• Title/Summary/Keyword: 투과 전자 현미경

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Single Crystalline InxGa1-xAs Nanowires on Si (111) via VLS Method (VLS 방법을 이용한 단결정 InxGa1-xAs 나노와이어 성장과 조성비 변화에 대한 특성측정)

  • Shin, Hyun Wook;Shin, Jae Cheol;Choe, Jeong-Woo
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.22 no.2
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    • pp.105-110
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    • 2013
  • Single crystalline $In_xGa_{1-x}As$ nanowires are grown on Si (111) substrate via Vapor-Liquid-Solid growth mode using metal-organic chemical vapor deposition. The ternary nanowires have been grown with various growth conditions and examined by electron microscopy. The alloy compositions of the nanowires has been investigated using Energy-dispersive X-ray spectroscopy. We have found that the composition gradient of the nanowire becomes larger with growth temperature and V/III ratio.

다공성 ZnO 막의 황화과정을 통해 형성된 ZnS 막의 미세구조 연구

  • An, Heung-Bae;Lee, Jeong-Yong;Kim, Yeong-Heon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.326-326
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    • 2012
  • ZnS를 합성하는 방법 중 thioacetamide (TAA)를 녹인 물에 ZnO template를 넣어서 황화시키는 방법이 있다. 이 방법은 실험과정이 간편할 뿐만 아니라 그 반응양의 조절도 용이해 ZnS-ZnO core-shell 구조나 ZnS hollow 구조 등을 만드는데 널리 사용되고 있다. 그러나 다양한 형태의 ZnS 구조체 합성에 관한 연구는 활발한 반면, ZnS의 상형성 과정이나 구조 변화와 같은 ZnO의 황화 과정 기구에 관한 연구는 매우 미비한 실정이다. ZnS는 기본적으로 저온에서는 cubic sphalerite 구조를, 고온에서는 hexagonal wurtzite 구조를 안정상으로 가진다. 또한, 8H나 15R 등과 같은 다양한 polytype 구조도 존재한다. 그러나 다양한 구조에서 비슷한 면간거리가 존재하기 때문에 결정구조의 분석이 어려운 실정이다. 이러한 비슷한 면간거리를 가지는 ZnS 등의 결정구조 분석에 있어 원자배열을 직접적으로 관찰할 수 있는 투과전자현미경 (TEM, transmission electron microscopye)을 이용한 연구는 큰 강점을 가진다. 본 연구에서는 다공성 ZnO 막을 황화시켜 형성된 ZnS 막의 미세구조 특성을 분석하였다. 다공성 ZnO 막은 패턴된 Si (111) 기판 위에 스핀코팅법을 이용하여 4,000 rpm의 속도로 증착되었으며 ZnO 결정화를 위해 150 도와 500도에서 각각 drying과 후열처리를 수행하였다. 이렇게 만들어진 ZnO 막을 TAA를 녹인 물에 넣어 48 시간 동안 반응시켰고 최종적으로 ZnS 막을 생성하였다. 다공성 ZnS 막의 미세구조를 분석하기 위해 주사전자현미경 (SEM, scanning electron microscope), X-선 회절분석기 (XRD, x-ray diffractometer), 그리고 투과전자현미경을 이용하였으며, 정확한 결정구조 분석을 위하여 결정구조 시뮬레이션을 병행하였다.

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Damage of Minerals in the Preparation of Thin Slice Using Focused Ion Beam for Transmission Electron Microscopy (투과전자현미경분석용 박편 제작 시 집속이온빔에 의한 광물 손상)

  • Jeong, Gi Young
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.28 no.4
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    • pp.293-297
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    • 2015
  • Focused ion beam (FIB) technique is widely used in the precise preparation of thin slices for the transmission electron microscopic (TEM) observation of target area of the minerals and geological materials. However, structural damages and artifacts by the Ga ion beam as well as electron beam damage are major difficulties in the TEM analyses. TEM analyses of the mineral samples showed the amorphization of quartz and feldspar, curtain effect, and Ga contamination, particularly near the grain edges and relatively thin regions. Although the ion beam damage could be much reduced by the improved procedures including the adjustment of the acceleration voltage and current, the ion beam damage and contamination are likely inevitable, thus requiring careful interpretation of the micro-structural and micro-chemical features observed by TEM analyses.

Comparative Morphology of Pollen Grains from Some Korean Gymnosperms (한국산 나자식물 화분의 비교형태)

  • 고성철
    • Journal of Plant Biology
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    • v.37 no.2
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    • pp.203-221
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    • 1994
  • Pollen grains of 19 taxa belonging to 12 genera in 5.families of the Korean gymnosperms were investigated by LM, SEM and TEM, and their morphological characters were described and palynological keys were made for each family. From the taxonomic viewpoint, palynological characters are very available to intergeneric and intrageneric classifications since their distinctive differences in pollen shape, size, condition of surface, sculpture pattern and presence of air bladders and projection except for the intrageneric classification of the genus Pinus since the overlapped characters such as pollen size and sculpture pattern. Pollen grains of Picea koraiensis in the family Pinaceae are distinguished from thc genera Pinus and Abies for the reasons that shape of air bladders are irregular, air bladders are bigger than pollen body, and pollen wall is thin. Compared with the genera Abies and Pinus that have air bladders, Picea koraiensis is closely related to Abies in that pollen body wall become gradually thin from pole of proximal face to air bladder, surface of pollen body is not rough, and pollen size is similar to that of the genus Abies. The presence of ektexine and enexine in proximal face, and the connections of the former to air bladder wall and the latter to distal face were elucidated by the investigation of pollen grains with air bladders through TEM. Endexine of the families of Taxaceae, Taxodiaceae and Cupressaceae was also obse-rved as a pile of laminae. From the observation by SEM, sculpture pattern of air bladder was foveolate with fine pits on surface. Sculpture pattern of air bladder is reticulate under LM, but observed by TEM, it resulted from the transmission of netted structure in air bladder.

