Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.234-234
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2010
최근 CMOS 소자 크기가 축소됨에 따라 소스와 드레인 영역에서의 접촉저항을 줄이기 위하여, 실리사이드 공정이 많이 연구되고 있다. 실리사이드 물질로서 NiSi는 낮은 저항률과 낮은 실리콘 소모, 낮은 공정온도, 등의 장점을 가지고 있다. 그러나, 실리사이드 형성으로 인한 나노소자의 소오스/드레인에서정션(junction) 누설전류의 증가는 큰 문제가 되므로 실리콘과 실리사이드 계면의 특성이 중요하다. 본 연구에서는 니켈을 이용한 실리사이드 형성시 계면 활성제인 에틸 요오드를 이용하여 실험을 진행하였다. 금속 유기 전구체인 MABONi을 사용하여 ALD 방식으로 증착 한 니켈 박막과 니켈 핵 형성시 계면활성제인 에틸요오드의 처리 방법에 따른 Ni-silicide 박막의 특성을 비교, 분석하였다. 먼저 자연산화막을 건식식각으로 제거한 뒤, 첫 번째 샘플에서는 10회의 주기로 초기 니켈을 증착한 뒤, 에틸요오드로 니켈의 표면 위를 처리하고, 다시 200회의 주기로 니켈을 증착하였으며, 두 번째는 첫 번째 방식에서 에틸요오드 주입 시 동시에 수소도 함께 주입하였다. 세 번째는 비교를 위해 에틸요오드 처리를 하지 않고 니켈 박막만을 증착 하였다. 이어서, 각 샘플을 급속 열처리 장비에서 $400^{\circ}C$부터 $900^{\circ}C$까지 각각 30sec간 열처리를 진행후, 반응하지 않은 잔여 니켈을 제거한 후, XRD(x-ray diffraction), AES(auger), 그리고 4-point probe 등을 이용하여 형성된 실리사이드의 특성을 분석하였다. 에틸요오드와 함께 수소를 주입한 경우 계면에서의 산소 불순물과 카본 성분이 효과적으로 제거되어 $400^{\circ}C$에서 $2.9{\Omega}/{\Box}$ 의 낮은 면저항을 가지는 NiSi가 형성되었고 모든 온도구간에서 다른 샘플에 비하여 가장 낮은 면저항 분포를 보였다. 이는 분해 흡착된 요오드에 의한 계면 특성 향상과 카본 성분이 포함된 잔여물들이 수소처리에 의해 효율적으로 제거되어 실리사이드의 특성이 향상되었기 때문이다. 계면활성제를 사용하지 않은 경우에는 $500^{\circ}C$에서 NiSi가 형성되었다. 반면에 에틸요오드로만 표면을 처리한 경우에는 니켈과 실리콘 계면에서의 카본 성분에 의하여 silicidation 이 충분히 일어나지 않았다. 이러한 결과는 향후 45nm 이하의 CMOS 공정상에서 소스와 드레인의 낮은 누설전류를 가지고, 접촉저항을 줄이기 위한 니켈 실리사이드 형성에 큰 도움을 줄 것으로 기대된다.
