Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.05a
/
Pages.65-65
/
2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

High rate and low temperature deposition of polycrystalline silicon films by Hot-Wire CVD

열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착

이정철 (한국에너지기술연구원) ;
강기환 (한국에너지기술연구원) ;
김석기 (한국에너지기술연구원) ;
윤경훈 (한국에너지기술연구원) ;
송진수 (한국에너지기술연구원) ;
박이준 (한국에너지기술연구원)

Published : 2001.05.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords