• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.45-45
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• 2010

반도체 및 디스플레이 산업에 사용되는 진공펌프의 효율이 증대됨에 따른 성능 평가 기술의 향상 과 미세 유량을 조절 및 측정할 수 있는 시스템의 개발이 요구되고 있다. 유량 시스템 중 소닉노즐은 기체 유량 측정 표준기로 사용되고 있다. 또한 유량 측정에 있어서 사용상의 편리성, 이동성, 재현성 등 여러 가지의 장점을 가지고 있어 산업 현장에서 많이 사용되고 있다. 본 연구는 소닉노즐을 넓은 유량 범위에서 사용할 수 있도록 소닉노즐의 유출계수 교정을 목적으로 한다. ISO 9300에서 제시한 사양에 맞추어 목 직경 0.03 mm와 0.2 mm 그리고 1.6 mm의 소닉노즐을 제작하였다. 한국표준과학연구원에서 진공용 유량측정 장치로 개발된 정적형 유량계를 이용하여 제작된 3 종의 소닉노즐 유출계수를 확장불확도 3% 이내로 교정하였다. 교정된 소닉노즐의 유량 측정범위는 약 0.6~90, 000 cc/min 범위를 갖는 것으로 나타났으며, 사용유동 조건에 해당되는 레이놀드 수(Reynolds number) 범위는 26~75, 700 으로 확인되었다. 이러한 결과는 교정된 소닉노즐을 이용하여 진공공정에서 필요한 극 미세 유량의 정밀측정을 가능하게한 새로운 연구결과로 판단된다. 교정된 소닉노즐을 이용하여 진공펌프의 배기속도 측정결과는 기 구축된 정적법을 이용한 배기속도 측정결과와 3% 이내의 오차범위내로 매우 잘 일치함을 보였다. 교정된 소닉노즐은 향후 반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 다양한 진공펌프들의 배기속도를 현장에서 간단하게 평가할 수 있는 '현장 성능평가 장치'에 활용할 예정이며, 현재 공정현장에서 배기속도 측정에 널리 사용 중인 MFC를 대체할 수 있을 것으로 예상된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.04a
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• pp.153-154
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• 2008

본 논문의 Type-2 TSK 퍼지 논리 시스템(Fuzzy Logic System; FLS)은 전반부 멤버쉽 함수로 가우시안 형태의 Type-2 퍼지 집합을 이용하고 후반부는 계수가 상수인 1차 선형식을 사용한다. 또한 Type-1 TSK 퍼지 논리 시스템을 Type-2 TSK 퍼지 논리 시스템으로 확장하고 제안된 모델을 가스로 공정 데이터와 sugeno 데이터에 적용한다. 여기서 인위적인 노이즈를 갖는 입력 데이터를 사용하여 제안된 모델의 성능이 기존의 모델보다 우수함을 수치적인 예로 보인다.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 1991.10a
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• pp.611-615
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• 1991

A technique for estimation of the hydrodynamic parameter of an underwater vehicle is presented. An extended, augmented Kalman Filter is used to extract the hydrodynamic parameter. Computer generated data were used for the measurement information in lieu of actual run data. The feasibility of identifying values of the hydrodynamic parameter of an underwater vehicle is studied. Computer simulation are done in order to validate the performance of the proposed algorithm.

• Journal of Korean Society of Industrial and Systems Engineering
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• v.15 no.26
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• pp.33-42
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• 1992

최근 제조공정상의 학습효과를 고려한 통합로트량 결정모형이 개발되었다. 본 논문은 기존의 단일 구매자에서 복수구매자의 모델로 확장된 가격할인 모형을 다룬다. 이 모형에서는 복수구매자의 발주간격은 가장 짧은 구매자의 발주간격에 정수배라는 가정하에서 모형이 개발되었다. 구매자의 계수변화로 인한 민감도 분석이 되었다. 소개된 모형의 효과를 보이기 위해 수치예재를 이용하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1995.10a
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• pp.154-159
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• 1995