국내에 건설되어 거의 20∼30년 가동되고 있는 발전설비, 석유화학 플랜트 등 거대설비 기기의 건전성(integrity) 및 신뢰성 확보와 잔존수명 예측을 위해서는 구조물 내부 또는 표층부에 존재하는 결 함의 특성을 아는 것과 함께 그 재료의 특정 부위에 어느정도의 응력이나 변형이 있는가를 아는 것이 매우 중요하다. 일반적으로 강 용접부의 비파괴적 결함검출에는 주로 SV파(vertically shear wave)와 SH파(horizontally shear wave)라 불리는 횡파를 이용한 초음파사각탐상법이 실용화되어 이용되고 있다. 그러나 비파괴적인 방법에 의한 실험적인 잔류응력 측정, 변형해석법에는 전기 저항 및 자기 스트레인 게이지법, X선회절법, 광탄성법(photoelasticity), 모아레(Mohr's)법, 레이저스펙클(Laser speackle)법, 응 력도료법, Barkhausen Nosise법, Caustics법 등이 제시되어 있으나 그 유용성 면에서는 아직 해결되야할 문제가 많이 남아 있는 실정이다. 응력이나 변형을 해석하는 방법으로 이론적 방법, 계산적 방법 실험적 방법이 잇다. 이론적 방법에는 재료 역학적으로 취급하는 방법, 탄성론 등이 있고, 계산적인 방법에는 유한요소법이 있지만, 이론적 방법이나 계산적 방법만으로는 해석이 불가능한 경우가 많기 때문에 실험 적 방법이 필요하게 된다. 이 글에서는 파괴 시험 또는 다른 비파괴평가기술에 비해 간편한 측정, 높은 측정정도, 시험결과 도출의 신속성, 검사비용의 절감 등 많은 장점을 가지고 있고 실험적으로 유용성이 일부 검증되고 있는 음탄성법(Acoustoelasticity)에 의한 잔류응력 측정법에 관해 소개하고자 한다.TEX> mg/L(평균 49 mg/L)로 비교적 안정적인 처리효율을 보여주었다. 본 연구결과 HVC 공정은 화학약품 사용량의 절감 및 이에 따른 화학슬러지 발생량의 감소를 기대 할 수 있는 친환경기술로 유지관리비를 최소화할 수 있는 장점이 있었다. 않은 사람들 중 미래의 검진실행의지에 건강소식지가 영향을 미친 경우는 48.7%였다. 보건교육을 받은 후 유방암 자가검진 실천율은 사업군에서 53.9%로 받기 전의 27.3%보다 증가하였으나 대조군의 경우는 별 차이가 없었다. 연령별로는 60대가 가장 높았고 사업군에서 검진율의 증가분은 30대가 가장 컸다. 교육수준별로는 사업군은 고졸이, 대조군은 전문대졸이 가장 높았고 사업군에서 검진율의 증가분은 고졸에서 가장 컸다. 보건교육 후 유방암과 관련된 건강지식의 정도는 사업군이 3.7점으로 대조군보다 유의하게 높았으며, 유방암 자가검진법을 실천하는 사람들의 동기는 ‘일반 대중매체의 영향’이 가장 많았으며 건강소식지가 동기인 경우도 20.4%였다. 사업군에서 건강소식지가 유방암 자가검진법 실천에 영향을 미친 경우가 79.6%였으며 유방암 자가검진법에 관한 보건교육을 받고 실천하지 않은 사람들 중 미래의 실천의지에 건강소식지가 영향을 미친 경우는 43.6%였다. 이상의 소견에서 지역주민을 대상으로 인쇄매체를 통한 보건교육은 인쇄물만으로도 쉽게 실천 할 수 있는 유방암 자가검진법이 가장 효과적이었으며, 자궁암검진에 관해서도 검진을 받을 수 있도록 지역사회의 보건의료의 하부구조를 정비하여 제도적 장치를 마련하고 정보를 제공한다면 자궁암검진 실천율도 증가할 것이다.고 12.9% 의 발달율을 보여 유의적인 차이를 보이지 않았다. 이상의 결과로 보아 핵이식 수정란을 효율적으로 생산하기 위하여
Lithium metal is the most promising anode for next-generation lithium-ion batteries due to its lowest reduction potential (-3.04 V vs. SHE) and high specific capacity (3860 mAh/g). However, the dendritic formation under high charging current density remains one of main technical barriers to be used for commercial rechargeable batteries. To address these issues, tremendous research to suppress lithium dendrite formation have been conducted through new electrolyte formulation, robust protection layer, shape-controlled lithium metal, separator modification, etc. However, Li/Li symmetric cell test is always a starting or essential step to demonstrate better lithium dendrite formation behavior with lower overpotential and longer cycle life without careful analysis. Thus, this review summarizes overpotential behaviors of Li/Li symmetric cells along with theoretical explanations like initial peaking or later arcing. Also, we categorize various overpotential data depending on research approaches and discuss them based on peaking and arcing behaviors. Thus, this review will be very helpful for researchers in lithium metal to analyze their overpotential behaviors.
KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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v.30
no.6B
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pp.599-606
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2010
Due to the short period of precipitation data in Korea, the uncertainty of drought analysis is inevitable from a point frequency analysis. So it is desired to introduce a regional drought frequency analysis. This study first extracted drought characteristics from 3-month and 12-month moving average rainfalls which represent short and long-term droughts, respectively. Then, the homogeneous regions were distinguished by performing a principal component analysis and cluster analysis. The Korean peninsula was classified into five regions based on drought characteristics. Finally, this study applied the bivariate frequency analysis using a kernel density function to quantify the regionalized drought characteristics. Based on the bivariate drought frequency curves, the drought severities of five regions were evaluated for durations of 2, 5, 10, and 20 months, and return periods of 5, 10, 20, 50, and 100 years. As a result, the largest severity of drought was occurred in the Lower Geum River basin, in the Youngsan River basin, and over in the southern coast of Korea.
Purpose: This study was performed to find the current problems of positron emission tomography/computed tomography(PET/CT) data on CD for inter-hospital transfer. Materials and Methods: The subjects were 746 consecutive $^{18}F$-fluorodeoxyglucose PET/CT data CDs from 56 hospitals referred to our department for image interpretation. The formats and contents of PET/CT data CDs were reviewed and the email questionnaire survey about this was performed. Results: PET/CT data CDs from 21 of 56 hospitals(37.5%) included all transaxial CT and PET images with DICOM standard format which were required for authentic interpretation. PET/CT data from the others included only secondary capture images or fusion PET/CT images. According to this survey, the main reason of limited PET/CT data on CD for inter-hospital transfer was that the data volume of PET/CT was too large to upload to the Picture Archiving and Communication System. Conclusion: The majority of hospitals provided limited PET/CT data on CD for inter-hospital transfer, which could be inadequate for accurate interpretation and clinical decision making. It is necessary to standardize the format of PET/CT data on CD for inter-hospital transfer including all transaxial CT and PET images with DICOM standard format.
Kim, Gi Yong;Jang, Sung-Chan;Song, Young Ho;Lee, Chang-Soo;Huh, Yun Suk;Roh, Changhyun
Korean Journal of Environmental Biology
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v.34
no.4
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pp.304-313
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2016
One of the issues currently facing nuclear power plants is how to store spent nuclear waste materials which are contaminated with radionuclides such as $^{134}Cs$, $^{135}Cs$, and $^{137}Cs$. Bioremediation processes may offer a potent method of cleaning up radioactive cesium. However, there have only been limited reports on $Cs^+$ tolerant bacteria. In this study, we report the isolation and identification of $Cs^+$ tolerant bacteria in environmental soil and sediment. The resistant $Cs^+$ isolates were screened from enrichment cultures in R2A medium supplemented with 100 mM CsCl for 72 h, followed by microbial community analysis based on sequencing analysis from 16S rRNA gene clone libraries(NCBI's BlastN). The dominant Bacillus anthracis Roh-1 and B. cereus Roh-2 were successfully isolated from the cesium enrichment culture. Importantly, B. cereus Roh-2 is resistant to 30% more $Cs^+$ than is B. anthracis Roh-1 when treated with 50 mM CsCl. Growth experiments clearly demonstrated that the isolate had a higher tolerance to $Cs^+$. In addition, we investigated the adsorption of $0.2mg\;L^{-1}$$Cs^+$ using B. anthracis Roh-1. The maximum $Cs^+$ biosorption capacity of B. anthracis Roh-1 was $2.01mg\;g^{-1}$ at pH 10. Thus, we show that $Cs^+$ tolerant bacterial isolates could be used for bioremediation of contaminated environments.
