• 제목/요약/키워드: 확산깊이

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플라즈마 제트를 이용한 선택적 에미터 도핑 공정 장치 개발

  • 진세환;김윤중;한국희;김현철;이원영;조광섭
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.239.2-239.2
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    • 2014
  • 태양전지의 전면전극과 웨이퍼의 접촉저항은 태양전지의 효율을 저하시키는 원인이 된다. 전면전극과 웨이퍼의 접촉저항을 감소시키는 공정으로써 선택적 에미터 도핑이 널리 적용되고 있다. 선택적 에미터 도핑은 태양전지의 전면전극 하부에 고농도 도핑을 함으로써 전극과 웨이퍼의 접촉저항을 감소시켜 태양전지의 효율상승을 유도한다. 이러한 선택적 에미터 도핑은 주로 고가의 레이저 장비가 요구 되어 생산단가가 높으며 웨이퍼의 구조적 손상을 야기한다. 본 연구에서는 고가의 레이저 장비를 플라즈마 제트 장치로 대체함으로써 생산단가를 낮추고자 한다. 도펀트가 도포된 웨이퍼에 플라즈마 제트를 조사하면 플라즈마 전류 흐름에 의한 저항 열이 발생한다. 발생된 열에 의해 도펀트가 웨이퍼에 확산되어 도핑된다. 플라즈마 제트로 구성된 선택적 에미터 도핑 장비 개발을 위한 기초 특성을 조사한다. 플라즈마 제트의 전류량의 변화에 따른 웨이퍼의 온도 특성과 도포된 도펀트 용재의 인산 함유량에 따른 도핑 깊이를 조사한다. 또한 선택적 에미터 도핑의 생산성을 향상시키기 위해 다중 채널 플라즈마 제트 장치를 구성하여 특성을 조사한다. 각 채널의 플라즈마 제트의 선폭과 전류량이 적절한 균일도를 갖도록 한다. 도핑 프로파일은 이차 이온 질량분석법을 통해 분석한다.

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Fe-Cr-Mn-X계 합금의 감쇠능 및 플라즈마 이온 질화특성에 미치는 합금원소의 영향 [II플라즈마 이온 질화특성] (The Effect of Alloy Elements on the Damping Capacity and Plasma Ion Nitriding Characteristic of Fe-Cr-Mn-X Alloys. [II Plasma Ion Nitriding Characteristic])

  • 손동욱;이해후;성장현;박규섭;김창규;강창룡
    • 동력기계공학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.76-81
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    • 2005
  • The effect of micro-pulse plasma nitriding temperature and time on the case thickness, hardness and nitride formation in the surface of Fe-12Cr-22Mn-X alloy with 3% Co and 1% Ti alloys elements investigated. External compound layer and internal diffusion layer was constituted in plasma nitride case of Fe-12Cr-22Mn-X alloys and formed nitride phase such as ${\gamma}'-Fe4N\;and\;{\varepsilon}-Fe2-3N$. Case depth increased with increasing the plasma nitriding temperature and time. Surface hardness of nitrided Fe-12Cr-22Mn-X alloys obtained the above value of Hv 1,600 and case depth obtained the above value of $45{\mu}m$ in Fe-12Cr-22Mn-3Co alloy and $60{\mu}m$ in Fe-12Cr-22Mn-1Ti alloy. Wear-resistance increased with increasing plasma nitriding time and showing the higher value in Fe-12Cr-22Mn-1Ti alloy than Fe-12Cr-22Mn-3Co alloy.

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Gettering을 이용한 태양전지용 고품위 실리콘 기판 제작 (Fabrication of high-quality silicon wafers by gettering process)

  • 박효민;탁성주;강민구;박성은;이승훈;김동환
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.366-366
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    • 2009
  • 후면접합 태양전지는 상용 태양전지의 수평전류 손실(lateral current loss) 이 없으며, 전면전극에 의해 발생하는 그림자 손실(shading loss) 줄인 고효율 태양전지의 하나이다. 생성된 반송자가 후면에 위치한 전극에서 수집되기 때문에 효율향상을 위해서는 불순물에 의한 재결합을 줄이는 것이 중요하다. 따라서 Gettering 은 높은 소수반송자 수명(life-time)을 가지는 고품위 실리콘 기판은 고효율 실리콘태양전지 제작을 위한 중요 요소 기술이다. 본 연구에서는 n-type c-Si 기판을 이용한 고효율 실리콘 이종접합 태양전지제작을 위해 external gettering 공정을 이용하여 고품위 실리콘 기판을 제작하였다. POC13 doping process 의 온도, 시간을 변화시킴으로써 이에 따른 변화를 관찰하였다. 주사전자현미경(SEM)를 통해 etch pit 을 확인 했으며,Four point probe 를 통해 면저항을 측정, 인(P)의 농도를 계산 하였다. 계산된 면저항을 통해 인(P)의 확산 깊이를 계산하였다. Iodine passivation 된 시편을 Qusi-steady state photoconductance (QSSPC)를 이용하여 소수반송자 수명을 측정함으로써 gettering 에 의한 bulk lifetime 향상 효과를 관찰하였다.

