체의 경우에는 오히려 더 많은 charge들이 trapping 되면서 PID가 오히려 더 심각해지는 현상이 나타나고 있다. 이러한 high-k 게이트 식각 시 현재는 주로 Hf-based wet etch나 dry etch가 사용되고 있지만 gate edge 영역에서 high-k 게이트 절연체의 undercut 현상이나 PID에 의한 소자특성 저하가 보고되고 있다. 본 연구에서는 이에 차세대 MOS 소자의 gate stack 구조중 issue화 되고 있는 metal gate 층과 gate dielectric 층의 식각공정에 각각 중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각을 적용하여 전기적 손상 없이 원자레벨의 정확한 식각 조절을 해줄 수 있는 새로운 two step 식각 공정에 대한 연구를 진행하였다. 먼저 TiN metal gate 층의 식각을 위해 HBr과 $Cl_2$ 혼합가스를 사용한 중성빔 식각기술을 적용하여 100 eV 이하의 에너지 조건에서 하부층인 $HfO_2$와 거의 무한대의 식각 선택비를 얻었다. 하지만 100 eV 조건에서는 낮은 에너지에 의한 빔 스케터링으로 실제 패턴 식각시 etch foot이 발생되는 현상이 관찰되었으며, 이를 해결하기 위하여 먼저 높은 에너지로 식각을 진행하고 $HfO_2$와의 계면 근처에서 100 eV로 식각을 해주는 two step 방법을 사용하였다. 그 결과 anistropic 하고 하부층에 etch stop된 식각 형상을 관찰할 수 있었다. 다음으로 3.5nm의 매우 얇은 $HfO_2$ gate dielectric 층의 정확한 식각 깊이 조절을 위해 $BCl_3$와 Ar 가스를 이용한 중성빔 원자층 식각기술을 적용하여 $1.2\;{\AA}$/cycle의 단일막 식각 조건을 확립하고 약 30 cycle 공정시 3.5nm 두께의 $HfO_2$ 층이 완벽히 제거됨을 관찰할 수 있었다. 뿐만 아니라, vertical 한 식각 형상 및 향상된 표면 roughness를 transmission electron microscope(TEM)과 atomic force microscope (AFM)으로 관찰할 수 있었다. 이러한 중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술이 결합된 새로운 gate recess 공정을 실제 MOSFET 소자에 적용하여 기존 식각 방법으로 제작된 소자 결과를 비교해 본 결과 gate leakage current가 약 one order 정도 개선되었음을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1995.10a
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• pp.191-196
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• 1995

지지부에 비틀림 하중을 받는 Elstica는 비틀림 운동을 하며, 그 가진 주파수가 굽힘모드 근처일 때는 해당하는 굽힘 모드의 운동까지도 동시에 존재하게 된다. 이때 가진력의 크기가 작을때는 주기적인 운동이 된다. 가진력의 크기가 증가함에 따라 굽힘 운동은 굽힘 1차 모드와 연성된 유사주기운동이 발생하며, 이떤 범위 이상이 되면 굽힘 운동과 비틀림 운동이 결합된 진폭이 매우 크고 불규칙적인 비평면 운동(out of plane motion)이 발생하게 되며 이 때의 운동은 혼돈운동이다. Elastica가 굽힘 3차 고유진동수 근방의 주파수로 비틀림 하중을 받을 때의 정확한 이론적 해석을 위해서는 굽힘 3차모드 까지는 반영할 수 있는 식이 모델링 되어야 할 것으로 보인다. 이것은 복잡한 비평면운동을 할 때 굽힘 3차 모드까지 관찰된다는 사실에 근거한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.581-581
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• 2012