Purpose: Low dose of PET/CT is important because of Patient's X-ray exposure. The aim of this study was to evaluate the effectiveness of low-dose PET/ CT image through the CTAC and QAC of patient study and phantom study. Materials and Methods: We used the discovery 710 PET/CT (GE). We used the NEMA IEC body phantom for evaluating the PET data corrected by ultra-low dose CT attenuation correction method and NU2-94 phantom for uniformity. After injection of 70.78 MBq and 22.2 MBq of 18 F-FDG were done to each of phantom, PET/CT scans were obtained. PET data were reconstructed by using of CTAC of which dose was for the diagnosis CT and Q. AC of which was only for attenuation correction. Quantitative analysis was performed by use of horizontal profile and vertical profile. Reference data which were corrected by CTAC were compared to PET data which was corrected by the ultra-low dose. The relative error was assessed. Patients with over weighted and normal weight also underwent a PET/CT scans according to low dose protocol and standard dose protocol. Relative error and signal to noise ratio of SUV were analyzed. Results: In the results of phantom test, phantom PET data were corrected by CTAC and Q.AC and they were compared each other. The relative error of Q.AC profile was been calculated, and it was shown in graph. In patient studies, PET data for overweight patient and normal weight patient were reconstructed by CTAC and Q.AC under routine dose and ultra-low dose. When routine dose was used, the relative error was small. When high dose was used, the result of overweight patient was effectively corrected by Q.AC. Conclusion: In phantom study, CTAC method with 80 kVp and 10 mA was resulted in bead hardening artifact. PET data corrected by ultra- low dose CTAC was not quantified, but those by the same dose were quantified properly. In patients' cases, PET data of over weighted patient could be quantified by Q.AC method. Its relative difference was not significant. Q.AC method was proper attenuation correction method when ultra-low dose was used. As a result, it is expected that Q.AC is a good method in order to reduce patient's exposure dose.
It is required to expand area of inter-Korean economic cooperation, being limited to non-military field, to military field and then, to positively promote arms control in order to establish foundation for peaceful reunification in Korean peninsula. Reasons why arms control has not been promoted between South and North Korea in the meantime were such original factors as follows; (1) limit of confidence building between the South and the North, (2) functional limit of arms control itself, (3) institutional structural limit between the South and the North, (4) environmental limit at home and abroad. It is necessary to get out from existing frame and to seek a new paradigm in order to overcome above factors and to realize arms control between the South and the North. First, it is required to have prior political dialog at the South-North high-level talks in order to promote arms control and to exercise 'strategic flexibility' during negotiation and promotion process. For this, 'flexible reciprocity' has to be adopted in compliance with situation and conditions. Second, it is necessary to get out from existing principle of 'confidence building in advance and arms reduction later' but to seek the 'simultaneous driving principle of confidence building and arms reduction' as an eclectic approach. Namely, based on reasonable sufficiency, it is required to promote military confidence building and limited arms reduction in parallel, which is a lower level of arms control. Third, as an advisory body of Prime Minister's Office, it is necessary to install an organization exclusively responsible for arms control and to positively handle arms control issue from the standpoint of national policy strategy. If the South-North high-level talks take place, it is necessary to organize and operate 'South-North Joint Arms Control Promotion Board (tentative name)'. Fourth, it is required to exercise more active diplomatic competence in order to create national consensus on necessity of arms control for peaceful reunification and to form more favorable international environment. Especially, it is necessary to think about how to solve nuclear issue of North Korea together in collaboration with international society and how to maintain balance between ROK-US alliance and Sino-Korean cooperation relations.
