• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.175-175
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• 2012

플라즈마를 이용하는 공정은 평판 디스플레이와 박막 트렌지스터, LCD 같은 반도체 산업에 널리 사용되고 있다. 최근 이와 같은 산업을 위한 공정은 마이크로 단위 이하에서 진행되고 있으며, 그 크기가 작아질수록 공정을 위한 비용은 증가하게 되었다. 따라서 제품의 대량생산 및 원가절감을 위해 웨이퍼의 대구경화가 진행되었고, 그런 대구경의 웨이퍼을 생산하기 위한 대면적 플라즈마 소스 개발 역시도 필요하게 되었다. 그리고 2014년에는 450 mm 크기의 웨이퍼가 사용될 것으로 예상되고 있다. 450 mm 대구경 웨이퍼용 유도결합플라자마 장치를 이용하여 플라즈마의 특성을 Langmuir probe를 사용하여 측정하였다. 플라즈마를 방전시키는 안테나의 형태는 spiral 형태의 안테나를 사용하였고, 이중주파수를 사용하기 위해 spiral 형태의 안테나를 두개로 나누어 안쪽의 안테나에는 2 Mhz를 바깥쪽의 안테나에는 13.56 Mhz를 인가하였다. 공정 압력은 10 mTorr로 유지하고 안쪽의 2 Mhz 안테나에는 100~800 W까지 변화시키고 바깥쪽의 13.56 Mhz 안테나에는 100~1,000 W까지 변화시켜 그 때의 플라즈마의 특성을 분석해 보았다. Langmuir probe를 이용하여 방전된 플라즈마를 관찰한 결과, 기판 위에서의 플라즈마 균일도가 4~23%가 되는 것을 확인 할 수 있었다. 13.56 Mhz의 인가되는 파워를 고정 시키고 2 Mhz만을 변화시켰을 경우 2 Mhz의 파워를 400 W까지 증가시켰을 때는 플라즈마의 밀도가 서서히 증가하였으나 400 W 이상에서는 밀도가 크게 증가하는 것을 볼 수 있었다. 하지만 플라즈마의 온도와 potential의 경우 밀도와는 반대로 2 Mhz에 인가되는 파워가 증가 될수록 감소하는 경향을 보였다. 위의 실험을 통해 우리는 전자에너지분포함수(EEDFs)를 얻을 수 있었고, 그 안에서 낮은 주파수(2 Mhz)를 이용하여 낮은 에너지를 가진 전자의 밀도를 조절할 수 있다는 것과 높은 주파수(13.56 Mhz)에 인가된 파워가 증가함에 따라 높은 에너지를 얻을 수 있다는 결과를 확인 할 수 있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.07c
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• pp.1933-1935
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• 2004

본 연구에서는 변압기형 플라즈마 전류 모델을 기초로 한 평판형 유도 결합 플라즈마 장치에 대한 회로를 분석하여 임피던스 매칭 특성을 조사하였다. 장치 임피던스는 collisional surface impedance를 기반으로 계산된 플라즈마 임피던스와 안테나 임피던스로 결정된다. 매칭 network에 사용된 회로는 Altcmatc-typc의 회로이고, 매칭 소자인 $C_T$와 $C_L$은 임피던스 매칭 조건을 이용하여 계산하였다. 완전 매칭의 경우에는 $C_T$와 $C_L$을 플라즈마 변수들의 함수로 표현하여 의존성을 분석하고, 불완전 매칭의 경우에는 반사파에 대한 반사계수, 반사율을 계산하였다.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.35D no.12
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• pp.12-20
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• 1998

The non-uniform leaky wave structure of the slits in a parallel-plate waveguide is analyzed from the viewpoints of transmitting(receiving) leaky wave antenna and grating coupler. Period and slit width are simultaneously varied along the leaky wave structure to construct the leaky wave structure with a specific distribution of complex propagation constant. Some results for the equivalent magnetic current distributions over the slits and the radiation characteristics of the leaky wave structure with various source(equivalent magnetic current) distributions such as Gaussian, uniform, cosine, cosine-squared, and Taylor distributions are given and compared with each other.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2017.07a
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• pp.501-505
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• 2017

반도체에 대한 수요가 늘어남에 따라 반도체 칩 생산을 위한 웨이퍼 공정 및 평판 디스플레이 제조 공정에서 수백~수십 나노 단위 크기의 트랜지스터, 커패시터 등의 회로소자 제조를 요구하고 있다. 이에 따라 반도체 공정의 미세화가 10nm 이하까지 다다랐고 이로 인해 수율과 신뢰성 측면에서 파티클, 금속입자, 잔류이온 등 진공챔버 내부의 오염원 제거 중요성이 점점 증가하고 있다. 이러한 오염원 제거를 위해서 과거에는 진공 챔버를 개방하여 액상물질로 주기적인 세정을 하였으나 2000년대 초반부터 생산성 향상을 위해 진공 상태에서 건식 세정하는 원격 플라즈마 발생장치(Remote Plasma Generator, RPG)를 개발하여 공정에 적용 해 왔다. 건식 세정을 위해서 화학적 반응성이 높은 고밀도의 라디칼이 필요하고 이를 위해 플라즈마를 이용하여 라디칼을 생성한다. RPG는 안테나 형태의 기존 유도 결합 플라즈마 (Inductively Coupled Plasma, ICP) 방식에 자성코어(Ferrite Core)를 추가함으로써 고밀도 플라즈마 생성이 가능하다. 본 세션에서는 이러한 건식세정과 관련된 플라즈마 기술 소개, 플라즈마 발생장치의 종류 및 효과적인 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 발생장치를 소개하고자 한다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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• v.44 no.2
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• pp.69-75
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• 2007

