InSb 적외선 소자제작을 위한 $SiO_2$ , $Si_3N_4$ 증착 온도에 따른 계면 특성 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- pp.57-58
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- 2011