• 제목/요약/키워드: 타격 속도

검색결과 87건 처리시간 0.032초

반도체 MEMS 공정에 적용하기 위한 micro blaster 식각 특성

  • 김동현;강태욱;김상원;공대영;서창택;김봉환;조찬섭;이종현
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
    • /
    • pp.245-245
    • /
    • 2010
  • 최근에 반도체 소자 및 마이크로머신, 바이오센서 등에 사용되는 미세 부품에 대한 연구 개발이 활발히 진행되고 있다. 미세 부품을 제작하기 위한 MEMS 공정은 대표적으로 화학용액을 이용한 습식식각, 플라즈마를 이용한 건식식각 등이 주를 이룬다. Micro blaster는 경도가 강하고 화학적 내성을 가지며 용융점이 높아 반도체 MEMS 공정에 어려움이 있는 기판을 다양한 형태로 식각 할 수 있는 기계적인 식각 공정 기술이라 할 수 있다. Micro blaster의 식각 공정은 고속의 날카로운 입자가 공작물을 타격할 때 입자의 아래에는 고압축응력이 발생하게 되고, 이 고압축 응력에 의하여 소성변형과 탄성변형이 발생된다. 이러한 변형이 발전되어 재료의 파괴 초기값보다 크게 되면 크랙이 발생되고, 점점 더 발전하게 되면 재료의 제거가 일어나는 단계로 이루어진다. 본 연구에서는 micro blaster 장비를 반도체 MEMS 공정에 적용하기 위한 식각 특성에 관하여 확인하였다. Micro blaster 장비와 식각에 사용한 파우더는 COMCO INC. 제품을 사용하였다. Micro blaster를 $Al_2O_3$ 파우더의 입자 크기, 분사 압력, 기판의 종류, 노즐과 기판과의 간격, 반복 횟수, 노즐 이동 속도 등의 공정 조건에 따른 식각 특성에 관하여 분석하였다. 특히 실제 반도체 MEMS 공정에 적용 가능한지 여부를 확인하기 위하여 바이오 PCR-chip을 제작하였다. 먼저 glass 기판과 Si wafer 기판에서의 식각률을 비교 분석하였고, 이 식각률을 바탕으로 바이오 PCR-chip에 사용하게 될 미세 홀과 미세 채널, 그리고 미세 챔버를 형성 하였다. 패턴을 형성하기 위하여 TOK Ordyl 사의 DFR(dry film photoresist:BF-410)을 passivation 막으로 사용하였다. Micro blaster에 사용되는 파우더의 직경이 수${\mu}m$ 이상이기 때문에 $10\;{\mu}m$ 이하의 미세 채널과 미세홀을 형성하기 어려웠지만 현재 반도체 MEMS 공정 기술로 제작 연구되어지고 있는 바이오 PCR-chip을 직접 제작하여 micro blaster를 이용한 반도체 MEMS 공정 기술에 적용 가능함을 확인하였다.

  • PDF

Study of multi-stacked InAs quantum dot infrared photodetector grown by metal organic chemical vapor deposition

