• Title/Summary/Keyword: 퍼멀로이

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Anisotropic Magnetoresistance Analysis of Permalloy Film Using 2-dimensional Magnetization Vector Measurement (2차원 자화벡터를 이용한 퍼멀로이 박막의 이방성자기저항 해석)

  • Lee, Young-Woo;Hu, Yong-Kang;Lim, Jae-Joon;Kim, Cheol-Gi;Kim, Chong-Oh;Yoon, Tae-Sick
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.14 no.4
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    • pp.115-119
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    • 2004
  • We measured in-plane 2 dimensional magnetization vector using two pick-up coil sets and investigate the relationship between magnetization vector and anisotropic magnetoresistance. We can determine magnetization vector by measuring magnetic moment in x and y direction simultaneously. As the uniaxial magnetic anisotropy of permalloy film increases, magnetoresistance approaches the expectation which is calculated from the angle between current vector and magnetization vector. Magnetoresistance ratio is linearly proportional to the y moment magnitude which is parallel to the current direction.

Effects of Electroless Plating Conditions and Heat Treatment on The Morphology and Magnetic Properties of Permalloy Thin Films (퍼멀로이 박막의 형성과 자기 특성에 미치는 무전해도금 조건 및 열처리의 영향)

  • Yang, Seong-Hun;Park, Jong-Wan
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.10
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    • pp.1007-1016
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    • 1996
  • 무전해도금법에 의한 퍼멀로이 박막의 도금 최적조건 규명 및 자기적 특성 향상을 위하여 퍼멀로이 박막의 미세구조 및 자기적 특성 등을 연구하였다. 소지는 알루미나를 사용하였으며, 환원제는 boron을 포함하는 Ni-Fe-B도금막이 형성되는 DMAB(dimethylamine borane)를 사용하였다. 도금시 인가된 도금막이 무자장하에서 도금된 도금막과 비교하여 기공이 적고, 조밀한 막이 형성됨을 SEM을 통하여 확인하였다. 도금속도는 온도, pH, DMAB 농도가 증가할수록 증가하였다. 도금막에 함유되는 boron의 함량은 pH가 감소할수록, 온도와 DMAB농도가 증가할수록 증가하였다. 도금막 보자력값은 30$0^{\circ}C$에서 1시간 열처리하였을 때 약 4.5Oe로 감소하였고, 포화자기유도값은 3-5kG 정도 증가하였다. 이때 포화자기유도값은 자장하에서 도금된 후 열처리한 도금막이 무자장하에서 도금된 후 열처리한 도금막에 비하여 1.7kG 정도 높았다. 또한 열처리 후의 도금막이 열처리 전의 도금막에 비하여 기공이 적고 조밀한 도금막을 형성함을 볼 수 있었다.

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Influence of Sputtering Conditions on The Coercive Force and Effective Permeability of Permalloy Thin Films (퍼멀로이 박막의 보자력 및 실효투자율에 미치는 스퍼터링 조건의 영향)

  • 김현태;김상주;한석희;김희중;강일구;김인응
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.4 no.3
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    • pp.201-207
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    • 1994
  • RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 퍼멀로이(NiFe) 박막에 대하여 투입전력, 아르곤 압력, 바이어스 전압등의 스퍼터링 조건이 퍼멀로이 박막의 자기특성에 미치는 영향을 조사하였다. 투입전력에 따른 보자력의 변화는 300~400W에서 낮은 값을 지녔으며 아르곤 압력에 따른 변화는 1~5mTorr에서 낮은 값을 나타내었다. 스퍼터링 조건에 따른 최소의 보자력값은 400 W, 5mTorr 와 300 W, 2mTorr에서 각각 0.10 Oe를 나타내었고 최대의 투자율값은 400 W, 5mTorr에서 2800(1 MHz)을 나타내었다. 또한 저압의 스 퍼터링 압력에서 바이아스를 가할 경우 보자력은 이에 비례해서 오히려 증가하였다. 박막의 Ni 함량의 변화는 아르곤 압력이 증가함에 따라 점차적으로 감소하나 2~10mTorr 범위에서는 다시 증가하는 경향을 보였다. 내부응력은 아르곤 압력이 증가함에 따라 압축응력에서 인장응력으로 변하였으며 5mTorr에서 내 부응력이 거의 사라졌다.

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Comparison of Soft Magnetic Properties of Permalloy and Conetic Thin Films (퍼멀로이와 코네틱 박막의 연자성 특성 비교)

  • Choi, Jong-Gu;Hwang, Do-Guwn;Lee, Sang-Suk;Rhee, Jang-Roh
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.19 no.4
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    • pp.142-146
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    • 2009
  • The soft magnetic property for the Corning glass/Ta(5 nm)/[Conetic, Permalloy)/Ta(3 nm) prepared by the ion beam deposition sputtering was investigated. The coercivity and saturation magnetic field of conetic (NiFeCuMo) and permalloy (NiFe) layer with easy and hard direction along to the applying magnetic field during deposition was compared with each other. The surface resistance of conetic film with a thickness of 10 nm was 2 times lower than one of permalloy film. The coercivity and the magnetic susceptibility of conetic film decreased and increased 3 times to one of permalloy film, respectively. These results suggest that a highly sensitive GMR-SV or MTJ using conetic film can be possible to develop the bio-device.

