한국산학기술학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KAIS Fall Conference)

한국산학기술학회 (The Korea Academia-Industrial cooperation Society)
권호 표지

3극형 이온펌프의 진공특성

Vacuum Characteristics of Triode Type Ion Pump

  • 김성운 (청운대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 한재천 (청운대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 김영조 (청운대학교 대학원 전자공학과)
  • Kim Sung-Woo (Dept of electronics engineering, Chungwoon University) ;
  • Han Jae-Chun (Dept of electronics engineering, Chungwoon University) ;
  • Kim Yung-Cho (Dept of electronics engineering, Chungwoon University)
  • 발행 : 2005.05.01
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초록

이극형 이온펌프에서의 내부 전극 구조의 문제점과 고전압에서의 방전특성을 고려하여 삼극형 이온펌프에서 -lkV $\~$ -7kV까지 고전압을 변화시킴에 따라 진공도가 $5.0{\times}10^{-5}Torr {\~} 4.7{\times}10^{-8}Torr$ 까지 형성되었다. 그 결과 시간에 따른 진공도 또한 약 27분 정도 소요됨을 알 수 있으며, 전류값은 -1kV$\~$-2kV에서는 선형적으로 증가하다 -3kV이상부터 지수적으로 증가함을 볼 수 있다. 따라서 삼극형 이온펌프는 이극형 이온펌프 보다 고전압 방전 특성 및 내부 전극 구조의 문제점이 개선되었다.

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