• 제목/요약/키워드: 패턴제작

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PS-b-PDMS와 Amorphous Carbon Layer를 이용하여 Aspect-ratio와 Line-edge 개선에 대한 연구

  • 오지수;성다인;오종식;염원균;염근영
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.142-142
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    • 2017
  • High Flory-Huggins interaction parameter (${\chi}$)를 가지는 polystyrene-block-dimethylsiloxane (PS-b-PDMS)는 초미세 패턴 제작과 우수한 defect density, 우수한 edge roughness 특성으로 향상된 패턴을 제공한다는 점에서 반도체 분야에서 많은 연구가 되고 있다. 하지만, PS와 PDMS 사이에 존재하는 큰 surface tension의 차이로 인해 PDMS는 PS와 air 사이에서 segregate되기 때문에 수직배향에 불리하여 high aspect ratio (HAR)을 가지는 cylinder, lamellar 패턴 제작에 있어 큰 어려움을 가진다. 본 연구에서는 이러한 문제를 해결하기 위해, PS-b-PDMS BCP 패턴과 하부 실리콘 기판 사이에 amorphous carbon layer (ACL)를 삽입하여 효과적으로 pattern transfer하는 공정을 연구하였다. 플라즈마를 이용하여 무한대에 가까운 etch selectivity를 가지는 식각 공정을 개발함으로써 낮은 aspect ratio를 가지는 PS-b-PDMS BCP 패턴의 한계점을 극복하였다. Large-x value를 가지는 BCPs를 이용하여도 매우 높은 aspect ratio를 가지면서 동시에 pattern quality를 향상시킬 수 있는 plasma process를 제시하였다.

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지체장애인의 의복구성을 위한 체형특성 연구 (A study on the figure of the handicapped for clothing construction)

  • 김선희;최혜선
    • 대한인간공학회:학술대회논문집
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    • 대한인간공학회 1993년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.146-154
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    • 1993
  • 의복은 인간 생활의 기본적인 의.식.주의 하나로서 인간의 신체적, 사회적, 심리적 욕구를 만족시키 는 필수적인 부분을 차지한다. 이러한 의복은 정상인이나 장애인 모두에게 중요한 것인데, 장애인의 의복은 장애부위 및 그 정도와 밀접하게 관련된 특수한 요구사항이 추가된다는 점이 달라, 표준화된 대량생산체제를 지니고 있는 현대의 의복생산에 비추어 볼 때, 장애인들의 특수한 요구를 충족시켜 주는 의복을 제공해 준다는 것은 매우 어려운 일임을 알 수 있다. 또한 우리의 현 실정을 살펴보면 장애인을 위한 기성복은 물론 맞춤복도 별로 없고, 기존의 논문들의 대부분이 몇몇 지체장애인에게 국한된 의복형태를 제시하고 있어서 많은 장애인들 에게 동시에 적용되는 패턴의 연구가 절실함을 알 수 있다. 게다가 이러한 패턴 연구에 기본이 되는 장애인의 체형특성 연구는 거의 찾아보기 힘듬을 알 수 있다. 따라서 본 연구의 목적은 이러한 장애인들에게 보편적으로 적용될 수 있는 패턴의 제작에 기본이 되는, 의복구성시에 필요한 칫수를 계측하고, 그것을 동일한 연령층의 일반인과 비교하여 어떠한 차이가 있는가를 구명함으로써 장애인에게 보다 신체적합성이 높은 의복 패턴제작에 도움을 주는데 있다.

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화행별 템플릿 기반 적응형 대화 에이전트의 점증적 지식 획득 (Incremental Knowledge Acquisition for Conversational Agent Using Dialogue Act Templates)

  • 홍진혁;조성배
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
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    • 한국정보과학회 2004년도 봄 학술발표논문집 Vol.31 No.1 (B)
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    • pp.544-546
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    • 2004
  • 최근 자연언어를 이용하여 정보를 제공하거나 업무를 수행하는 대화 에이전트가 활발히 연구되고 있다. 보다 다양한 사용자 질의를 분석하고 적절한 답변을 제공하기 위해서는 대규모의 답변 데이터베이스를 구축하여야 한다. 기존 답변 데이터베이스의 구축은 설계자가 수동으로 입력질의의 패턴을 분석하고 이에 대한 답변을 작성하여 패턴-답변쌍을 제작하여 이루어졌다. 따라서 패턴의 분석이 설계자에 의존적이어서 일반적이지 못하며 중복되거나 쓸모없는 패턴-답변쌍이 생성되기도 한다. 또한 초기에 구축된 답변 데이터베이스에 의해 성능이 제한되어 답변 성능의 향상을 위해서는 답변 데이터베이스를 수동으로 추가해야한다. 본 논문에서는 대화를 통해 필요한 정보론 수집하여 자동으로 괘턴-답변쌍을 생성하는 방법을 제안하다. 사용자 입력문장을 화행별로 구분하고 각 화행별 답변 템플릿을 이용하여 패턴-답변쌍을 완성한다. 기존의 수동제작 방식과 비교 실험을 통해 제안하는 방법이 지식구조 구축 속도나 사용자 평가 면에서 훨씬 우수함을 확인하였다.