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비행시간형 직충돌 이온산란 분광법을 사용한 TiC(001)면의 Ta편석 연구 (Ta-Segregation on TiC(001) Surface Studied by Time-Of-Flight Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy)

  • 황연;히시타 슌이치;소우다 류타로
    • 한국재료학회지
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    • 제7권7호
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    • pp.559-563
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    • 1997
  • Ta을 2MeV의 에너지로 가속시켜 1x$10^{17}$atoms/$\textrm{cm}^2$의 농도로 TiC(001)면에 이온 주입시킨 후 비행시간형 직충돌이온산란 분광법(time-of-flight impact-collision ion scattering spectroscopy; TOF-ICISS)을 사용하여 TiC(001)면의 Ta표면 편석을 연구하였다. TOF-ICISS는 표면 수층 깊이까지 원자구조를 측정할 수 있는 수법으로, 이온주입된 시편을 1$600^{\circ}C$에서 300sec동안 진공 가열하여 Ta 원자를 편석시킨 후 스펙트럼의 입사각도 의존성을 구함으로써 Ta원자의 편석 위치 및 농도구배를 조사하였다. [110]및 [100]방위에서 Ta과 Ti의 focusing peak가 서로 같은 입사각도에서 나타나며 편석된 Ta원자는 TiC의 Ti-site에 위치한다. Ta원자는 표면 최외층에만 편석되는 것이 아니라 수층에 걸쳐 Ti-site에 자리하고 있으며, Ta 원자의 농도는 표면 최외층에서 내부 층으로 깊어질수록 작아진다. 이온주입시 생성된 표면층의 탄소 격자 결함은 시편 가열시 벌크에 자리하는 탄소가 확산되어 없어진다.다.

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집단 감성과 모바일 게임 사용경험 : 카카오게임 사례연구 (Collective Sentiments and Users' Feedback to Game Contents : Analysis of Mobile Game UX based on Social Big Data Mining)

  • 천영준;곽규태
    • 한국게임학회 논문지
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    • 제15권4호
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    • pp.145-156
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    • 2015
  • 현재까지 모바일 게임 사용자 연구는 개별 콘텐츠의 재미, 중독성, 편의성과 같은 1차적 정서를 분석하는 차원에 머물러 있다. 그러나 스마트폰의 확산 이후 사용자들의 멀티태스킹이 보편화되면서 사용자의 게임 콘텐츠 경험은 복잡해지고 있다. 따라서 다양한 행위를 동시에 수행하는 사용자의 관점에서 모바일 게임에 대한 보다 깊이 있는 분석이 필요한 상황이다. 본 연구는 집단 감성의 관점에서 모바일 게임 사용자들의 연결된 심성 모형을 포착하고자 했다. 이를 위해 사용자들의 비의도성과 의도성을 동시에 포착할 수 있는 소셜 데이터 분석을 실시했으며, 그 결과로 서비스의 교차 소비, 정보 추천방식의 다양화, 관계 기반의 과제 경험을 주요 이슈로 제시했다.

S확산에 의한 $n^+-p^+$ InP 태양전지의 제작 (The Fabrication of $n^+-p^+$ InP Solar Cells by the Diffusion of Sulphur)

