이극형 이온펌프에서의 내부 전극 구조의 문제점과 고전압에서의 방전특성을 고려하여 삼극형 이온펌프에서 -lkV $\~$ -7kV까지 고전압을 변화시킴에 따라 진공도가 $5.0{\times}10^{-5}Torr {\~} 4.7{\times}10^{-8}Torr$ 까지 형성되었다. 그 결과 시간에 따른 진공도 또한 약 27분 정도 소요됨을 알 수 있으며, 전류값은 -1kV$\~$-2kV에서는 선형적으로 증가하다 -3kV이상부터 지수적으로 증가함을 볼 수 있다. 따라서 삼극형 이온펌프는 이극형 이온펌프 보다 고전압 방전 특성 및 내부 전극 구조의 문제점이 개선되었다.
For evaluation of durability of low vacuum pumps, it is required to examine the performance and degradation of low vacuum pumps. Pump degradation may result from abnormalities associated with the performance in many areas of pump operation. The diagnostics method can be used to monitor the pump performance in the semi-conductor process line. Based on the mechanical defect of the pump, the dynamic response and reliability of the system for performance test, and the dynamic characteristics of the pump were experimentally assessed. The theoretical work rate for the compression process in the pump was calculated, and then the efficiency of the pump associated with the power consumption was evaluated. This analysis will be useful in detecting pump degradation with increasing the power consumption. To determine the predominant factors of pump degradation, it is important to evaluate the entire pumping system. We studied vibration, dynamic pressure, pumping speed, and power consumption of low vacuum pumps. Our results can be utilized for the future research on the evaluating technology of durability of low vacuum pumps.
We measured pumping speed of a sputter ion pump with a honeycomb anode cell structure and compared the result with that of another sputter ion pump with a typical cylindrical anode cell structure. A cell module with a honeycomb structure has no dead space which is about 10 % of the entire horizontal area of the cell module with a cylindrical structure. This dead space makes a little contribution to the ionization of the gas, so the pumping performance of the pump with dead space is expected to be lowered by the amount. From the experimental data we concluded that the honeycomb cell structure is superior to the cylindrical structure by $5{\sim}10%$ in performance.
PC용 냉각장치의 일환으로 CPU의 외벽에 방열판을 달고 열전냉각모듈을 설치한 후 방열판을 냉각하기 위해서 펌프를 적용한 수냉식 냉각 시스템을 개발하고자 하였다. 먼저, 냉각 시 펌프의 부하를 설계하고 그 용량에 적절한 저소음, 고효율 BLDC 모터를 개발하고자, 상용화된 외국제품인 S사의 저효율 단상 BLDC 모터가 적용된 수냉식 펌프를 기준으로 하였다. S사의 단상 BLDC 모터에 대한 시뮬레이션과 테스트를 통해서 거의 비슷한 결과를 얻었으며, 이를 이용하여 단가가 다소 상승하더라도 효율과 성능을 향상시킬 수 있는 3상 BLDC 모터구조로 설계를 하였으며, 그 결과 효율이 거의 2배 향상되며 출력 또한 향상됨을 시뮬레이션으로 구현하였다.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2014.11a
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pp.50-52
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2014
