• 제목/요약/키워드: 환경 챔버

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반도체 검사 장비의 챔버 내부 온도 분포의 균일성 개선 (Improvement of the Uniformity of Temperature Distribution inside Semiconductor Test Equipment Chamber)

  • 이광주;정경석;박성문
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제11권10호
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    • pp.3626-3632
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    • 2010
  • 반도체 소자 검사장비 핸들러는 주 검사장비인 테스터에 반도체 소자를 개별 또는 그룹으로 이송하여 테스트 환경을 만들어주고 검사가 끝나면 검사결과를 테스터로부터 전송받아 양품과 불량품으로 분류해주는 장비이다. 본 논문에서는 기존에 개발된 핸들러의 챔버 내부 온도 분포의 균일성을 개선하기 위하여, 챔버 덕트의 조절셔터 설치, Heater와 Match Plate 중심위치의 정렬, Match Plate Base의 Hole 크기 및 형상 변경, 온도 센서로 향하는 공기의 흐름이 원활할 수 있도록 핀에 직경 2 mm의 구멍 설치 등의 설계 변경을 하였다. 설계 변경의 효과를 확인하기 위하여, 기존 장비와 설계 개선된 장비 내부의 온도 분포를 32개의 온도 센서를 사용하여 측정하였다. 그 결과 기존 챔버내부 온도 분포는 $87.1{\sim}91.5^{\circ}C$ ($90{\pm}2.9^{\circ}C$)이었으나 개선된 챔버 내부 온도 분포는 $89.5{\sim}90.8^{\circ}C$ ($90{\pm}0.8^{\circ}C$)으로 15분 이상 지속 가능하여 챔버 내부의 온도 분포 균일성이 크게 개선되었음을 알 수 있었다. 또한 설계 변경 이후의 온도 분포는 $90{\pm}1^{\circ}C$의 범위 내에서 10분 이상을 유지하는 목표를 달성하였음을 확인하였다.

단기 측정용 오존 간이 측정기의 실험 챔버 내에서 성능에 관한 연구

  • 정상진
    • 한국환경과학회:학술대회논문집
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    • 한국환경과학회 2007년도 춘계 학술발표회 발표논문집
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    • pp.31-33
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    • 2007
  • 본 연구에서 개발한 단기측정용(1시간) 오존 간이측정기는 $40ppm{\ast}min$(1시간 환경기준 농도(0.15ppm)에 266분(약 4.4시간) 노출되는 경우)까지 선형 변화를 나타내었으며 그 이상에서는 비선형적으로 변화하였다. 본 연구에서 개발한 단기측정용 오존 간이측정기의 현장 적용을 위해서는 현장측정에 대한 검증이 필요하며 기준성 오염물외 다른 오염물질과 실외 기상현상(예; 풍향, 풍속, 온도 등)의 영향 검토에 대한 이후의 연구가 필요하며 간이측정기의 장기간 보관을 위한 저장법에 대한 장래 연구가 필요하다.

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겨울철 서울시 대기 에어로졸의 입경분포 특성 (Characteristics of Atmospheric Aerosol Size Distribution in Seoul during Winter Months)

  • 배귀남;김민철;임득용;문길주
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.165-166
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    • 2002
  • 대기 에어로졸은 대도시 스모그, 대기오염물질의 장거리 이동, 황사, 지구기후 변화 등의 문제와 직접적으로 관련되며, 이러한 현상을 정확히 규명하기 위해서는 대기 에어로졸의 입경분포나 수 농도와 같은 에어고졸에 대한 상세한 정보가 필요하다. 한국과학기술연구원 지구환경연구센터에서는 대기를 사용하여 스모그 현상을 연구할 수 있는 실내 스모그 챔버를 보유하고 있다. (배귀남 등, 2001). 대기 중에 포함된 에어로졸 및 가스상 물질의 특성은 시간 및 공간에 따라 달라진다. (중략)

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실내/외 스모그 챔버에서 방향족계 탄화수소의 광화학 반응 비교 연구 (Photochemical Reactions of Aromatic Hydrocarbons in Indoor and Outdoor Smog Chambers)

  • 안흥순;동종인
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2002년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.135-136
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    • 2002
  • 최근 들어, 대도시 지역에서 오존(O$_3$)농도가 환경기준을 초과하는 빈도가 증가함에 따라 대기 중 광화학 대기오염현상과 그에 따른 오존 등 2차 광화학 오염물질에 대해 많은 관심이 집중되고 있다. 이러한 복잡한 대기중의 반응을 이해하고 해석하기 위하여 Smog Chamber를 이용한 대기 중 광화학 반응 연구가 진행 중에 있으며, 국내에서도 연구가 이루어지고 있다 Smog Chamber를 통해 대기 중의 광화학 반응의 세부적인 이해와 수학적 모델에 필요한 화학반응들의 변수를 제공하는 등 포괄적이고 종합적인 연구를 수행할 수 있다. (중략)

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