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탄소분말이 함유된 마이크로 그리드패턴 전기용량형 압력센서 (Carbon Black Containing Micro-Grid Patterned Piezocapacitive Pressure Sensor)

  • 마성용;장승환
    • Composites Research
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    • 제32권5호
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    • pp.237-242
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    • 2019
  • 이 연구에서는 마이크로 그리드 패턴 표면을 갖는 탄소 분말이 첨가된 Poly-dimethylsiloxane (PDMS)를 사용하여 전기용량형 압력센서(Piezocapacitive Sensor)를 제작하였다. 탄소 분말과 그리드 패턴이 센서의 성능에 미치는 효과를 알아보기 위해 탄소 분말의 농도와 그리드 패턴의 밀도를 달리하여 여러 개의 센서를 제작하였다. 센서의 작동 범위와 민감도를 척도로 센서의 성능을 비교하였다.

3차원 시뮬레이션을 활용한 몸통 유형별 요실금 팬티 패턴 연구 (A Study on the Incontinence Panty Pattern by Torso Type Using 3D Simulation)

  • 차수정
    • 한국컴퓨터정보학회:학술대회논문집
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    • 한국컴퓨터정보학회 2022년도 제66차 하계학술대회논문집 30권2호
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    • pp.329-330
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    • 2022
  • 본 연구에서는 3차원 시뮬레이션 프로그램을 활용하여 40대, 50대, 60대 여성의 하반신 몸통 관련 부위 유형에 따라 요실금 팬티 패턴을 제작하여 하반신 몸통 유형별 요실금 팬티 패턴을 비교·분석하고자 하였다. 유형 1의 패턴은 가장 길이가 길고 폭은 두 번째로 넓은 형태를 나타냈고, 유형 2는 길이가 가장 짧고 좁은 형태를 나타냈다. 유형 3은 길이가 가장 짧고 폭은 가장 넓은 형태를 나타냈으며, 유형 4는 가장 폭이 좁고 길이가 두 번째로 긴 형태를 나타냈다. 가상착의에 대한 평가결과, 유형 2가 앞면, 옆면, 뒷면 모두에서 가장 우수한 것으로 평가되었다. 유형 3은 허리와 복부, 엉덩이와 넙다리둘레가 가장 크고, 하반신이 짧은 비만 체형으로 다른 체형과 같은 방식으로 패턴을 제작하였을 시 다리둘레와 엉덩이부위의 감싸는 분량이 부족한 것으로 평가되었다.

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이중화된 패턴을 참조하는 평면 변위 측정 방법 (Measuring Method of Planar Displacement Referring to The Double Linear Patterns)

  • 박성준;정광석
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제16권7호
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    • pp.4405-4410
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    • 2015
  • 두 개의 1차원 주기 패턴을 수직으로 중첩시켜 상하층 패턴으로부터 이축 변위 정보를 각각 디코딩할 수 있는 방법을 제안한다. 투명한 상층 패턴 판별은 굴절률차에 기인한 레이저 빔의 디플렉션 검출을 통해 이뤄지고 하층 패턴 판별은 수광 전압 차의 검출를 통해 이뤄진다. 빌드 업 필름 재질의 상층 패턴은 UV 레이저 가공에 의해 미세가공되고 그리고 알루미늄 하층 패턴은 초정밀 머시닝에 의한 트렌치 가공과 불투명 소재 증착 그리고 폴리싱 과정을 통해 제작된다. 10마이크로미터 간격으로 제작된 샘플 패턴과 이를 인코딩할 수 있는 전용 광학계에 의한 변위 측정 방법은 대면적 스테이지에 장착되어 레이저 간섭계를 이용한 측정데이터와 비교하여 검증된다.