  • 정기웅;김선태;문동찬
    • 태양에너지
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    • 제10권3호
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    • pp.60-65
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    • 1990
  • [ $p^+$ ]형의 InP 기판($p=4{\times}10^{18}cm^{-3}$)에 일정 온도에서 S를 열 확산시켜 $n^+-p^+$ 접합을 형성하고, $n^+$형 측에 사진식각법으로 폭 $20{\mu}m$의 표면 격자상 전극을 $300{\mu}m$ 간격으로 형성한 후, 반사방지(AR) 막으로 $600{\AA}$ 두께의 SiO 박막을 증착시켜 크기 $5{\times}5{\times}0.3mm^3$$n^+-p^+$ InP 동종접합 태양전지를 제작하였다. S의 접합깊이는 약 $0.4{\mu}m$이었으며, 제작된 태양전지는 확산시간이 증가함에 따라 단락전류($J_{sc}$)가 증가하였고, 충진율(F.F)이 감소하였으며, 직렬저항($R_s$)과 에너지 변환효율(${\eta}$)이 증가하는 경향을 나타냈다. $5,000-9,000{\AA}$의 파장 영역에서 양호한 분광감도 특성을 나타냈으며, 단락전류, 개방전압($V_{oc}$), 충진율, 에너지 변환효율이 각각 $13.16mA/cm^2$, 0.38V, 53.74%, 10.1%인 태양전지를 제작하였다.

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아바타 시스템과 한국의 복식문화 접목을 통한 "디지털 복식 아바타" 개발에 관한 연구

  • 김영삼
    • 한국복식학회:학술대회논문집
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    • 한국복식학회 2003년도 춘계학술대회
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    • pp.42-42
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    • 2003
  • 세계적으로 인터넷 이용 인구는 2002년 2월 현재 5억 4천 4백만여명에 이르고 있으며, 우리나라의 인터넷 이용 인구는 2001년 12월말 자료에 의하면 2천4백3십8만여명에 달하는 것으로 보고되고 있다(한국 인터넷정보센터통계보고서, 2002). 또한, 네오위즈는 작년 한 해 아바타 매출 100억원을 돌파, 다모임은 지난해 12월 한달간의 아바타 매출이 3억 6000만원에 달하였으며, 다움(Daum)의 경우 서비스 개시 15일 만에 일일 발생 매출이 1천만원 돌파, 현재 1일 3천500만원의 수익을 올리는 등, 아바타 선두 업체 뿐 아니라 후발 주자들도 큰 수익 창출하고 있다(Economy21- 2002.04.25). 올 한해 아바타 시장규모는 800억원-1000억원으로 예상되고 있으며, 이러한 시장 증대에 따라 기존 캐릭터 업체들이 구축계약 위주에서 서비스 제휴사업으로 아바타모델 제안 및 시장영업이 증대되고 있다. 즉, 아바타 시장은 구축되어 있는 것이 아니라 계속적으로 확대되어 가고 있음. 또한 아바타산업은 인터넷 인프라의 확산과 더불어 아바타의 호응 또한 급격히 상승하고 있으며, 단순히 사이버 세계에서의 분신으로서의 역할에서 벗어나 다양한 부가가치를 구현하는 아바타의 등장으로 아바타의 확산은 계속적인 추세이다. 또한 아바타는 게임, 채팅, 일정관리등 인터넷 전 분야에 걸쳐 Cyber Agent활용도가 확산되고 있으며, 아바타 시장은 초기 일본형 애니메이션 아바타에서 벗어나 아바타와 패션, 아바타와 문화의 접목에 대한 관심이 상승되고 있으며 이로 인한 신규시장이 창출되고 있다 이러한 디지털 시대로의 급격한 발전은 복식문화를 디지털 문화컨텐츠 사업화로의 그 발전방향을 제시하고 있다.2cm 적용하고, 진동두께 계산식은 (B/8-1.5)+2cm를 적용함으로써 진동깊이와 진동두께의 편차가 작아짐으로 인해 소매부위와 진동부위의 맞음새를 향상시켰다. 3) 가슴둘레의 증가에 따라 등길이에 앞길이 치수를 증가시키는 계산식을 설정하여 앞가슴둘레의 맞음새를 향상시켰다. 4) Plus-size여성의 경우 허리부분의 신체적합성을 높이기 위하여 사이드 판넬(side panel)의 재킷원형으로 하였다. 앞 허리와 배 부분의 지방 침착이 크므로 앞 허리둘레 다아트 폭과 앞판 사이드 판넬(side panel) 솔기 다아트 폭을 작게 설정하고, 뒤판 사이드 판넬 솔기 폭을 크게 설정하였다. 5) 어깨끝점 사이길이는 다른 부위의 체지방 침착과 같이 비례적으로 증가하지 않으므로 표준체형에 비해 좁게 설정하였다. 보여주어 우리나라의 선호 질감과는 차이가 있었다. 실제 판매율을 살펴본 결과 주관적 질감 이미지 평가의 선호도와의 비교에서 약간의 차이가 있었는데, 이는 질감 외에 가격이 구매에 영향을 미쳤기 때문으로 분석되었다., 2002; Huun et al, 2001).의 특징이라 할 수 있겠다. 대한 자부심과 국제 사회에서 차별화 할 수 있는 한국 복식 디자인에 독창성과 창조성을 표현하는 중요한 영역임을 인식할 수 있었다.와 보호인자를 재확인할 필요가 있다고 보며 본 연구의 결과는 지역민의 대장직장암 예방을 위한 영양교육 자료로서 활용될 수 있다고 본다. 관여도에 영향을 미치고 있음을 알 수 있었다. 유지되어 쾌적역이 향상된 것으로 사려된다.하였으며, 효율적인 색채 정보로서 활용될 수 있는 패션 색채 팔레트를 제시하였다는데 의의가 있다.′, aesthetic of ′unity in multiplicity′, a

