• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.203-203
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• 2010

본 연구에서는 RF magnetron sputtering을 이용하여 공정압력에 따라 증착된 ITO 박막의 투명 전극 특성을 연구하였다. ITO 박막은 $In_2O_3$ : $SnO_2$ 비율이 9:1로 소결된 3in 직경의 타겟을 사용하여 corning 1737을 유리기판 위에 증착하였다. 증착조건으로 초기압력은 $1.7{\times}10^{-6}torr$로, 가스 유량은 Ar 50 sccm으로, RF power는 25W로 각각 고정하였으며, 증착 공정압력을 $2.0{\times}10^{-2}$, $7.0{\times}10^{-3}$, $2.0{\times}10^{-3}torr$로 변화하면서 200nm 두께의 ITO 박막시편을 제작하였다. 제작된 시편의 AFM 분석결과 박막의 거칠기는 0.33nm 이었으며, 광투과도 및 비저항은 공정압력이 낮은 경우 상대적으로 양호한 결과를 보였다. 높은 공정압력에서 광투과도는 60% 정도로 나타났으나, 낮은 공정압력에서 RF power를 증가시킴에 따라 가시광선의 광투과도는 85% 이상으로, Hall측정을 통한 Mobility는 $37.6\;cm^2V^{-1}s^{-1}$로 각각 증가하였으며, 비저항은 $0.346{\times}10^{-3}{\Omega}cm$이었으며, 이동도는 $4.788{\times}10^{20}cm^{-3}$로써 양호한 투명전극 특성을 보였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.201.2-201.2
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• 2013

원자층 증착법(ALD)을 통해 최적의 Al doped ZnO (AZO)박막을 얻기 위해 기판온도와 Al도핑농도 등의 공정변수를 조절하여 최적의 성막 조건 연구특성을 분석하였다. 증착당시 Zn와 Al의 precursors는 diethylzinc(DEZ), trimethylaluminum(TMA)을 각각 사용하였으며, reactants로는 Deionized water를 사용하였다. DEZ와 TMA의 증착비율을 통하여 1%에서 12%까지 Al의 도핑농도를 조절하였다. 이후 Hall effect measurement를 이용하여 기판온도와 Al도핑농도에 따른 AZO박막의 운반자 농도, 이동도, 저항을 분석했고, X-ray diffraction을 통하여 물리적 구조의 변화를 관측했다. 공정 최적화를 통하여 Al도핑농도의 변화가 AZO박막의 전기적 특성에 미치는 영향을 해석하였다. 또한, 공정의 최적화 이후 AZO박막을 나노 구조체 석영(quartz)기판위에 250도의 온도에서 Al ~3%의 농도로 10nm부터 150nm까지의 두께로 증착하였다. SEM 분석을 통해 나노 구조체 기판에 균일한 AZO 박막이 형성되었는지 확인하였고, AZO박막의 두께에 따른 전기적 특성 및 광 투과도를 측정한 결과 나노구조체 석영 기판위에 증착된 AZO박막은 가시광선 영역에서 80%이상의 광 투과도를 보였으며 ${\sim}10^{-3}{\Omega}cm$의 저항을 보였다.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• v.35 no.5
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• pp.368-373
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• 2010

Objectives: This study investigated the effect of infection control barrier thickness on power density, wavelength, and light diffusion of light curing units. Materials and Methods: Infection control barrier (Cleanwrap) in one-fold, two-fold, four-fold, and eightfold, and a halogen light curing unit (Optilux 360) and a light emitting diode (LED) light curing unit (Elipar FreeLight 2) were used in this study. Power density of light curing units with infection control barriers covering the fiberoptic bundle was measured with a hand held dental radiometer (Cure Rite). Wavelength of light curing units fixed on a custom made optical breadboard was measured with a portable spectroradiometer (CS-1000). Light diffusion of light curing units was photographed with DSLR (Nikon D70s) as above. Results: Power density decreased significantly as the layer thickness of the infection control barrier increased, except the one-fold and two-fold in halogen light curing unit. Especially, when the barrier was four-fold and more in the halogen light curing unit, the decrease of power density was more prominent. The wavelength of light curing units was not affected by the barriers and almost no change was detected in the peak wavelength. Light diffusion of LED light curing unit was not affected by barriers, however, halogen light curing unit showed decrease in light diffusion angle when the barrier was four-fold and statistically different decrease when the barrier was eight-fold (p < 0.05). Conclusions: It could be assumed that the infection control barriers should be used as two-fold rather than one-fold to prevent tearing of the barriers and subsequent cross contamination between the patients.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.15 no.1
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• pp.79-85
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• 2004