In this paper, a single plane wide band microstrip antenna for integrated circuit is designed and fabricated. A new configuration for a wide bandwidth is proposed. This antenna consists of two folded microstrip monopoles, which are fed by a coplanar waveguide (CPW). Therefore In this paper is folded terminal part of dual microstrip line for variable reactance value. As a result compared the proposed folded dual microstrip monopole antenna with established dual microstrip monopole antennas, the proposed antenna can widen bandwidth more then about over 1[GHz. The characteristics of the proposed antenna were analyzed by using an FDTD methods. The proposed antenna has $1.98{\sim}4.05GHz$ bandwidth for using ISM, Wibro and DMB band.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.24 no.5
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• pp.475-483
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• 2013

In this paper, a coupled-fed monopole antenna for LTE/WWAN mobile handset applications is presented. The antenna consists of a monopole, a coupling strip, a feeding pad, a stub, and a shorting strip. The basic resonance of the monopole combines with the resonance formed by the coupling that occurs between the coupling strip and the feeding pad to include LTE700(698~787 MHz), GSM850(824~894 MHz), and GSM900(890~960 MHz) bands. The resonance of the stub combines with the harmonics of the monopole to include GSM1800(1,710~1,880 MHz), GSM1900(1,850~1,990 MHz), and UMTS(1,920~2,170 MHz) bands. Therefore, the proposed antenna is suitable as antenna for hexa-band mobile handset applications, covering LTE700, GSM850, GSM900, GSM1800, GSM1900, and UMTS bands. A stable and omni-directional radiation pattern with reasonable gains is observed within the operating bandwidth.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.20 no.3
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• pp.296-302
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• 2009

In this paper, a planar microstrip patch antenna is proposed using the slit on the top layer of a multi-layered structure for GPS application. The proposed antenna has a circular polarization at 1,575.42 MHz. This proposed antenna is fabricated on multi-layered FR4 substrate. The slits embedded on the top plane may yield to lower a resonance frequency and sustain a broad bandwidth. The proposed antenna size is $20{\times}20{\times}4.0\;mm^3$. The measured gain of 0.5 dBi, 10 dB bandwidth(VSWR 2:1) of 70 MHz(4.4 %), and 3 dB axial-ratio bandwidth of 15 MHz(1 %) have been obtained, respectively.

• Journal of Navigation and Port Research
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• v.39 no.6
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• pp.473-478
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• 2015

In this paper, we suggest a flexible multiband antenna which can be equipped on an inflatable life-jacket. The antenna can send distress alert and location data of survivors to assist rescue operation when crew or people are in distress. The antenna operate in three frequency bands such as VHF-DSC band (156MHz), COSPAS-SARSAT band (406MHz) and GPS band (1,575MHz). The GPS band is implemented with a square ring-slot planar antenna, the COSPAS-SARSAT band and the VHF-DSC band antenna is implemented by monopole type. In order to give flexibility of substrate to be equipped on life-jacket, FR4-epoxy substrate of thickness 0.2mm is used to make antenna. The reflection coefficients of the fabricated antenna are -8.8dB, -20.4dB and -10.7dB at each bandwidth like VHF-DSC, COSPAS-SARSAT and GPS band, respectively, when people are wearing life-jacket integrated multiband antenna.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• v.26 no.2
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• pp.35-40
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• 1989

In this paper, a new method which simultaneously gives the radiation conductance and susceptance of the rectangular microstrip patch antenna. This solution is derived from the load admittance of the equivalent ${\pi}-$network circuit of the slitted parallel-plate waveguide filled with homogeneous dielectric. Our theoretical results for the radiation admittance are compared with other theoretical results. Also, our theoretical return loss and resonant frequency which are calculated by use of the equivalent transmission line model are in fairly good agreement with the experimental results.

• Proceedings of the Korean Society of Marine Engineers Conference
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• 2011.10a
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• pp.69-69
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• 2011

본 논문에서는 유입변압기의 절연진단을 위한 기초연구로 유중 부분방전에 의해 발생하는 전자파의 검출과 분석에 대하여 기술하였다. 유중 방사전자파 측정에는 공진주파수가 1 GHz인 모노폴 안테나를 제작하였다. 절연유 내부에 침-평판 전극계를 설치하고 0~50 kV까지 고전압을 인가시키면서 유중 부분방전의 발생을 모의하였다. 실험결과, 92.3 pC의 부분방전 발생시 1.28 V의 신호가 검출되었다.