Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Surface profile measurement with optically trapped micro-particles

광포획된 마이크로 입자를 이용한 표면형상 측정

  • 주지영 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김준식 (한국과학기술원 기계공학) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2001.02.01
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Abstract

정밀 삼차원 미세 형상 측정기에서 성능의 관건은 고속, 고분해능으로 측정하는 것이다. 그러기 위해서는 공진주파수가 높아야 하고 스프링 상수가 작아야 한다. 광포획 현미경(optical trap microscope, OTM)은 광포획 된 마이크로 입자를 프로브로 사용하는 것으로 입자에 작용하는 복원력이 광에 의한 힘뿐이므로 스프링 상수가 낮다. 또한 공진주파수는 f=√k/m 으로 입자의 질량이 매우 작으므로 공진주파수도 비교적 높다. (중략)

Keywords