Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Characteristics of CVD Aluminum Thin Films for ULSI

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

  • 김영성 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 이경일 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1993.11.01
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Abstract

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