저유전 상수 물질과 구리의 확산 방지막 사이의 접착력
(Low ${\kappa}-material$ adhesion with barrier layer of Copper)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 1998년도 추계학술발표회 초록집
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- pp.31-31
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- 1998