We report on a transmittance controlled photomask with phase patterns on the back quartz surface. Theoretical analysis for changes in illumination pupil shape with respect to the variation of size and density of backside phase patterns and experimental results for improvement of critical dimension uniformity on a wafer by using the transmittance controlled photomask are presented. As phase patterns for controlling transmittance of the photomask we used etched contact-hole type patterns with 180" rotative phase with respect to the unetched region. It is shown that pattern size on the backside of the photomask must be made as small as possible in order to keep the illumination pupil shape as close as possible to the original pupil shape and to achieve as large an illumination intensity drop as possible at a same pattern density. The distribution of illumination intensity drop suitable for correcting critical dimension error was realized by controlling pattern density of the contact-hole type phase patterns. We applied this transmittance controlled photomask to a critical layer of DRAM (Dynamic Random Access Memory) having a 140nm design rule and could achieve improvement of the critical dimension uniformity value from 24.0 nm to 10.7 nm in 3$\sigma$.TEX>.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.169-169
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• 2012

현재 디스플레이 시장은 LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel) 등과 같이 평판 디스플레이가 주류를 이루고 있으며 현재에는 기존의 디스플레이와는 달리 잘 휘어지고 높은 투과성을 가지는 플렉시블 디스플레이에 대한 연구가 활발히 진행 중이다. 하지만 이러한 플렉시블 디스플레이에 사용되는 플라스틱 기판의 경우 용제에 대한 화학적 저항성 및 기계적인 안정성이 취약한 점과 대기중의 수분이나 산소가 플라스틱 기판을 통하여 소자내로 침투하게 되어 금속전극을 산화시키거나 기포 또는 흑점 등과 같은 비 발광 영역이 확산되어 소자의 수명을 단축시키는 치명적인 단점을 가진다. 이에 본 실험에서는 고밀도 플라즈마 형성이 가능하고 저온공정이 가능한 FTS (Facing Target Sputtering) 장비를 이용하여 Polyethylene terephthalate (PET) 기판위에 낮은 수분 투과율 또는 산소 투과율을 갖는 양질의 무기 산화막을 적층하기 위해 저 투습도 및 기계적인 경도 향상을 위한 비 반응성 박막으로 $Al_20_3$층을 Ar분위기에서 증착하였고 그 위에 박막의 stress 감소, 유연성 향상을 위한 반응성 박막으로 Al을 Ar과 $O_2$를 비율별로 증착하여 비교 실험하였다. 이와 같이 제작된 무기산화막들을 Uv- spectrophotometer를 이용하여 광학적 특성을 조사한 결과 가시광 영역에서 모두 80% 이상의 높은 투과율을 나타내었으며, 그 외 XRD (X-ray Diffraction)를 사용하여 결정성을 확인, SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope)을 이용하여 박막의 구조와 표면향상 및 표면조도를 측정한 결과 모든 박막에서 밀집도가 좋으며 거칠기가 작은 것으로 확인되었다. 마지막으로 수분 투과율(WVTR)을 알아보기 위해 Mocon (Permatran W3/31)장비를 이용하여 측정한 결과 $1.0{\sim}3.0{\times}10^{-3}g/m{\cdot}day$의 낮은 수분 투과율을 볼 수 있었다. 이러한 측정 결과로 볼 때 향후 FTS 장비를 이용하여 양질의 플라즈마를 형성하여 알루미늄 무기산화막을 이용한 고밀도 다층막을 형성하면 더욱 낮은 수분투과율을 갖는 가스차단막을 제작할 수 있을 것으로 보여지며 반도체 소자 및 디바이스의 Pachaging으로도 사용가능 할 것이라 사료된다. 본 연구는 한국산업기술진흥원에서 지원하는 2011년도 지역산업기술개발사업의 연구수행으로 인한 결과물임을 밝힙니다.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• v.32 no.5
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• pp.426-436
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• 2007

The objective of this study is to evaluate the effect of an additional application of bonding resin on the bond strength of resin luting cements in both the light-cure (LC) and self-cure (SC) modes by means of the ${\mu}TBS$ tests. Three combinations of One-Step Plus with Choice, Single Bond with Rely X ARC, and One-Up Bond F with Bistite II were used. D/E resin and Pre-Bond resin were used for the additional application. Twelve experimental groups were made. Three mandibular $3^{rd}$ molars were used in each group. Indirect composite blocks were cemented on the tooth surface. $1\;{\times}\;1\;mm^2$ dentin-composite beam for ${\mu}TBS$ testing were made and tested. When total-etching dentin adhesives were used, an additional application of the bonding resin increased the bond strength (P < 0.05). However, this additional application didn't influence the bond strength of self-etching dentin adhesives (P > 0.05). In conclusion, the results suggest that an additional application of the bonding resin increases bond strength and enhances quality of bonding when using total-etching dentin adhesives.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.23 no.3
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• pp.124-127
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• 2012