  • 김정섭;하승규;양창재;이재열;박세훈;최원준;윤의준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
    • /
    • pp.129-129
    • /
    • 2010
  • 적외선 검출소자(Infrared Photodetector)는 근적외선에서 원적외선 영역에 이르는 광범위한 파장 범위의 적외선을 이용하는 기기로서 대상물이 방사하는 적외선 영역의 에너지를 흡수하여 이를 영상화할 수 있는 장비이다. 적외선 관련 기술은 2차 세계대전 기간에 태동하였으며, 현재에는 원거리 감지기술 등과 접목되면서 그 활용 분야가 다양해지고 있다. 특히 능동형 정밀 타격무기를 비롯한 감시 정찰 장비 및 지능형 전투 장비 시스템 등에 대한 요구를 바탕으로 보다 정밀하고 신속한 표적 감지 및 정보처리 기술에 관한 연구가 선진국을 통해서 활발히 진행되고 있다. 기존의 Bolometer 형식의 열 감지 소자는 반응 속도가 느리고 측정 감도가 낮은 단점이 있으며, MCT(HgCdTe)를 이용한 적외선 검출기의 경우 높은 기계적 결함과 77K 저온에서 동작해야하기 때문에 발생하는 추가 비용 등이 문제점으로 지적되고 있다[1]. 이에 반해 화합물 반도체 자기조립 양자점(self-assembled quantum dot)을 이용한 적외선 수광소자는 양자점이 가지는 불연속적인 내부 에너지 준위로 인하여, 높은 내부 양자 효율과 온도 안정성을 기대할 수 있으며, 고성능, 고속처리, 저소비전력 및 저소음의 실현이 가능하다. 본 연구에서는 적층 InAs/InGaAs dot-in-a-well 구조를 유기금속화학기상증착법을 이용하여 성장하고 이를 소자에 응용하였다. 균일한 적층 양자점의 성장을 위해서 원자현미경(atomic force microscopy)을 이용하여, 각 층의 양자점의 크기와 밀도를 관찰하였고, photoluminescence (PL)를 이용하여 발광특성을 연구하였다. 각 층간의 GaAs space layer의 두께와 온도 조절 과정을 조절함으로써 균일한 적층 양자점 구조를 얻을 수 있었다. 이를 이용하여 양자점의 전도대 내부의 에너지 준위간 천이(intersubband transition)를 이용하는 n-type GaAs/intrinsic InAs 양자점/n-type GaAs 구조의 양자점 적외선수광소자 구조를 성장하였다. 이 과정에서 상부 n-type GaAs의 성장 온도가 600도 이상이 되는 경우 발광효율이 급격히 감소하고, 암전류가 크게 증가하는 것을 관찰하였다. 이는 InAs 양자점과 주변 GaAs 간의 열에 의한 상호 확산에 의하여 양자점의 전자 구속 효과를 저해하는 것으로 설명된다.

  • PDF

AG(Anti-glare)를 이용한 태양전지 특성 분석

  • 정상훈;조영우;이윤호;공대영;서창택;조찬섭;이종현
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
    • /
    • pp.286-286
    • /
    • 2010
  • 최근에 환경 오염과 화석 에너지의 고갈 문제를 해결하기 위하여 태양광을 전기 에너지로 변환하는 태양전지 연구에서 가장 이슈가 되는 부분은 저가격화와 고효율이다. 상용화 되어 있는 대부분의 태양전지는 단결정 실리콘 웨이퍼와 다결정 실리콘 웨이퍼를 사용한다. 실리콘 웨이퍼의 원자재 가격을 낮추는 방법에는 한계가 있기 때문에 태양전지 제작 공정에서 공정 단가를 낮추는 방법이 많이 연구되고 있고, 실리콘 웨이퍼가 가지는 재료의 특성상 화합물을 이용한 태양전지 보다 낮은 효율을 가질 수밖에 없기 때문에 반도체 소자 공정을 응용하여 실리콘 웨이퍼 기판에서 고효율을 얻는 방법으로 연구가 진행 되고 있다. 본 연구에서는 마이크로 블라스터를 이용하여 태양전지 cell 상부에 AG(anti-glare)를 가지는 유리 기판을 형성하여 낮은 단가로 태양전지 cell의 효율을 향상시키기 위한 연구를 진행 하였다. 태양전지 cell 상부에 AG를 가지는 유리 기판을 형성하게 되면 태양의 위도가 낮아 표면에서 대부분 반사되는 태양광을 태양전지 cell에서 광기전력효과가 일어나게 하여 효율을 향상시킨다. 이때 사용한 micro blaster 공정은 고속의 입자가 재료를 타격할 때 입자의 아래에는 고압축응력이 발생하게 되고, 이 고압 축응력에 의하여 소성변형과 탄성변형이 발생된다. 이러한 변형이 발전되어 재료의 파괴 초기값보다 크게 되면 크랙이 발생되고, 점점 더 발전하게 되면 재료의 제거가 일어나는 단계로 이루어지는 기계적 건식 식각 공정 기술이라 할 수 있다. 먼저 유리 기판에 마이크로 블라스터 장비를 이용하여 AG를 형성한다. AG는 $Al_2O_3$ 파우더의 입자 크기, 분사 압력, 노즐과 기판과의 간격, 반복 횟수, 노즐 이동 속도 등의 공정 조건에 따른 유리 기판 표면에서의 광학적 특성 및 구조적 특성에 관하여 분석하였다. 일반적인 태양전지 cell 제작 공정에 따라 cell을 제작 한후 AG 유리 기판을 상부에 형성시키고 솔라시뮬레이터를 이용하여 효율을 측정하였다. 이때 솔라시뮬레이터의 광원이 고정되어 있기 때문에 태양전지 cell에 기울기를 주어 태양의 위도 변화에 대해 간접적으로 측정하였다. AG 유리 기판이 태양전지 cell 상부에 형성 되었을 때와 없을 때를 각각 비교하여 AG 유리 기판이 형성된 태양전지 cell에서의 효율 향상을 확인하였다.

