• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.403-404
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• 2013

최근 scaling down의 한계에 부딪힌 DRAM과 Flash Memory를 대체하기 위한 차세대 메모리(Next Generation Memory)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. ITRS (international technology roadmap for semiconductors)에 따르면 PRAM (phase change RAM), RRAM (resistive RAM), STT-MRAM (spin transfer torque magnetic RAM) 등이 차세대 메모리로써 부상하고 있다. 그 중 RRAM은 간단한 구조로 인한 고집적화, 빠른 program/erase 속도 (100~10 ns), 낮은 동작 전압 등의 장점을 갖고 있어 다른 차세대 메모리 중에서도 높은 평가를 받고 있다 [1]. 현재 RRAM은 주로 금속-산화물계(Metal-Oxide) 저항 변화 물질을 기반으로 연구가 활발하게 진행되고 있다. 하지만 근본적으로 공정 과정에서 산소에 의한 오염으로 인해 수율이 낮은 문제를 갖고 있으며, Endurance 및 Retention 등의 신뢰성이 떨어지는 단점이 있다. 따라서, 본 연구진은 산소 오염에 의한 신뢰성 문제를 근본적으로 해결할 수 있는 다양한 금속-질화물(Metal-Nitride) 기반의 저항 변화 물질을 제안해 연구를 진행하고 있으며, 우수한 열적 안정성($>450^{\circ}C$, 높은 종횡비, Cu 확산 방지 역할, 높은 공정 호환성 [2] 등의 장점을 가진 WN 박막을 저항 변화 물질로 사용하여 저항 변화 메모리를 구현하기 위한 연구를 진행하였다. WN 박막은 RF magnetron sputtering 방법을 사용하여 Ar/$N_2$ 가스를 20/30 sccm, 동작 압력 20 mTorr 조건에서 120 nm 의 두께로 증착하였고, E-beam Evaporation 방법을 통하여 Ti 상부 전극을 100 nm 증착하였다. I-V 실험결과, WN 기반의 RRAM은 양전압에서 SET 동작이 일어나며, 음전압에서 RESET 동작을 하는 bipolar 스위칭 특성을 보였으며, 읽기 전압 0.1 V에서 ~1 order의 저항비를 확보하였다. 신뢰성 분석 결과, $10^3$번의 Endurance 특성 및 $10^5$초의 긴 Retention time을 확보할 수 있었다. 또한, 고저항 상태에서는 Space-charge-limited Conduction, 저저항 상태에서는 Ohmic Conduction의 전도 특성을 보임에 따라 저항 변화 메카니즘이 filamentary conduction model로 확인되었다 [3]. 본 연구에서 개발한 WN 기반의 RRAM은 우수한 저항 변화 특성과 함께 높은 재료적 안정성, 그리고 기존 반도체 공정 호환성이 매우 높은 강점을 갖고 있어 핵심적인 차세대 메모리가 될 것으로 기대된다.

• Proceedings of the Korea Concrete Institute Conference
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• 2008.11a
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• pp.409-412
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• 2008

This study were evaluated the corrosion threshold reached at steel reinforcement in latex modified concrete(LMC). Accelerated testing was accomplished to the evalate the diffusion coefficient of LMC mix, and the time dependent constants of diffusion. Also, average chloride diffusion coefficient was estimated. From the average chloride ion diffusion coefficient, the time which critical chloride contents at depth of reinforcement steel was estimated. Test results indicated that the corrosion threshold reached at reinforcement in LMC are effected on the mix proportion factor including latex content, and water-cement ratio.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.218.1-218.1
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• 2013

GeSbTe 삼원계 칼코겐화물 합금은 광디스크 및 상변화 메모리에서 활성물질로 사용되는 대표적인 재료이다. GeSbTe 합금은 결정질 상과 비정질 상의 두 종류의 상을 갖는데 그 상에 따라 반사율 및 전기저항이 서로 다르기 때문에 활성물질로서 작용한다. GeSbTe 합금 구성원소의 일부를 포함하는 두 종류의 물질로 접합을 형성하고 열처리 공정을 수행함으로써 GeSbTe 합금을 국부적으로 생성하는 방법이 최근에 보고되었다. 이러한 방법을 상변화 메모리 소자 제조에 이용하면 GeSbTe 합금을 제한된 영역에 나노 스케일로 만드는 것이 가능해져서 GeSbTe 합금의 상변화를 유도하는데 필요한 프로그래밍 전류를 낮추는 효과를 얻을 수 있다. 상변화 메모리 소자 내에서의 GeSbTe 합금의 두께 또는 크기는 상변화 메모리 소자의 동작 특성을 좌우하는 중요한 파라미터이며 이것은 열처리 공정 조건에 따라 결정되므로 열처리 공정 조건에 따라 GeSbTe 합금이 생성되는 양상이 어떻게 변화하는지를 밝힐 필요가 있다. 따라서 본 연구에서는 다양한 열처리 온도 조건에서 Ge-Sb-Te 삼성 분계에서의 구성 원소들의 상호확산 거동을 조사하였다. 순수한 Ge 박막과 조성이 다른 SbTe 박막의 접합을 형성하고 773K까지의 온도 범위에서 열처리를 실시하였다. Auger 수직 분석을 이용하여 Ge, Sb, 및 Te 원소의 깊이 방향의 확산 정도를 조사하였으며 그 결과로서 열처리 온도가 증가함에 따라 상호확산 정도가 심해지고 Te 원소가 상호확산에 있어서 중요한 역할을 한다는 사실을 확인하였다.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.38 no.1
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• pp.93-99
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• 2001