Enhancement of Light Extraction Efficiency of OLED Using Si3N4 Nano Pattern on Glass Substrate

  • 박상준;조중연;김양두;유상우;허주혁;성영훈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.251.1-251.1
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    • 2014
  • Oraganic Light Emitting Diodes (OLED) 소자의 광추출 효율을 향상시키기 위한 방안으로 나노급 사이즈의 고 굴절률 패턴을 기판의 내부 패턴에 적용하였다. 100 nm 및 300 nm의 직경을 갖는 Si3N4 나노 패턴을 나노 임프린트 리소그래피와 건식 식각 공정을 통하여 OLED의 유리기판에 형성을 하였다. 그리고 Silicon On Glass (SOG) 물질을 패턴이 전사된 기판에 스핀 코팅으로 평탄화 공정을 진행 함으로써 OLED소자의 전기적인 특성이 떨어지는 문제점을 개선하였다. 그러고 나서 Si3N4 나노 패턴이 형성되고 평탄화 공정을 마친 기판상 OLED 소자를 제작하였다. OLED의 발광층에서 발생한 빛은 Si3N4 나노패턴에 의해 산란되어 광 추출 효율을 개선할 수 있다. 본 연구에서 두 가지 종류 100nm, 300nm 높이의 Si3N4 나노패턴으로 높이에 따른 광 추출 효율을 비교하고자 OLED 소자를 제작하였다. 기판에 Si3N4 패턴이 형성된 OLED의 효율은 Si3N4 300nm에서 13.1% 증가하였다.

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${\cdot}$병렬 회로의 백색 LED 조명램프 금속배선용 포토마스크 설계 및 제작

  • 송상옥;송민규;김태화;김영권;김근주
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
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    • pp.84-88
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    • 2005
  • 본 연구에서는 백색광원용 조명램프에 필요한 고밀도로 집적된 LED 어레이를 제작하기 위하여 반도체제조 공정에 필요한 포토마스크를 AutoCAD 상에서 설계하였으며 레이저 리소그래피 장비를 이용하여 포토마스크를 제작하였다. 웨이퍼상에 LED칩을 개별적으로 제작한 후 이들을 직렬 및 병렬로 금속배선하여 연결하였다. 특히 AutoCAD로 각 공정의 포토마스크 패턴을 설계 작업한 후 DWG 파일을 DXF 파일로 변환하여 레이저빔으로 스캔닝하였다. 이를 소다라임 유리판 위에 크롬을 증착한 후 각 패턴에 맞추어 식각 함으로써 포토마스크를 제작하였다. 또한 2인치 InGaN/GaN 다중 양자우물구조의 광소자용 에피박막이 증착된 사파이어 웨이퍼에 포토마스크를 활용하여 반도체 제조공정을 수행하였으며, 금속배선된 백색LED램프를 제작하였다.

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금 나노패턴을 이용한 서브파장구조를 가진 광대역 무반사 글래스의 제작 및 특성

  • 임정우;이수현;;김정태;정관수;유재수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.279.1-279.1
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    • 2014
  • 글래스(glass), 폴리머 또는 쿼츠와 같은 투명기판은 렌즈, 디스플레이, 광검출기, 광센서, 발광다이오드 및 태양전지와 같은 광 및 광전소자 분야에서 널리 사용되고 있다. 이러한 소자들의 경우, 광추출 또는 광흡수 효율을 향상시키는 것이 매우 중요하다. 그러나 투명기판의 경우, 약 1.5의 굴절율로 인해 표면에서 4% 반사가 발생되는데, 이러한 광학적 손실은 소자의 성능을 저하시키는 원인이 된다. 따라서, 글래스와 공기 경계면에서 발생되는 광손실을 줄이기 위한 효율적인 무반사 코팅이 필요하다. 최근, 우수한 내구성 뿐만 아니라, 광대역 파장 및 다방향성에서 무반사 특성을 보이는 서브파장 주기를 갖는 나노구조(subwavelength structures)의 형성 및 제작 공정에 관한 연구가 보고되고 있다. 이러한 나노구조는 경사 굴절율 분포를 가지는 유효 매질을 형성하기 때문에 투명기판 표면에서의 Fresnel 반사로 인한 광손실을 줄일 수 있다. 또한, 무반사 서브파장구조를 형성하기 위한 패터닝 방법으로, 간단/저렴하고 대면적 제작이 용이한 열적 응집 공정을 이용한 자가정렬된 금속 나노입자 형성 기술이 널리 사용되고 있다. 따라서 본 실험에서는 열적 응집현상에 의해 형성된 비주기적 금 나노입자 식각 마스크 패턴 및 유도결합 플라즈마 장비를 이용하여 글래스 기판 위에 무반사 서브파장 나노구조를 제작하였다. 금 나노패턴 및 제작된 글래스 서브파장 나노구조의 식각 프로파일은 주사전자현미경을 사용하여 관찰하였으며, UV-Vis-NIR 스펙트로미터를 사용하여 빛의 투과율을 측정하였다. 또한, 제작된 샘플들에 대해서, 표면 접촉각 측정 장비를 이용하여 표면 wettability를 조사하였다.

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