플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 $SiO_xN_y$ 막의 flexible 평판 디스플레이에 적용하기 위한 확산 방지막으로의 효과
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2006년도 춘계학술발표회 초록집
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- pp.128-128
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- 2006