나노스케일에서의 자구체(magnetic domain), 자화벽(magnetic domain wall)에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있으며 특히 자화벽의 위치를 임의로 제어할 수 있는 기술을 응용한 메모리 소자에 대한 연구가 활발하다. 반면에 이러한 연구에 필수적인 자구체, 자화벽 이미징 장비는 매우 미비한 상황이다. 이와 같은 자성이미징(magnetic domain image), 자화벽(magnetic domain wall)을 연구하는데 있어 가장 핵심적인 장비가 SEMPA(Scanning Electron Microscopy with Polarization Analysis)이다. 일반적으로 SEM의 경우 고 에너지 빔의 전자 빔을 주사 시키고 이때 발생되는 이차 전자의 수를 2차원상의 영역에 따라 달라지는 비로 형상을 측정하게 된다. 이때 전자의 수 뿐만 아니라 이들의 spin polarization을 측정할 수 있다면 형상뿐 만 아니라 표면에서의 스핀 상태를 동시에 측정할 수 있게 된다. 기 개발된 W-filament source를 이용한 SEMPA는 field emission source에 비하여 전자빔의 세기가 약하며 이차 전자의 수도 적어 spin polarization 감도가 현저히 떨어진다. 또한 초고진공($1{\times}10^{-10}torr$)에서 사용할 수 없어 측정시료의 contamination을 방지할 수 없다. 이러한 문제점들을 보안하기 위하여 field emission source를 이용한 FE-SEMPA를 개발 중이며 2차전자의 spin polarization감도를 증가시키기 위하여 monte carlo simulation과 전산시늉등울 통해 스핀 검출기를 개발 및 연구결과를 발표하고자 한다.

• 한국지구물리탐사학회:학술대회논문집
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• 2008.10a
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• pp.93-96
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• 2008

We analyze a precise seabed feature around the Hupo Bank by using Multi-beam echosounder. Multi-beam echosounder system can observe the topography undulation according to the navigation of the survey ship by shooting wide beam. It is possible to embody a precision seabed feature because it can be make high density of incompletion depth sounding between survey lines. Through this survey, there is the Hupo Bank which is 84 km long, 1-15 km wide, 5.3-160 m deep in the center, at the west is moat, at the east is scarp and submarine canyon. The top of the Hupo Bank is the Wangdol reef that has 5.3 m in depth of water at least. Moat in survey area is 30 m long, and 30-40 m wide and has a depressed channel. The gap of depth of water in scarp is approximately 60 m and shows a characteristic of cuttig plane. Submarine canyon is 3.5 - 13.5 km wide.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2008.05a
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• pp.43-45
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• 2008

박막 제작공정은 반도체 제작 공정, 고정밀도의 하드디스크 및 레이저 디스크 기술, LCD/P에 DML평판 디스크 플레이어 제작 공정에 있어 중요한 기술이다. 더욱이, 이 공정은 이동 전화 커버의 증착 및 전자 차폐의 일반기술, 램프의 반사판, 화장품 용기, 몇몇 상품에 있어 카메라 렌즈의 광학 표면 코팅과 코팅 필름 제작에 사용된다. 본 연구의 주요목적은 반도체 제작 공정과 많은 산업 분야에서 기본 재료로 사용되는 전영저항의 개발에 있다. 개발 공정은 다음과 같다. 전자빔이 최상의 진공 분위기에서 텅스텐 필라멘트의 열에 의해 방출된다. 그때 전자는 높은 전압에서 가속화된다. 전자들은 반대 재료에 충돌되고, 반대편 재료는 발생 열에 의해 코팅된다. 1차년도 연구목적은 고성능 전열 저항체 개발을 위한 지름 당 필라멘트 선의 기계적 특성을 조사하고 CAE 해석을 수행하며, 2차 년도에는 대량 생산 라인 구축을 위한 자동검사 라인 개발에 초점이 맞추어져 있다. 만일, 본 연구를 통해 전열 저항체가 개발된다면, 그 제품은 고효율, 외국제품 대비 가격 경쟁력을 가지므로 제품 경쟁력을 가질 수 있을 것으로 생각된다.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.21 no.9
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• pp.921-932
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• 2010