Microstructure and Magnetic Properties of Electroplated Ni-Fe Permalloy Thin Films by Saccharin Concentration in Electrolytes (전해액 내 사카린의 농도 변화에 의한 전기도금 니켈-철 퍼멀로이 박막의 미세구조와 자기적 특성 변화)

  • Lee, Ho-Jun;Bang, Won-Bae;Hong, Ki-Min;Ko, Young-Dong;Chung, Jin-Seok;Lee, Hee-Bok
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.19 no.4
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    • pp.138-141
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    • 2009
  • We studied the effects of Saccharin on the properties of electroplated Ni-Fe Permalloy thin films. When 0 to 1 ${\mu}mol/L$ of Saccharin was added to the plating electrolyte, the grain sizes of the deposits are found to decrease, which reduces the surface roughness and the coercivity and increases the permeability and magnetoimpedance. The reduction in the grain sizes is strongly correlated with increases in the incremental permeability and the magnetoimpedance. We demonstrated that Saccharine is a useful additive for the electrodeposition of soft Permalloy thin films and that the softness can be adjusted by varying the concentration of Saccharin.

해외논문초록소개

  • 대한전기학회
    • 전기의세계
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    • v.27 no.2
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    • pp.32-33
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    • 1978
  • 1.반도체표면에서 금속피막의 광투과율 2.퍼멀로이박막의 전류센서

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A Study on the Magnetic Properties of Permalloy Thin Films (퍼멀로이 박막의 자기적 특성에 관한 연구)

  • 오세빈;김은구;김진영
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.2 no.4
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    • pp.455-461
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    • 1993
  • Glass와 실리콘 웨이퍼(p-type(100), $ ho$=6~8$\Omega$-cm)를 기판으로 하여 NiFe/glass , NiFe/Si, NiFe/Al/Si, NiFe/Ti/Si 의 박막을 제작하였다. 하지층으로 사용한 알루미늄과 티타늄은 RF 스퍼터링으로 증착하였으며 퍼럼로이(NiFe) 필름은 60, 80, 90wt%Ni로 조성을 변화시켜 증착하였다. 박막의 포화자화(Ms), 보자력(Hc), 각형비(F)는 sweep time을 1.7분으로 하여 시료 토크마그네토 메터로 측정하였다. 보자력에 영향을 주는 표면조도는 전자주사현미경(SEM)과 표면조도 측정기로써 알아보았다. 실험결과 80wt% Ni 의 퍼멀로이에서 자장 중 열처리(35 Oe,$ 350^{\circ}C$) 후 약 1의 각형비를 나타내었으며 열처리 후 보자력이 떨어짐을 보였다. 자기이방성은 알루미늄을 하지층으로 한 퍼멀로이 박막에서 가장 좋은 값(Ku=-9.60 $\times$106 emu/㎤)을 나타내었다.

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Hemming Process Design of the Permalloy Shielding Can for the Stiffness and Shape Accuracy (퍼멀로이 실딩캔의 강성증대 및 형상 정밀도를 위한 최적 헤밍 공정설계)

  • Lee, Sun-Bong;Kim, Dong-Hwan;Kim, Byung-Min
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.19 no.5
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    • pp.29-35
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    • 2002
  • This study shows the process design and forming analysis of permalloy shielding can that support the automobile multi-display parts to indicate the accurate information of car. This study is particularly important, since the accuracy of permalloy shielding can is known to affect the magnetic properties such as coercivity and permeability quite sensitively. The objective functions are defects such as hemming wind, hemming length, hemming wrap and tightness in prehemming process. The pre-hemming angle is considered as design parameter. The commercial finite element program PAM-STAMP™ was used to simulate the pre-hemming and hemming process. The ANN (Artificial Neural Network) has been implemented for minimizing of objective function and for investigating effect of punch angle relevant to the pre-hemming process. The results of analysis to validate the proposed design method are presented.

Hemming Process Design of the Permalloy Shielding Can for the Stiffness (퍼멀로이 실딩캔의 강성증대를 위한 헤밍공정 설계)

  • 조형근;김동환;이선봉;김병민
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.628-632
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    • 2000
  • In the recent day, shielding can was made of permalloy materials for automobile display instrument. The good roundness has an effect on magnetic property such as the low coercivity and the high permeability. But the products having the roundness is transformed by the heat treatment, the sending to the company and the assembly process. So for the stiffness of the edge, it is necessary for hemming process to be added in the deep drawing process. And it has the good appearance to create a smooth edge rather than a razor edge with urr. In this paper, it is controlled to get the best hemming product by the Pre-hemming angle($105^{\circ}$, $120^{\circ}$, $135^{\circ}$). And Possible process and tool design modification, which may lead to quality improvement in hemming were tested experimentally and using FEM. The commercial finite element program PAM-STAMPTM was used to simulate the pre-hemming process and hemming process, and the predictions were compared with experimental results according to the pre-hemming angle.

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