In this study, an efficient, yet easy to use, in-situ runout identification scheme by using extended influence coefficient method is presented for active magnetic bearing(AMB) systems. It is shown experimentally that the proposed scheme successfully identifies and eliminates the troublesome runout of the well balanced AMB system in the laboratory so that a high precision spindle system can be achieved, while it is in operation.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.34D no.7
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• pp.1-7
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• 1997

The physical optical solution to the E-polarized diffraction by a composite wedge consisting of perfect conductor and lossless dielectric cannot sayisfy not only the boundary conditions at the wedge interfaces but also the edge condition at the wedge tip. Its diffraction coefficients are extended outside the composite wedge to become the exact solution to the perfectly conducting wedge as its relative dielectric constant increases to infinite or decreases to 1. It is assured that the extended diffraction coefficients approach zero in the arificially complementary region of the composite wedge.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.34D no.7
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• pp.8-14
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• 1997

The phusical optics approximation to an E-polarized diffraction by a composite wedge provides its diffraction coefficients in terms of finite series of cotangent functions. In this paper, its diffraction coefficients inside the dielectric part are extended to become the exact solution to the perfectly conducting wedge as its relative dielectric constant increases to infinite or decreases to 1. It is assured that the extended diffraction coefficients satisfy the boundary condition at th econducting interface and become zero in the artificially complementary region of the composite wedge.

• Proceedings of the Korea Electromagnetic Engineering Society Conference
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• 2001.11a
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• pp.310-314
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• 2001

측정의 소급성과 신뢰성을 확보한다는 전제하에 오차의 개념을 버리고 측정시의 측정불확도를 분석하는 것이 측정과학에 있어서 세계적인 추세이다. 본 논문에서는 전달표준인 열전압변환기를 사용하여 고주파전압계의 정밀 교정에서 불확도를 산출하기 위하여 수학적 모델을 설정하고 측정에 관계되는 모든 불확도 요인을 분석하였다. 케이블의 영향과 열전대감지기와 직류전압계의 상관관계, 직류소스, RF소스, 감쇠기, 반사계수와 DUT 등 측정에 있어서 관계되는 모든 불확도요인을 분석하여 확장불확도를 산출하였다.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.32 no.1A
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• pp.39-48
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• 2012

This study deals with numerical determination of stress intensity factors of adhesively patch-repaired plates with cracks at V-shaped or semicircular notches. The p-convergent anisoparametric model are considered and then three-dimensional virtual crack closure technique is presented using formulations of anisoparametric elements. In assumed displacement fields of an element, strain-displacement relations and three-dimensional constitutive equations are derived with three-dimensional hierarchical shape functions expanded from one-dimensional Lobatto functions. Transfinite mapping technique is used to represent a circular boundary. The present model provides accuracy and simplicity in terms of stress concentration factor, stress distribution, the number of degrees of freedom, and non-dimensional stress intensity factor as compared with previous works in literatures. Stress intensity factors obtained by the three-dimensional virtual crack closure technique are estimated with respect to the variation of width of finite plate, radius of notch root, angular inclination of V-shaped notch, and crack length.

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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• v.9 no.1
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• pp.135-145
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• 2005

Geotechnical design routinely requires that in-situ strength, stiffness of the ground be determined. In the working stress conditions, the strain level in a ground experienced by existing structures and during construction is less than about 0.1%~1%. In order to analyze the deformational behavior accurately, the in-situ testing technique which provides the reliable deformational characteristics at small strains, needs to be developed. Cone pressuremeter tests were performed on the western off-shore region of korea, and analyzed using cavity expansion theory and curve fitting technique to obtain the shear modulus at small strain level of $10^{-1}%$. The value of $E_u/S_u$ ratio for the marine clay shows about 589 at the small strain. However the value of $E_u/S_u$ estimated by lab tests are much smaller values ranged from 81 to 91. It is indicated that the curve fitting technique from CPM tests results can be used to obtain the shear modulus at small strain.