초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상 증착 장치에서 기판 DC 바이어스가 in situ 플라즈마 세정 및 저온 실리콘 에피증착에 미치는 영향

• 태흥식;황석희;박상준;윤의준;황기웅
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1994년도 제6회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.38-39
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  • 1994
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원거리 플라즈마 화학증착법에 이한 저온 이산화규소박막의 증착에서 기상반응의 영향 (Effect of the gas pphase reaction in the deposition of the low temperature SiO2 thin films by Remote-PECVD)

• 박영배;이시우;임인곤;박원규;김성철
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1994년도 제6회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.133-133
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  • 1994
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열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착 (High rate and low temperature deposition of polycrystalline silicon films by Hot-Wire CVD)

• 이정철;강기환;김석기;윤경훈;송진수;박이준
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.65-65
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  • 2001
• PDF

플라즈마 화학기상증착법으로 증착법으로 게이트 유전체용 하프늄 옥사이드의 특성평가 (Characterization of Hafnium Oxide Gate Dielectric Deposited by Plasma-Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition)

• 최규정;신웅철;윤손길
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.85-85
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  • 2001
• PDF

액체운반 유기금속 화학기상증착법으로 증착한 전고상 박막전지의 $LiCoO_2$ 정극의 Li 조성변화에 따른 특성 (Characteristics of $LiCoO_2$ thin film cathodes with various Li mole ratio by liquid delivery MOCVD)

• 조상인;윤순길
• • 한국전기화학회:학술대회논문집
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  • 한국전기화학회 2002년도 춘계총회 및 학술발표회
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  • pp.48-48
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  • 2002
• PDF

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구 (A Study on the Characteristics of CVD Aluminum Thin Films for ULSI)

• 김영성;이경일;주승기
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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  • pp.91-92
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  • 1993
• PDF

유기금속 화학증착에서 구리 전구체들의 기상분해반응 메카니즘과 증착속도에 관한 연구 (Study of the Gase Phase Reaction Mechanism and Deposition Rate of Copper Precursors for Metal Organic Chemical Vapor Deposition)

• 박만영;오용석;이시우
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
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  • pp.162-163
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  • 1996
• PDF

PVD/PACVD 코팅의 적용사례 (Application of the PVD/PACVD Coating)

• 김종성;정용태
• • 한국정밀공학회지
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  • 제24권5호
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  • pp.22-34
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  • 2007
• PDF KSCI

PVD/PACVD 코팅 개론 (Introduction to PVD/PACVD Coating)

• 김종성;정용태
• • 한국정밀공학회지
  • /
  • 제24권5호
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  • pp.7-13
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  • 2007
• PDF KSCI

PVD/PACVD 코팅의 종류와 특성 (Characteristics and Properties of the PVD/PACVD Coating)

• 김종성;정용태
• • 한국정밀공학회지
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  • 제24권5호
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  • pp.14-21
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  • 2007
• PDF KSCI

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