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Micro structural Characterization of $\textrm{Zn}_{1-x}\textrm{Co}_{x}\textrm{Se}$ Epilayers and (ZnSe/FeSe) Superlattice by Transmission Electron Microscopy (투과전자현미경에 의한 $\textrm{Zn}_{1-x}\textrm{Co}_{x}\textrm{Se}$박막 및 (ZnSe/FeSe) 초격자 박막의 미세구조 분석)

  • Park, Gyeong-Sun
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.7 no.10
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    • pp.914-918
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    • 1997
  • MBS에 의해(001)GaAs기판 위에 성장된 Zn$_{1-x}$Co$_{x}$Se(x=1.0, 7.4, 9.5 %)반도체 박막과 (ZnSe/FeSe)반도체 초격자 박막의 미세구조를 투과전자현미경을 이용하여 연구하였다. Zn$_{1-x}$Co$_{x}$Se 박막 시편의 경우, 박막과 기판 사이의 격자 불일치때문에 a/2<110>형태의 버거즈 벡터를 가지는 부정합 전위를 관찰하였다. 모든 Zn$_{1-x}$Co$_{x}$Se 박막과 기판의 계면은 뚜렷이 구별되었고, 계면에서 산화물이나 이물질이 존재하지 않았다. 또한, (ZnSe/FeSe)초격자를 성장시키기 전에 GaAs기판 위에 ZnSe바닥층을 넣음으로써 고품질의 (ZnSe/FeSe)초격자를 얻었다. (ZnSe/FeSe)초격자에 있는 FeSe는 섬아연광 결정구조로 존재하였다.

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High Voltage Electron Microscopy DataBase System Using Data Grid (데이터 그리드를 이용한 초고전압 투과전자현미경 데이터베이스 시스템)

  • Ahn Young-Heon;Kweon Hee-Seok;Kim Youn-Joong
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2005.07a
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    • pp.583-585
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    • 2005
  • 바이오 및 재료 분야 등 NT(Nano Technology), BT(Bio Technology)에 관련된 연구를 보다 더 수월하게 하기 위해 본원에 설치되어 있는 초고전압 투과전자현미경(High Voltage Electron Microscopy - 이하 HVEM)을 이용한다. HVEM을 통해 획득한 이미지의 정보는 매우 방대하여 하나의 시료를 관찰하는데 있어서 수백 메가 이상의 용량을 차지하고, 연구를 수행하는데 있어서 데이터를 여러 형태로 관찰 분석하기 때문에 수월한 지원을 위해 체계적으로 관리할 수 있는 데이터베이스 시스템이 필요하다. 그러나 일반적인 범용 데이터베이스로는 이러한 대규모의 데이터를 저장할 수 없다. 따라서 본 논문에서는 이러한 용량 데이터를 체계적으로 관리할 수 있도록, 데이터 그리드와 연구 데이터의 정보를 갖는 metadata 테이블을 통해 서로 먼 거리에 있는 연구원들이 데이터를 접근하고 대규모 저장 공간을 갖는 데이터베이스 시스템을 제안한다.

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Study on Structural Properties of Zn-Mg Thin Film Formed on Plasma Treated Cold Rolled Steel Using Transmission Electron Microscopy (투과전자현미경을 이용한 플라즈마 표면 처리된 냉연 강판에 증착된 Zn-Mg 박막의 구조적 특성 연구)

  • Choe, Cheol-Jong;Lee, Won-Gi;Kim, Jong-Hui
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.271-272
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    • 2012
  • Ar 이온빔을 이용한 플라즈마 표면 처리 공정이 냉연 강판 위에 증착된 Zn-Mg 코팅 박막의 구조적 특성에 미치는 영향을 규명하기 위해 투과전자현미경(TEM, Transmission Electron Microscopy)을 이용한 미세 나노 계면 분석을 수행하였다. 냉연 강판위에 형성된 자연 산화막이 Ar 플라즈마 표면 처리에 의해서 효과적으로 제거 되는 현상을 관찰 하였다. Ar 플라즈마 표면 처리 횟수가 증가됨에 따라, Zn-Mg 박막의 입계 크기가 증가하며, 이는 플라즈마 전처리 공정으로 냉연 강판 표면이 활성화가 촉진되어 Zn-Mg 박막의 결정 성장이 원활히 이루어졌기 때문으로 판단된다.

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Theory of High Resolution TEM Image Formation: Coherence (1) (TEM 관련 이론해설 (6): 투과전자현미경의 고분해능 영상이론: 결맞음 (1))

  • Lee, Hwack-Joo
    • Applied Microscopy
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    • v.35 no.3
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    • pp.105-112
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    • 2005
  • In this review, the important ideas of coherence theory are introduced. The transfer function and damping envelopes of the microscope due to temporal and spatial coherence are described. The passbands and the condition of Scherzer focus are also disscussed in associated with the resolution of transmission electron microscope.