  • PDF

건설경기 침체기의 최저가 낙찰제 건설현장의 운영 실태분석과 개선 방안 도출 (Evaluation on the impact of Lowest Bid Contracts on Site Operations in times of Severe Economic Downturn)

  • 구본상;장현승
    • 한국건설관리학회논문집
    • /
    • 제10권6호
    • /
    • pp.146-153
    • /
    • 2009
  • 2008년에는 국내 부동산 경기 침체로 인해 국내 건설 경기가 급속도로 악화되었으며, 국제 유가인상과 함께 철근, 레미콘 등 건설 주요 자재의 가격이 폭등하였다. 또한 새로 출범한 정부는 '예산 10% 절감' 방안을 내세우며 그 일환으로 최저가 낙찰제 공사를 기존 300억원에서 100억원으로 확대 시행할 것으로 발표하였다. 이처럼 정책적 경제적 악재가 겹치면 가장 큰 타격을 받는 것은 대부분 수익성 없이 저가로 수주한 최저가 낙찰제 현장이다. 평상시에도 적자로 운영되는 현장에서 이런 대외적 타격을 받을 경우, 기존에 안고 있던 문제점들이 극대화되기 때문이다. 이에 본 연구에서는 2008년 국내 최저가 낙찰제 현장의 운영 실태를 파악하고 발견된 문제점들에 대한 원인 분석 및 이에 따른 개선방안을 도출하였다. 조사 결과 발주자-원도급자-하도급자간의 자금 유동성의 문제가 가장 큰 것으로 드러났으며 그 원인에는 설계변경 및 에스컬레이션 제도의 미작동 및 리스크를 중소 및 영세기업에게 전가시키는 생산구조에 있는 것으로 파악되었다. 이에 따라 원도급자들은 경기 사이클에 대비할 수 있는 리스크관리 능력을 향상시키고, 발주자들은 경기 침체 시 현장에 유동성을 확보해 줄 수 있는 장치를 마련해 주는 것이 중요한 것으로 파악되었다.

탄성파 굴절법을 사용한 지반침하 형태분석 적용사례 (Case Study on the Type of Subsidence using Seismic Refraction Survey)

  • 윤상호;지준;이두성
    • 한국지구물리탐사학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국지구물리탐사학회 2000년도 정기총회 및 특별심포지움
    • /
    • pp.132-146
    • /
    • 2000
  • 강원도 삼척시 도계읍 마교리의 남풍갱 상부 농경지에서 북동-남서 및 북서-남동 방향으로 총 10개의 측선에 대한 탄성파 굴절법 탐사를 실시하였다. 매 측선마다 지오폰은 일렬로 1m 간격으로 48 개를 설치하였으며 파원은 5Kg해머를 사용하여 5개의 위치에 타격을 가하였다. 굴절법 탐사의 자료처리는 역행주시법 , GRM과 함께 파면확장법을 통한 초동계산과 SIRT를 이용한 역산을 하는 주시 토모그래피를 사용하여 행해 졌다. 계산 결과 조사지역 의 상부 매립 및 퇴적층의 하부 경계면은 3.49m에서 8.88m의 심도로 분포하고 있으며 P파의 속도는 270${\~}$360m/s를 나타내었다. 하부 파쇄암반의 P파 속도는 1550${\~}$1940m/s의 분포를 보였다. 자료처리 결과 이처럼 상부와 하부층의 탄성파 속도 차이가 크게 나타나고 경계면의 굴곡이 완만할 경우에는 GRM이 역행주시법에 대해 갖는 이점이 거의 없음을 발견하였다. 역행주시법과 주시 토모그래피의 결과는 서로 잘 일치하였으며, 조사지역의 북동 방향으로는 상하부층의 경계면이 지표면이 겪은 변화와 동일한 굴곡을 보이고 있다. 이는 남풍갱 폐탄광 지역의 지하 채굴적에 의한 지반이완이 넓은 지역에 걸쳐 상부로 전이되어 나타난trough형 지반침하의 전형적인 양상으로 판단된다.