We designed and fabricated dichroic filters for high-power fiber lasers to protect the pumping laser diode from counterpropagating laser beams. The transmittance at laser diode wavelengths of 905 nm~925 nm was designed to be less than 0.1% and the transmittance at the fiber laser or Brillouin scattering wavelengths of 1020 nm ~ 1100 nm was designed to be more than 99.9%. Since oxide materials have good adhesion to the $SiO_2$ substrate, $SiO_2/Ta_2O_5$ were used as coating materials. The filter was fabricated according to our optimized design and its characteristics were compared with the theoretical design. As a result, the transmittance at laser diode wavelengths of 905 nm~925 nm was measured to be less than 0.1%, and the transmittance at the fiber laser or Brillouin scattering wavelengths of 1020 nm~1100 nm was measured to be more than 95.5%, which coincided well with the theoretical design considering processing errors. The filter was found to operate well over 1W of input laser power.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.15 no.1
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• pp.220-226
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• 2011

Device of the ECG and pulse signal was made to measure PTT signal using non-invasive method and possible to wearable. PTT alterations were observed according to position change using implemented system.It was needed to ECG and pulse to detect the PTT, used the photoplethymorgraphy appeared to change the blood volume. And also wireless sensor node which was able to Zigbee compatibility was used to transfer the detected ECG and pulse signal to PC. Noise was removed from transit data and algorithm was applied to calculate the PTT. After the evaluation of both the conventional measuring systems and the proposed photoplethymography measuring system, a highly effective and efficient formation and distribution sequences were found within the proposed photoplethymography measuring system.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.30 no.6
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• pp.694-697
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• 2019

In recent years, titanium dioxide powders were produced as nanoparticles or nanowires or nanotubes in one-dimensional structure, and mesoporous spheres in 3-D to improve their crystallinities, which were further used as photo-electrode materials and for preventing photo-aging. In this study, a nano sol composed of titanium dioxide exhibiting a high crystallinity was synthesized using n-alcohol as a solvent. The crystallinity of the nano sol was confirmed by FE-SEM, and XRD, while the UV blocking rate confirmed by UV-Vis spectrometry results. Changes in the crystallinity were investigated by varying the types of solvents such as butanol, propanol and ethanol. The synthesized particle sizes were from 200 to 250 nm, and the optical transmittance showed a high blocking rate in the UVB and UVA range. It is expected that a high transmittance at 550 nm wavelength can increase the photoelectric conversion efficiency of solar cells and the UV blocking efficiency.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.177-177
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• 2010

고효율 비정질 실리콘 박막 태양전지 제작을 위해서는 광파장대에서 optical confinement 능력을 최대화할 수 있는 기술이 필수적이다. 효율적인 photon trapping을 위해서는 back reflector를 사용하거나 전면전극인 투명전도성막의 표면에 요철을 형성하여 포획된 태양광의 내부 반사를 증가시키거나 전면 투명전극에서 반사를 감소시켜 태양광의 travel length를 증가시키는 방법이 일반적이며, 이를 통해 흡수층의 효율을 최대화할 수 있다. 이 중 전면전극으로 사용되는 투명전도성막은 불소가 도핑된 tin-oxide가 주로 사용되었으나, 최근 들어 Al이 도핑된 산화아연막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지 개발에 대한 연구도 활발히 진행되고 있다. 투명전극 증착후 표면의 유효면적을 증가시키기 위해 염산 용액을 이용하여 표면 텍스쳐링을 수행한다. 그후 흡수층인 p-i-n 층을 플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 형성하는 것이 일반적이다. 이때 표면처리 된 투명전극은 수소플라즈마에 대해 특성이 변하지 않아야 고효율 비정질 실리콘 박막 태양전지 제조에 적용될 수 있다. 본 연구에서는 표면처리 된 AZO 투명전극의 수소플라즈마에 의한 특성 변화에 대해 고찰하였다. 먼저 AZO 투명전극은 스퍼터링 공정을 적용하여 $1\;{\mu}m$두께로 증착하였고, 0.5 wt%의 HCl 용액을 이용하여 습식 식각을 수행하였다. 수소플라즈마 처리 조건은 $H_2$ flow rate 30 sccm, working pressure 20 mtorr, RF power 300 W, Temp $60^{\circ}C$ 이며 3분간 진행하였다. 표면형상은 수소플라즈마 전 후에는 큰 차이를 보이지 않았으며 AZO의 grain size는 각각 220 nm, 210 nm로 관찰되었다. 투명전극의 가장 중요한 특성인 가시광선 영역에서의 투과도는 수소플라즈마 처리전에는 90 % 이상의 투과도를 보였으나, 수소플라즈마 처리 후에는 85 %로 약간 저하된 특성을 보였다. 그러나 이는 박막 태양전지용 전면전극으로 사용하기 위한 투과도인 80 % 이상을 만족하는 결과로, 비정질 박막 실리콘 태양전지 제작에 사용될 수 있다. 또 하나의 중요한 특성인 Haze factor 역시 수소플라즈마 처리 전 후 모두 10 이상의 값을 나타냈다. 하지만 고효율 실리콘 박막 태양전지에 적용하기 위해서는 Haze factor를 증가시키는 공정 개발에 대한 추가 연구가 필요하다.