This paper presents a dual-band array antenna based on a modified Sierpinski fractal structure. Array structure is mirror symmetric, and forms broadside radiation pattern for dual frequency band if the ports are fed with $180^{\circ}C$ phase difference between upper and lower $2{\times}1$ array. To use in-phase corporate feeding circuit, the phase inversion structure is designed by changing the position of patch and ground for upper and lower array. The dimensions of the array antenna is $28{\times}30{\times}5\;cm^3$ and the bandwidth of 855~1,380 MHz(47 %), 1,770~2,330 MHz(27 %) were achieved for -10 dB return loss. The measured gain is 9.06~12.44 dBi for the first band and 11.76~14.84 dBi for the second band. The half power beam width is $57^{\circ}$ for x-z plane and $46^{\circ}$ for y-z plane at 1,100 MHz and $43^{\circ}$ and $28^{\circ}$ at 2,050 MHz, respectively.

• Progress in Medical Physics
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• v.21 no.1
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• pp.120-125
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• 2010

For the measurements of an absorbed dose using the standard dosimetry based on an absorbed dose to water the variety of factors, whether big, small, or tiny, may influence the accuracy of dosimetry. The beam quality correction factor ${\kappa}_{Q,Q_0}$ of an ionization chamber might also be one of them. The cylindrical type of ionization chamber, the PTW30013 chamber, was chosen for this work and 9 chambers of the same type were collected from several institutes where the chamber types are used for the reference dosimetry. They were calibrated from the domestic Secondary Standard Dosimetry Laboratory with the same electrometer and cable. These calibrated chambers were used to measure absorbed doses to water in the reference condition for the photon beam of 6 MV and 10 MV and the electron beam of 12 MeV from Siemens ONCOR. The biggest difference among chambers amounts to 2.4% for the 6 MV photon beam, 0.8% for the 10 MV photon beam, and 2.4% for the 12 MeV electron beam. The big deviation in the photon of 6 MV demonstrates that if there had been no problems with the process of measurements application of the same ${\kappa}_{Q,Q_0}$ to the chambers used in this study might have influenced the deviation in the photon 6 MV and that how important an external audit is.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2021.06a
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• pp.377-377
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• 2021

본 연구에서는 기존 대형 강우레이더 관측망에 대한 동해안 지역 관측공백 해소와 집중호우에 의한 재해예방을 목적으로 운영 중인 삼척과 울진 전파강수관측소의 강우추정을 위해 빔차폐 등을 고려한 HSR(Hybrid Surface Rainfall) 추정 기법을 소개하고 지상강우량과 비교 결과를 제시한다. 전파강수관측소의 HSR 추정 기법은 1) 자료 품질관리, 2) 고도별 자료의 병합, 3) 병합 자료 기반 분포형 비차등위상차 산정, 그리고 4) HSR 강우 추정 단계로 이루어진다. 품질관리 과정은 전파강수관측소의 관측자료 중 강우추정에 직접적으로 사용되는 반사도, 차등위상차의 품질을 관리하는 단계이다. 자료 병합 과정에서는 고도별로 품질관리된 반사도와 각 고도의 차등위상차의 레이별 차이를 병합한다. 그리고 병합된 반사도와 차등위상차의 레이별 차이를 이용하여 비차등위상차를 구한다. 마지막으로 산출된 비차등위상차를 이용하여 R-KDP 관계식을 이용하여 HSR을 산출한다 시험적용 결과 제안된 HSR 강우 추정 기법이 강한 강우가 발생한 지역의 강우강도를 잘 추정하는 것으로 확인되었다.

• The Sea:JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY OF OCEANOGRAPHY
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• v.6 no.1
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• pp.35-39
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• 2001

Multibeam echosounder data, collected to investigate seabed features and topography, are usually subject to outliers resulting from the ship's irregular movements and insufficient correction for pressure calibration to the positions of beams. We introduce a statistical method which adjusts the outliers using the ARMA (Autoregressive Moving Average) technique. Our method was applied to a set of real data acquired in the East Sea. In our approach, autocorrelation of the data is modeled by an AR (1) model. If an observation is substantially different from that obtained from the estimated AR (1) model, it is declared as an outlier and adjusted using the estimated AR (1) model. This procedure is repeated until no outlier is found. The result of processing shows that outliers that are far greater than signals in amplitude were successfully removed.