한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

챔버내 초정밀 열 환경제어에 관한 연구

A Study on Precision Thermal Environmental Control of Chamber

  • 박철우 (한국과학기술정보연구원 슈퍼컴퓨팅센터) ;
  • 박경서 (한국과학기술정보연구원 슈퍼컴퓨팅센터) ;
  • 신동훈 (국민대학교 기계공학과) ;
  • 남진현 (국민대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2010.05.26
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드