대형 광학 거울 형상 측정용 접촉식 정밀 형상측정기 제작 및 측정 성능 평가

Configuration of stylus contact profilometer for large optical surface and measuring characteristics

  • 박원현 (연세대학교 우주과학연구소) ;
  • 이혁교 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 전병혁 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 양호순 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 김석환 (연세대학교 우주과학연구소) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이인원 (한국표준과학연구원 우주광학연구단)
  • 발행 : 2007.07.01