(La,Sr)MnO$_3$(LSM)-YSZ 복합체 양극에 있어서 소결온도 및 전극두께와 cathodic potential이 전극 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 양극의 소결은 삼상계면의 양을 결정하는 중요한 변수로 LSM 단미 양극과 YSZ가 40 wt% 포함된 LSM-YSZ 복합체 양극 모두 120$0^{\circ}C$에 소결했을 때 가장 낮은 분극저항을 나타내었다. 또한 양극 후막의 두께가 얇아지면 양극의 in-plane 저항이 증가하여 ohmic 저항이 증가하였는데, LSM-YSZ 복합체 양극의 경우 약 30$mu extrm{m}$ 정도의 전극두께가 가장 효과적인 전극 특성을 나타내었다. 한편, LSM-YSZ 복합체 양극에 -0.5 V의 cathodic potential을 인가함에 따라 양극에서 일어나는 산소환원반응의 활성이 증가하였는데, 1가 산소이온의 표면확산반응의 분극저항은 감소하였으나, 고주파수 영역에서 나타나는 산소이온전달반응의 저항은 거의 변화하지 않았다. 이것은 Mn의 환원에 의한 양극표면에 생성된 산소공공에 기인한다.

• Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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• v.12 no.5
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• pp.86-97
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• 2007

For continuous growth and diffusion of internet banking, it is important to investigate user resistance factors to internet banking. This study investigates the effects of individual characteristics, characteristics of internet banking and service quality factors on user resistance to internet banking. Individual characteristics include self-efficacy of computer, self-efficacy of internet banking, attitude to change, and innovative attitude. Characteristics of internet banking include relative advantage, compatibility, complexity, and perceived risk. Service quality was classified as 5 dimensions of SERVQUAL. The results of this study showed that self-efficacy of computer, self-efficacy of internet banking, compatibility, responsiveness, complexity, perceived risk, reliability and empathy had a significant effect on user resistance to internet banking.

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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• v.24 no.2
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• pp.50-59
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• 2020

Superabsorbent Polymer (SAP) expands inside concrete by absorbing water and contracts as it discharges water. Through this process, concrete can achieve the internal curing effect, but the space occupied by the expanded SAP remains as a void. In this study, the effects of SAP internal curing and voids were evaluated by evaluating the fundamental properties and chloride penetration resistance of SAP mixed concrete. Also, to evaluate the internal curing effect by SAP, the tests were carried out under water and sealed curing conditions, respectively. From the result, the compressive strength of water curing did not differ significantly according to the mixing ratio of SAP. In the case of sealed curing, however, the compressive strength tended to increase as the mixing ratio of SAP increased. The internal curing effect of sealed curing was considered to have influenced the increase in compressive strength. In the case of the chloride diffusion coefficient, the diffusion coefficient tended to decrease as the mixing ratio of SAP increased. In particular, as the sealed curing is applied, the chloride penetration resistance is further improved due to internal curing effect. If the curing conditions are different, it is considered inappropriate to estimate the chloride penetration resistance by the surface electrical resistivity.

• Information Systems Review
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• v.25 no.4
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• pp.291-314
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• 2023

The concept of Mydata emerged with the expansion of the data economy. MyData aims to empower individuals by enhancing their right to self-determination over their personal data. The use of MyData is expected to enable the provision of innovative service in various fields. Since 2022, MyData has been introduced and actively used in the financial sector. In the future, not only financial institutions but also Bigtech and Fintech companies are expected to actively join and demonstrate rapid expansion. To ensure steady growth for MyData in the financial sector, it is necessary to assess acceptance behaviors from multiple perspectives. However, the majority of existing research solely focuses on positive acceptance. This study analyzed the impact of users' personal characteristics and innovation characteristics on both innovation resistance and acceptance resistance. The analysis revealed that personal and innovation characteristics contribute to an increase in distrust and innovation resistance in the MyData service. In addition, it has been confirmed that it can lead to actions such as delayed acceptance and refusal to accept. The results of this study offer both theoretical and practical insights into user behavior within the MyData service market.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.1
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• pp.77-93
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• 1994

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각 연구를 위하여 두종류의 미세식각 진전 모델을 제시하 였다. 모델 1에서는 Knudsen 확산 정도를 나타내는 Thiele 계수($\Phi$2) 의 변화와 마스크의 하전에 의한 이온의 회적이 식각 패턴에 미치는 영향을 고찰하였으며 모델 2에서는 이온의 충돌에 의한 분산 효과가 식각 패턴에 미치는 영향을 살펴보았다. 반응성 라디칼과 확산저항이 수직방향으로의 긱각깊이를 감소 시켜 RIE Lag를 일으키며 마스크의 하전에 의한 이온의 회절에 의하여 "dovetailing"형태의 식각 패턴 형성의 원인 이 됨을 알 수 있었다. 모델 2의 결과로부터 쉬스 지역에서의 이온의 분산이 심화될수록 "bowing" 형태의 식각패턴이 두드러졌으며 RIE Laggus상이 증가하는 것으로 나타났다.gus상이 증가하는 것으로 나타났다.

• Proceedings of the Korean Society of Coastal and Ocean Engineers Conference
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• 2009.10a
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• pp.101-104
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• 2009

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1996.11a
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• pp.78-78
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• 1996