Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A study on ZrN layer as a diffusion barrier between Cu and Si

Cn와 Si사이에서 확산 방지막으로 사용하기 위한 ZrN 층의 연구

  • 조병철 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 김좌연 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 윤의중 (호서대학교 제어계측공학과)
  • Published : 1999.11.01
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