  • PDF

분자동역학을 이용한 그래파이트 표면에서의 화학적 삭마현상에 관한 분자 수준의 이해 (Molecular Level Understanding of Chemical Erosion on Graphite Surface using Molecular Dynamics Simulations)

  • ;박경락;;양희성;박재현;하동성
    • 한국추진공학회지
    • /
    • 제19권6호
    • /
    • pp.54-63
    • /
    • 2015
  • 본 연구에서는 고온/고압의 연소가스에 의해 야기되는 노즐목 삭마현상의 분자수준 메커니즘을 분자동역학 시뮬레이션을 이용하여 관찰한다. 노즐목은 두 개의 그래핀으로 구성된 그래파이트로 모델링하고 분자동역학 시뮬레이션은 충분한 속도를 가지고 그래파이트에 충돌하는 $H_2O$ 분자와 $CO_2$ 분자가 지속적으로 생성되는 과정과 평형상태의 시뮬레이션으로 구성된다. 반응을 모사할 수 있는 ReaxFF 포텐셜을 사용하며, 충돌에 의해 야기되는 $H_2O$$CO_2$ 분자의 해리와 화학적 삭마와의 관계에 중점을 두고 관찰하고자 하며, 거시적인 관찰결과들과 비교하고자 한다.

세계 중형 항공기 시장 동향과 전망 (The Trend and forecast of Regional Aircraft market)

  • 장태진
    • 항공우주산업기술동향
    • /
    • 제7권1호
    • /
    • pp.11-19
    • /
    • 2009
  • 지역 내에서 주로 운항되는 중형항공기 시장은 2001년 이후 전반적인 세계경기 회복기조 속에서 꾸준한 성장을 이어왔으나, 2007년 말 경부터 이어진 세계적인 불경기는 현재 그 미래를 혼란스럽게 하고 있다. 현재까지 리저널 항공기 산업은 항공기의 대형화와 리저널 젯의 확산이 주요 시장 동향으로 나타나고 있었다. 그러나, 유가 급등이나 세계 경제 침체와 같은 상황적 변화는 세계 항공사에 경제적인 타격을 가져왔으며 특히, 1990년대 ERJ-145의 성공으로 중형항공기의 주류를 이루었던 터보젯 기에 대한 회의적인 시각과 함께, 잊혀져가던 터보프롭 중형기가 새로이 주목받기도 하는 등 이는 다시 항공기 제작사 및 이들의 개발 계획에 큰 영향을 끼쳤다. 이에 따라 비록 현재 진행 중인 신규 항공기 개발 계획은 여전히 터보젯 기종이 주를 이루고 있으나, 여러 시장 전망 자료에서는 향후 시장에서 터보프롭기의 비중을 늘리고 있는 현실이다. 본 고에서는 여러 시장 전망 자료를 바탕으로 향후 중형항공기 시장의 변화 방향에 대하여 논하였다.

  • PDF

도라지와 더덕 뿌리썩음병의 방제 효과에 미치는 재배환경의 영향 (Effect of Culture Conditions on the Chemical Control Efficacy of Root Rot Disease of Platycodon grandiflorum and Codonopsis lanceolata)