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고분자 전해질 연료전지용 바이폴라 플레이트의 유로 연구 (Study on the channel of bipolar plate for PEM fuel cell)

  • 안범종;고재철;조영도
    • 한국가스학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.15-27
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    • 2004
  • 본 논문은 상용 프로그램인 Fluent를 이용하여 고분자 전해질 연료전지(polymer electrolyte membrane fuel cell)의 바이폴라 플레이트 위에 새겨진 유로형상을 분석함으로서 연료전지의 성능을 향상시키는데 그 목적이 있다. 수소 소모량이 가장 많은 유로크기를 구하기 위하여 0.5 ${\~}$ 3.0mm의 범위에 대해 시뮬레이션을 수행하였으며, 유로너비, 지면너비, 유로깊이가 적을수록 아노드에서 수소이용율이 높음을 알 수 있었다. 유로너비가 증가하면 유로의 전체길이를 감소하므로 유로에서 압력하락이 감소하게 되며, 지면너비를 증가시키면 수소가 지면 밑으로 확산하여 수소의 순 소비가 감소하기 때문이다. 또한 유로너비를 변화시키는 것은 지면너비를 변화시키는 것보다 수소 소모에 민감하게 영향을 끼침을 알 수 있었다. 유로깊이에 따른 수소 소모량의 변화는 유로너비에 비해 크지 않으나 유로깊이는 바이폴라 플레이트의 부피에 크게 영향을 미치므로 가능한 한 적게 하여야 한다. 그러나 현실적으로 기계가공이 가능한 1mm이상의 유로에서는 유로너비 1.0mm, 지면너비 1.0mm, 유로깊이 0.5mm에서 수소 이용율이 가장 높았으며 최적 유로크기로 판단된다. 시뮬레이션결과로부터 최적 유로크기로 성형한 2cm${\times}$2cm크기의 대각선형과 5자형 유동장에 MEA를 결합한 단위전지의 성능을 100W 연료전지평가시스템을 이용하여 측정하였다. 측정결과는 대각선형과 5자형에서 유사하게 높은 OCV가 나타났으며, 전류밀도는 0.6V이하에서는 대각선형이 $2-40mA/m^2$ 더 높았으나 0.7-0.8V에서는 S자형이 $5-10mA/m^2$ 더 높게 나타났다.질을 향상시키고 의료자원의 효율적인 이용을 촉진하기 위해 호스피스 완화의료 서비스의 표준화와 제도화가 필요하다.를 활용한 사용자인터페이스(UI)디자인의 가능성을 확대시킬 수 있을 것이다. 스크린의 사용에 있어서 사용자의 시각적 한계성을 극복하기 위한 새로운 GUI의 시도와 제안은 향후 모바일 기기 디자인의 새로운 방향성을 제시하고 있다.각되며 이를 위해서는 호스피스 관련 기관뿐만 아니라 국가적 차원의 아동 호스피스에 대한 관심과 지원이 요구된다고 생각한다. 양상과 일치하였고 표준조건(water flux 1 cm/일)에서 예측된 이동소요시간에 따라 metolcarb는 most mobile, molinate와 fenobucarb, isazofos는 mobile내지 most mobile, dimepiperate는 moderately mobile이나 mobile, diazinon은 mobile, fenitrothion과 parathion은 slightly mobile 또는 mobile, chloipyrifos-methyl은 immobile이나 slightly mobile 등급에 속하는 것으로 나타났다.히 요구되고 있는 현실이다.브로 출시에 따른 마케팅 및 고객관리와 관련된 시사점을 논의한다.는 교합면에서 2, 3, 4군이 1군에 비해 변연적합도가 높았으며 (p < 0.05), 인접면과 치은면에서는 군간 유의차를 보이지 않았다 이번 연구를 통하여 복합레진을 간헐적 광중합시킴으로써 변연적합도가 향상될 수 있음을 알 수 있었다.시장에 비해 주가가 비교적 안정적인 수준을 유지해 왔다고 볼 수 있다.36.4%)와 외식을 선호(29.1%)${\lrcorner}$ 하기 때문에 패스트푸드를 이용하게 된 것으로 응답 하였으며, 남 여 대학생간에는 유의한

