• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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• v.7 no.3
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• pp.41-46
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• 2008

Generally optical components are fabricated by grinding, lapping and polishing processes. Those processes take long time to obtain optical high surface quality. In the case of large optical components, the on-machine measurement is strongly recommended because the workpiece is fragile and difficult to set up for fabricating and measuring. This paper is concerned about a swing-arm mechanism which can be used for on-machine measurement of a surface profile with a sensing probe end-effect, and also for grinding or lapping the surface with a corresponding tool. The measuring accuracy and uncertainty using a swing arm type profilometer have been studied. The experimental results show that this method is useful specially in lapping process with the accuracy of $5{\mu}m$. Those inspection data are provided for correcting the residual figuring error in next processes.

• Journal of the KSME
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• v.34 no.3
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• pp.177-184
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• 1994

이 글에서는 기하공차의 기본적인 개념들에 대한 설명과 삼차원측정기 응용소프트웨어에서 기하 공차를 평가하기 위한 수학적인 방법들에 대해 소개하였다. 최소영역법은 ISO규격에 의한 공차 평가법이란 점에서 근래의 연구의 대부분을 차지하고 있으나 표준적인 알고리즘이라 할 수 있는 방법은 아직 발표되지 않고 있으며 실용적인 소프트웨어의 경우 최소자승법을 근간으로 하고 있는 실정이다. 최근에는 이러한 형상추출과 기하공차평가를 포함하는 좌표식 측정기 술(coordinate metrology)이 컴퓨터통합생산(computer integrated manufacturing)시스템 구축에 있어서 아킬레스건이라 할 수 있는 컴퓨터원용검사(computer aided quality control)의 핵심적인 기술로 인식되어 선진국에서는 이미 표준기술을 확립하고자 하는 목적으로 체계적인 지원하에 연구를 수행하고 있다. 그러므로 국내에서도 품질보증에 의한 제조업 분야의 생산성 제고를 위 하여 좌표식 측정기술에 대한 연구와 투자가 시급하며 국내의 표준기술 확립이 절실히 요청되고 있다하겠다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2002.05a
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• pp.274-280
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• 2002

This paper addresses the vibration mode shape measurement technique utilizing a Continuous Scanning Laser Doppler Vibrometer (CSLDV). The continuous scanning capability is added to the conventional discrete Laser Doppler Vibrometer by reflecting the laser beams on the surface of the object using two oscillating mirrors. The bow scanning resulted from the proposed scanning method is eliminated by feedback control. The velocity output signal from the CSLDV is modulated to give the spatial velocity distribution in terms of coefficients which are obtained from the Fast Fourier Transformation of the time dependent velocity signal. Using the Chebyshev series form, the analysis of the vibration mode shape techniques for straight Bine scanning and 2 dimensional scanning are presented and discussed. The performance of the proposed SLDV is presented using the experimental results of the vibration mode shape of a plate

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2010.11a
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• pp.41.2-41.2
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• 2010

최근 태양전지 제조비용 절감을 위해 초박형 실리콘 태양전지 개발이 활발히 이루어지고 있다. 이에 따라 후면전계(Back Surface Field, BSF) 특성에 대한 관심이 높아지는 추세이다. 이에 본 연구에서는 후면의 결정방향 및 표면구조에 따라 형성되는 후면전계(BSF)의 특성에 대해 알아보고자 하였다. 후면이 절삭손상층 식각(Saw damage etching) 후 (100)면이 드러난 실리콘 기판과 텍스쳐링(Texturing) 후 (111)면이 드러난 실리콘 기판에 후면 전극을 스크린 인쇄 후 Ramp up rate을 달리 하여 소성 공정(RTP system)을 통해 후면전계(BSF)를 형성하여 비교하였다. 후면전계(BSF)의 형상과 특성만을 평가하기 위하여 염산을 이용하여 후면 전극층을 제거하였다. 후면 전극 제거 후 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)과 3차원 미세형상측정기(Non-contacting optical profiler)로 후면전계(BSF)의 형상을 비교하였다. 또한 후면전계(BSF)의 특성을 평가하고자 Quasi-Steady-State Photo Conductance(QSSPC)를 사용하여 포화전류(Saturation current, $J_0$)을 측정하였고, 면저항 측정기(4-point probe)로 면저항을 측정하여 비교하였다. 후면 전계(BSF)는 (100)면과 (111)면에서 모두 Ramp up rate이 빠를수록 향상된 특성을 보였고, (111)면에서 더 큰 차이를 보였다.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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• 1992.04b
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• pp.309-317
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• 1992

현재 3차원 좌표측정기(Coordinate Measuring Machine:CMM)는 기계가공품의 수치검사(Dimensional inspection)에 널리 사용된다. 검사과정의 자동화를 향상시키기 위해 CMM을 이용한 컴퓨터통합검사시스템이 필요하게 되었다. 이 논문에서는 자유곡면 형상에 대해 CAD지향의 검사개념을 사용하여 CMM을 이용 자동측정하고 그 결과를 토대로 측정한 자유곡면에 대한 형상오차를 분석하는 부분을 다룬다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2006.10a
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• pp.373-374
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• 2006

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2007.07a
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• pp.201-202
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• 2007

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2007.02a
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• pp.305-306
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• 2007

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.116-117
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• 2001

정밀 삼차원 미세 형상 측정기에서 성능의 관건은 고속, 고분해능으로 측정하는 것이다. 그러기 위해서는 공진주파수가 높아야 하고 스프링 상수가 작아야 한다. 광포획 현미경(optical trap microscope, OTM)은 광포획 된 마이크로 입자를 프로브로 사용하는 것으로 입자에 작용하는 복원력이 광에 의한 힘뿐이므로 스프링 상수가 낮다. 또한 공진주파수는 f=√k/m 으로 입자의 질량이 매우 작으므로 공진주파수도 비교적 높다. (중략)

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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• v.7 no.1
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• pp.47-52
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• 2008

We present a 3-D profiler specially devised for the profile measurement of rough surfaces that are difficult to be measured with conventional non-contact interferometer. The profiler comprises multiple two-point-diffraction sources made of single-mode optical fibers. Test measurement proves that the proposed profiler is well suited for the warpage inspection of microelectronics components with rough surface, such as unpolished backsides of silicon wafers and plastic molds of integrated-circuit chip package.