Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1994.11a
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- Pages.49-49
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- 1994
Effect of Deposition Parameters of Reactive Sputttered Molybdinum Nitride on Coper Diffusion Barrier
Reactive Sputtering 에 의해 형성된 Molybdinum Nitride의 증착 조건이 구리 확산 방지막 특성에 미치는 영향
Abstract
Keywords