  • 김다란;강근혜;정희준;홍성원;곽연식
    • 농약과학회지
    • /
    • 제20권2호
    • /
    • pp.165-171
    • /
    • 2016
  • 도라지와 더덕은 고소득 작물로서 주목받고 있다. 최근 소득을 위해 작물을 연작하는 경우 연작피해로서 뿌리썩음병의 발병이 급속도로 증가하고 있다. 뿌리썩음병은 근채류 식물의 뿌리를 가해하여 큰 경제적 타격을 입히므로 방제가 시급하나 명확한 방제법이 개발되어 있지 않다. 이에 본 연구는 화학약제 tebuconazole EC, trifloxystroim SC, 유기농자재인 자몽 종자 추출물을(GSE) 이용하여 뿌리썩음병 방제 실험을 진행한 결과 더덕에서 친환경제제가 좋은 효과를 보였으나 도라지와 더덕에서 약제의 특성에 따라 큰 차이를 보이지 않았다. 단 재배조건이 배수가 용이한 경우 발병도의 감소와 병방제의 효과가 증진됨을 확인 하였다. 이에 근채류의 뿌리썩음병의 예방 및 방제의 근복적인 대책으로 재배지의 배수가 중요한 원인으로 보여지는 바이다.

SPT 에너지효율 측정 롯드를 이용한 매입말뚝의 선단지지력 예측 (Prediction of End Bearing Capacity for Pre-Bored Steel Pipe Piles Using Instrumented Spt Rods)

  • 남문석;박영호;박용석
    • 한국지반공학회논문집
    • /
    • 제29권12호
    • /
    • pp.105-111
    • /
    • 2013
  • 국내외에서 널리 사용 중인 표준관입시험(Standard Penetration Test, SPT)은 작업의 용이성, 다양한 지반정수와 강도정수를 결정방법 등의 장점을 지니고 있다. 이러한 SPT 수행시에 발생하는 해머 에너지는 N치의 산정 및 보정에 매우 중요한 영향인자가 된다. SPT시험시 해머 타격에 의하여 롯드로 응력파가 전달되는 현상이 말뚝 항타 시에 발생하는 현상과 동일하다하여 SPT에 PDA장비를 적용하여 관입에너지를 측정하는 방법이 개발되어 사용 중에 있다. 본 연구에서는 SPT 롯드를 말뚝으로 가정하여 SPT 에너지 효율 측정롯드를 SPT시험과 동적콘관입시험에 적용하여 얻어진 힘과 속도의 파형을 매칭기법(CAPWAP, CAse Pile Wave Analysis Program) 분석을 수행하여 매입말뚝에 대한 극한선단지지력을 예측하는 기법을 제안하였다. 또한, SPT 에너지 효율 측정롯드에서 예측된 선단지지력과 실물 말뚝정재하시험을 통하여 산정된 선단지지력을 비교분석하였다. 연구결과를 토대로 SPT나 동적콘관입시험을 통하여 매입말뚝의 지지력을 간편하게 예측할 수 있는 경험식을 제시하였다.

IoT 기반 Service and Access Basket 모니터링 및 경보 시스템 설계 (Design of IoT-based Service and Access Basket (SAB) monitoring and alarm system)

  • 유주연;우상민;황훈규;김배성;신일식
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국항해항만학회 2019년도 춘계학술대회
    • /
    • pp.123-124
    • /
    • 2019
  • 우리나라 조선업은 건조분야에서 세계최고의 위상을 자랑하면서 급속도로 발전을 해왔다. 그러나 세계적으로 수주 불황과 조선 산업의 침체로 인해서 조선 산업은 직접적인 타격으로 국내의 중견 조선소 및 기자재 공급업체들이 도산되어0 최근부터 해양플랜트 사업이 우리나라 새로운 산업으로 부상하면서 해양 ICT 융합기술을 활용한 기자재 업체들이 많이 생겨났다. 하지만 실제 해양플랜트 선박 및 기자재의 국산화율은 현저히 낮다. 해양플랜트 외에 다른 용도로 사용이 가능한 Service and Access Basket의 국산화를 위해서 각 모듈별로 임베디드를 연계하여 설계하였다. 기존의 Service and Access Basket의 미비했던 안전 사양(기울기, 하중, 경보 등)을 추가로 설계하고 신뢰성이 높은 센서(자이로, 하중센서, 초음파 거리센서)들을 활용하여 통합 설계하였다. 이러한 통합 시스템이 완성이 되면 고소차, 해양/육상용 고공 작업을 할 수 있는 장비 등에 활용할 수 있을 예정이다.

  • PDF