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토양증기추출법에 의한 휘발유 오염토양의 현장복원 연구 (A Field Study on Remediation of Gasoline Contaminated Site by Soil Vapor Extraction)

  • 김재덕;김영래;황경엽;이성철
    • 한국토양환경학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.13-23
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    • 2000
  • 본 연구에서는 유류가 오염된 토양을 복원하기 위해 실제 현장의 토양성상과 오염현황을 조사하고 이 자료를 바탕으로 in situ복원기술인 토양증기추출법을 적용할 때 복원효율에 영향을 미치는 토양증기추출 장치의 운전조건과 토양성상의 영향을 검토하였다. 본 부지는 지하저장고에서 누출된 휘발유가 오염되어 있었고 그 농도는 BTEX가 최대 1.081ppm, TPH가 최대 5,548ppm이 포함되어 있었으며, 장기간에 걸쳐 지하 6m깊이까지 확산되어 오염물의 분포 면적은 170$\textrm{m}^2$, 오염토양의 총 부피는 약 1,000$\textrm{m}^3$으로 추산되었다. 오염부지의 토양은 지하 3~4m까지는 사질매립토이고 지하 4~6m에서는 불균질한 점토질이 섞인 미사토였으며 토양의 공기투수계수는 1.058-1.077$\times$$10^6$$\textrm{mm}^2$이었다. 이 부지내 일부지역에 지하수 흐름이 있으며 지하수위는 지하 약 3~4m부터 존재하였고 지하6m이하에는 암반이 존재하였다. 이 부지에 깊이 6m인 8개의 추출정과 7.5마력 용량의 진공펌프가 포함된 토양증기추출 장치를 설치하여 하루 8시간씩 100일간 운전한 결과 지하수가 존재하지 않는 사질토양에 있었던 BTEX는 90%이상의 효율로 제거하였으나 지하수대가 존재하는 지역에서는 BTEX와 TPH의 제거효율이 대폭 낮아졌다. 또한 토양증기장치에 의해 유도된 토양내 공기흐름은 토양깊이가 깊어질수록 공기 흐름량은 감소하여 복원효율이 떨어졌다.

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공기연행 수치모형을 이용한 발전소 거품저감 수중방류구조 설계 (Design of the Submerged Outlet Structure for Reducing Foam at a Power Plant using a Numerical Model Simulating Air Entrainment)

  • 김지영;강금석;오영민;오상호
    • 한국해안·해양공학회논문집
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    • 제20권5호
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    • pp.452-460
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    • 2008
  • 발전소의 냉각수 방류과정에서 대량으로 발생하는 거품의 제거를 위하여 지금까지 소포제와 확산방지 막에 의존해왔지만 유지보수나 비용 등의 문제로 안정적인 구조물에 의한 거품발생 방지 방안 마련이 요구되어왔다. 따라서 본 연구에서는 거품저감 구조물 설계 기술을 확보하기 위하여 공기연행 해석이 가능한 난류 수치 모형을 적용해 보았다. 방류수의 낙하양상에 따라 공기연행률의 차이가 있고 차단벽의 잠김 깊이와 통과 유속에 따라 연행공기의 유출률이 달라지므로 각 Case에 대한 비교를 통해 적정 단면을 설계할 필요가 있다. 본 연구에서는 단면 형상에 따른 공기 연행률과 유출률을 비교하여 거품의 발생 및 유출이 최소가 되는 단면을 찾았으며, 설계 기준은 현장 여건 특히, 바닥 수심고와 월류양상 등에 따라 달라질 수 있으나 수중 방류구 통과 유속은 1 m/s이내가 되도록 하고 차단벽의 잠김 깊이는 최소한 수중 방류구 단면의 수직고 이상은 되어야 함을 알 수 있었다.