본 논문에서는 아두이노와 블루투스를 이용하여 워터펌프모터를 제어하고 음료가 섞이는 칵테일 머신을 개발하였다. 칵테일 머신의 주요 기능은 1) 안드로이드 기반 OS 와 아두이노에 연결된 블루투스 모듈 간의 통신을 통해 음료를 주문하고, 2) 각 워터펌프 모터들의 수동 캘리브레이션 작업을 통해 정밀한 음료량을 제어하며, 3) 레시피에 선택된 음료들 간의 배합을 통해 칵테일을 주조하는 것이다. 이를 위해 펌프모터 제어를 통해 음료 혼합 시스템을 개발하기 위해 개별 모터와 사용되는 액체의 점도에 따른 유량의 차이를 실험을 통해 획득함으로써 칵테일을 구성하는 주요 요소인 배합비율을 맞추는 기능을 구현하였다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2000.02a
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pp.52-52
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2000
저진공 펌프 제작시 ISO, AVS 등의 국제규격에 ?춤은 필수이고, 도달진공도, 압력구간별·가스별 배기속도, 소음, 기름증기 역류, 압축비 등이 이에 해당된다. 큰 체적의 시험용기가 구비되어 있지 않은 경우에는 배기감압법 대신 일정유량 Q를 흘려 시험용기내에 일정압력 P를 유지시키면서 배기속도를 S=Q/P식으로 구하는 일정압력법을 사용한다. 이 실험은 800~2000 l/min급 유회전 펌프와 드라이 펌프로 압력별 배기속도를 측정, 분석하여 평가방법을 수립하였다. 또 국가 유량 표준기인 sonic nozzle을 reference로 하여, 기존의 유량측정 장비와의 오차를 비교하였다. 온도 상승도를 측정, 압력과의 상관관계를 비교하였고, 오차가 적은 CDG(1, 10, 100torr)를 사용하여, 압력측정의 정확도를 높였다. 비교적 outgassing이 적은 SUS 재질의 chamber를 썼고, 유량조절 장치로 미세누출밸브를 사용하였다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.332-332
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2010
진공펌프의 배기성능 지표들을 정량적으로 측정하기 위해서 사용하는 표준용기에 관한 규격들은 대체로 일치하는 사양들을 제시하지만 유독 기체도입 도관의 굵기에 대해서는 다양한 방식으로 규정하고 있어서 혼란스럽다. 현재 제정중인 ISO 규격에서는 도관 굵기를 용기 내경의 10분의 1로 규정하고 있는데 대형 펌프 용 표준용기에 맞춘다면 도관의 굵기가 지나치게 커질 수 있다. 과연 이렇게 굵은 도관이 정밀한 측정을 위해 꼭 필요한지 또는 오히려 방해가 되는 것은 아닌지 검토해 보기 위해 도관 굵기에 따라 도관출구를 빠져나오는 입자들과 오리피스 및 펌프 흡기구에 입사하는 입자들의 등방성에 대해 살펴보았다 계산 결과에 의하면 도관의 굵기는 오리피스 및 펌프 흡기구에 입사하는 입자들의 평균 방향 여현 값에 전혀 영향을 미치지 않는 것으로 나타났으며 반면에 도관이 오리피스나 흡기구 면에 국부적으로 그림자를 드리우거나 입자 분포와 평균 방향여현 분포를 왜곡시키지도 않았다. 즉 기체 도입 도관을 가늘게 해도 빔효과가 계속 전파되어서 측정에 악영향을 미치지 않으므로 별 문제가 안 되고, 도관이 규정되어 있는 범위 안에서 어느 정도 굵어져도 입자의 흐름을 방해한다는 증거는 없다는 뜻이다. 그렇다면 도관의 굵기를 한 값으로 못 박기보다 넓은 범위를 주어 가공 능력에 따라 사용자가 적절히 크기를 선택할 수 있도록 하는 것이 합리적이라고 판단된다.
Kim, Dong Hwan;Kim, Du Yong;Kim, Jin Ho;Shin, Moon Seup;Yum, Deuk Joon
Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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2015.05a
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pp.54-58
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2015
인간이 생활하는데 필요한 전기를 생산하는 시설 중 하나인 화력발전소의 발전수차를 냉각시키기 위하여 많은 양의 냉각수를 바다에서 취수하게 되는데, 이 과정 중에서도 특히 흡입수조(Intake Basin)에서 흡입펌프(Suction Pump)를 통과하는 단계가 매우 중요하다. 흡입수조의 형상과 펌프운용조건 등에 의하여 흡입구(Bell Mouth)에 접근하는 유동이 비대칭일 경우 흡입구 주변에서 선회류가 발생하거나 유속분포가 비균일?비대칭이 되기 쉽다. 그러면 선회류가 더욱 악화되어 볼텍스(Vortex)로 발달되면 취수 펌프에 악영향을 준다. 또한 볼텍스의 발생은 흡입수조의 형상뿐만이 아니라 낮은 수위일 경우 수면과 흡입구의 거리가 짧아지면서 자유수면볼텍스 또는 수중볼텍스가 발생할 확률이 높아지게 된다. 본 연구에서 수리모형시험을 통하여 펌프 조합 및 수위 변화에 따른 볼텍스의 발생여부를 파악하고 볼텍스 저감장치를 고안하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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