The purpose of this article is to elucidate why the motif of time travel is repeated in the science fiction narrative by examining the functions of this motif in the SF movie series of Star Trek in its narrative and non-narrative aspects. Star Trek IV: The Voyage Home (1986) aims to attract the audience's interest in the story through the use of plausible time travel in the form of the slingshot effect which causes the spacecraft to fly at very fast speeds around an astronomical object. The movie also touches upon the predestination paradox that arises from a change of history in which it describes a formula of transparent aluminum that did not exist at the time. The film also serves as an evocation of the ideology of ecology by including humpback whales in the central narrative and responding to the real issue of the whale protection movement of the times. Star Track VIII: First Contact (1996) intends to interest the audience in the narrative with the warp drive, a virtual device that enables travel at speeds faster than that of light and a signature visual of Star Trek, at the time of its birth through time travel. The film emphasizes the continuation of peaceful efforts by warning the destruction of humanity that nuclear war can bring. It tackles with the view of pacifism and idealism by stressing the importance of cooperation between countries in the real world by making the audience anticipate the creation of the United Federation of Planets through encounters with the extraterrestrial. Star Trek: The Beginning (2009) improves interest through the idea of time travel to the past, this time using a black hole and the parallel universe created thereby. The parallel universe functions as a reboot, allowing a new story to be created on an alternate timeline while maintaining the original storyline. In addition, this film repeats the themes pacifism and idealism shown in the 1996 film through the confrontation between Spock (and the Starfleet) and Nero, the destruction of the Vulcan and the Romulus, and the cooperation of humans and Vulcans. Eventually, time travel in three Star Trek films has the function of maximizing the audience's interest in the story and allowing it to develop freely as a narrative tool. It also functions as an ideal solution for commenting on current problems in the non-narrative aspect. The significance of this paper is to stress the possibility that the motif of time travel in SF narrative will evolve as it continues to repeat in different forms as mentioned above.
Purpose: N-(3-[$^{18}F$]Fluoropropyl)-$2{\beta}$-carbomethoxy-$3{\beta}$-(4-iodophenyl)nortropane [$^{18}F$]FP-CIT) has been shown to be very useful for imaging the dopamine transporter. However, synthesis of this radiotracer is somewhat troublesome. In this study, we used a new method for the preparation of [$^{18}F$]FP-CIT to increase radiochemical yield and effective specific activity. Materials and Methods: [$^{18}F$]FP-CIT was prepared by N-alkylation of nor-${\beta}$-CIT (2 mg) with 3-bromo-1-[$^{18}F$]fluoropropane in the presence of $Et_3N$ (5-6 drops of $DMF/CH_3CN$, $140^{\circ}C$, 20 min). 3-Bromo-1-[$^{18}F$]fluoropropane was synthesized from $5{\mu}L$ of 3-bromo-1-trifluoromethanesulfonyloxypropane (3-bromopropyl-1-triflate) and $nBu_4N^{18}F$ at $80^{\circ}C$. The final compound was purified by reverse phase HPLC and formulated in 13% ethanol in saline. Results: 3-Bromo-1-[$^{18}F$]fluoropropane was obtained from 3-bromopropyl-1-triflate and $nBu_4N^{18}F$ in 77-80% yield. N-Alkylation of nor-${\beta}$-CIT with 3-bromo-1-[$^{18}F$]fluoropropane was carried out at $140^{\circ}C$ using acetonitrile containing a small volume of DMF as the solvents. The overall yield of [$^{18}F$]FP-CIT was 5-10% (decay-corrected) with a radiochemical purity higher than 99% and effective specific activity higher than the one reported in the literature based on their HPLC data. The final [$^{18}F$]FP-CIT solution had the optimal pH (7.0) and it was pyrogen-free. Conclusion: In this study, 3-bromopropyl-1-triflate was used as the precursor for the [$^{18}F$]fluorination reaction and new conditions were developed for purification of [$^{18}F$]FP-CIT by HPLC. We established this new method for the preparation of [$^{18}F$]FP-CIT, which gave high effective specific activity and relatively good yield.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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